本發明在分光成像中的分析結果的可視化時，能夠進行高準確性的分析。一種表面分析方法，其具有如下工序：使用分光相機來獲取試樣表面的分光圖像數據的工序；提取所獲取的分光圖像數據中的分散于特定波長范圍內的n個波長，并將分光圖像數據中的各波長的光...

本發明的目的在于提供能夠在激光掃描的同時成像出精致的像的激光照射裝置。本發明的激光照射裝置使激光的強度分布均勻化并利用狹縫(12a)成形，利用第一光學構件(15)使通過狹縫(12a)后的激光成為平行光，利用第二光學構件(17)使激光成像...

本實用新型提供一種能夠將芯片部件可靠地轉印于具有粘接力的撓性部件的芯片部件的轉印裝置。芯片部件的轉印裝置具備：第一工作臺，其能夠保持在臨時基板上排列形成有芯片部件的帶芯片部件的臨時基板；第二工作臺，其能夠保持撓性部件，該撓性部件在周圍安...

提供一種能夠獨立地使用水銀燈和LED這兩者作為光源部的照明裝置。該照明裝置具備：以水銀燈(31)為光源的第一光源部(30)；使來自該第一光源部(30)的光均勻地射出的復眼透鏡(46)；分別反射來自第一光源部(30)的光的多個反射鏡(40...

對準裝置具備控制部(4)，其在掩模(11)與基板(12)的鉛垂方向上的距離比相機(3)的景深前端距離長的情況下，一邊使基板(12)進行高速接近移動一邊基于基板標記(121)與掩模標記(112)的距離來調整掩模(11)與基板(12)的水平...

本發明能夠機械識別多層膜基板中的缺陷部的狀態，且能夠進行不受操作者的技能影響的修正加工。缺陷部識別裝置具備：顯微鏡，對多層膜基板的表面照射白色落射光，而在表面獲得識別缺陷部的單位區域的放大像；光譜分光攝像機，具有成像放大像的攝像面，且按...

本發明在顯微鏡圖像測定中，在進行具有超過焦點深度的階梯差的測定對象物的測定、沿顯微鏡的光軸方向而不同的位置的圖案比較等時，能夠進行高精度的測定。顯微鏡圖像測定裝置具備：顯微鏡，對測定對象物的表面照射白色落射光來獲得表面的放大像；分光攝像...

激光退火裝置向成膜在基板上的被退火處理膜照射從光源振蕩出的連續振蕩激光，使所述被退火處理膜改性為晶化膜，其中，所述激光退火裝置具備光束加工部，該光束加工部對所述連續振蕩激光進行加工，使其成為收斂的激光束，在所述激光束最為收斂的光斑部位于...

本發明提供一種激光修復方法、激光修復裝置。即使存在基底層不同或膜厚偏差的情況下，也能夠進行高質量的修復。激光修復方法對多層膜基板的缺陷部設定激光照射范圍，在所設定的激光加工條件下對所述缺陷部照射激光束來進行修復加工時，確定激光束照射位置...

本發明提供一種能夠將芯片部件可靠地轉印于具有粘接力的撓性部件的芯片部件的轉印裝置。芯片部件的轉印裝置具備：第一工作臺，其能夠保持在臨時基板上排列形成有芯片部件的帶芯片部件的臨時基板；第二工作臺，其能夠保持撓性部件，該撓性部件在周圍安裝有...

本發明提供一種激光修復方法、激光修復裝置。能夠使激光修復自動化，以實現改善作業效率，不受操作者技能的影響就可獲得一定的修復品質。激光修復方法具有：修復工序，對多層膜基板的缺陷部設定激光照射范圍，且在所設定的激光加工條件下對缺陷部照射激光...

無需使用復雜的機構，就能夠與厚度不同的各種各樣種類的基板或組裝誤差等引起的高度方向的偏離對應。在載置掩模的工作臺的上表面，設置有高度變化且沿大致沿著水平面的第一方向設置的肋。在肋的與底面相反的一側的上表面，沿著第一方向設置有多個識別標記...

能夠在以高精度進行了對位的狀態下，大致均勻地對整個面進行加壓。大致板狀的第1吸附部吸附大致板狀的第1構件，設置于第1吸附部的鉛垂方向上側的大致板狀的第2吸附部吸附透明的大致板狀的第2構件，將它們貼合。第2吸附部是兩端被覆蓋的大致筒狀的構...

本發明提供能夠以廉價的結構檢測損傷、應變量等的鏡的狀態的曝光用鏡、曝光用鏡的制造方法、以及具備該曝光用鏡的曝光裝置。曝光用鏡具備：反射膜，其形成于板狀玻璃的表面側，能夠反射來自光源的光；以及導電性的成膜圖案，其在板狀玻璃的背面側以比反射...

本發明具備：XY載臺(1)，其載置加工對象物(9)而進行移動；激光照射裝置(2)，其從光行進方向的上游向下游按順序具備：激光頭(16)；均勻光學系統(17)，其使激光的橫截面內的能量分布均勻化；投影掩模(18)，其具有與加工對象物(9)...

本發明提供一種零件安裝裝置以及零件安裝方法，該零件安裝裝置將零件轉印安裝至基板，包含：輸送部(4)，其進行送出帶(1)而將零件(2)依序置于轉印位置的鉛垂上方、且卷繞帶已送出的部分的處理；光學觀察部(5)，其將來自光源的照明光照射至零件...

本發明提供一種曝光用的光源裝置，使用該光源裝置的曝光裝置以及曝光方法，其能夠將具有不同的峰值波長的多個LED元件的光合成，且緊湊地構成。具備：第一LED陣列(71)，其具有發出第一峰值波長的光的多個第一LED元件(72)；第二LED陣列...

本發明的激光修復方法能夠不受基底層的材質或層的膜厚的偏差的影響而對加工對象的層適當地進行修正加工。所述激光修復方法，對形成于基板上的多層膜結構的缺陷部照射激光束來進行修正加工，在所述激光修復方法中，獲取包括缺陷部的區域的圖像，以包括缺陷...

提供一種能夠在確保蒸發的蒸鍍材料的指向性的同時保持較高的成膜速率的蒸鍍源單元、蒸鍍源和蒸鍍源用噴嘴。蒸鍍源單元(1)是一種使蒸鍍材料蒸鍍到基板的表面上的蒸鍍源單元(1)，其具有包括噴出口(21)的噴嘴(20)，所述噴出口(21)噴出加熱...

進行照射第一激光束來使非晶硅膜變化為微晶硅膜的第一激光束照射和使第二激光束以該微晶硅膜為起點沿著所述規定方向移動而在基板面上橫向結晶生長出晶化硅膜的第二激光束照射，在基板面上沿著規定方向交替地形成微晶硅膜和晶化硅膜。