一種全金屬過濾器制造技術

本實用新型專利技術涉及一種全金屬過濾器，特別涉及一種應用于半導體設備上的全金屬氣體過濾器。該全金屬過濾器，其特征是，包括進口管、過濾芯和濾芯套管，所述的濾芯套管套裝在進口管上，過濾芯套放在濾芯套管的濾芯腔內，進口管上開有進氣口，濾芯套管上開有出氣口，進氣口、濾芯腔和出氣口在同一中心中軸線上且相互聯通，所述的過濾芯為不銹鋼燒結濾芯。本產品密封性能好，使用壽命長，采用不銹鋼材質的外殼，機械強度高，能長時間處理高溫高壓氣體；采用的管式殼體和兩端的卡套式接頭，使得過濾器結構緊湊，體積小，拆裝方便；安裝的過濾芯由于采用金屬粉末燒結工藝，孔徑小，孔隙率高，能實現更高的過濾效率。（*該技術在2023年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種全金屬過濾器，特別涉及一種應用于半導體設備上的全金屬氣體過濾器。
技術介紹
隨著微電子行業的快速發展，對半導體電子元器件的精細化要求越來越高，尤其是對提供各種微電子零部件生產和組裝的加工設備提出了更高要求。在此類加工設備上，加工過程中許多場合對各種氣體都要求有一定的純凈度才能保證儀表、儀器和噴頭等關鍵輔件的正常使用，從而保證產品品質。為了去除氣體中的灰塵，雜質等顆粒，以免造成相關輔件阻塞和磨損，通常設備中采用塑料囊式過濾器、離線式過濾器或在線式不銹鋼濾網過濾器，但是在過濾高壓高溫氣體時，塑料囊式過濾器內的塑料濾芯會因溫度過高而產生纖維脫落現象，從而失去過濾效果，同時過濾器外殼還會變形甚至因壓力過高而爆炸；離線式過濾器占地面積大，拆裝不便，浪費濾器材料并增加人力成本；而不銹鋼濾網過濾器雖然能滿足耐溫耐壓要求，但是濾網的孔徑較大，無法滿足工藝用氣的純凈度要求。
技術實現思路
本技術的目的是克服現有技術中所存在的上述問題，而提供一種結構設計合理，可以耐高溫高壓，在線式，拆裝方便的，并且過濾效率較高的全金屬過濾器。本實用 新型解決上述技術問題所采用的技術方案是:該全金屬過濾器，其特征是，包括進口管、過濾芯和濾芯套管，所述的濾芯套管套裝在進口管上，過濾芯套放在濾芯套管的濾芯腔內，進口管上開有進氣口，濾芯套管上開有出氣口，進氣口、濾芯腔和出氣口在同一中心中軸線上且相互聯通，所述的過濾芯為不銹鋼燒結濾芯。采用不銹鋼燒結濾芯不僅機械強度能得以保證，還滿足高壓高溫要求。作為優選，所述的過濾芯的進口端上開有槽口，用于氣體從進氣口進入濾芯腔內的通道，取代了以往過濾器采用彈簧作為輔助支撐的缺陷，也使得過濾芯的拆裝更加方便快捷。作為優選，所述的不銹鋼燒結濾芯的過濾孔直徑在0.5ιιπΓ 00ιιπι之間，孔隙率在50%以上，孔隙率高，過濾孔徑更小，具有更高的過濾效率和使用壽命。作為優選，還包括有卡套式接頭，所述的進口管上安裝有卡套式接頭，濾芯套管的出氣口上安裝有卡套式接頭，這種接頭改變了以往過濾器管道需要焊接的弊端，采用卡套式接頭拆裝方便，體積小，能直接與設備上的預留管路相連，實現在線使用目的。作為優選，所述的濾芯套管與進口管間套放有進口墊片，所述濾芯套管的出氣口上套放有出口密封圈，可進一步提高本產品的密封性能。作為優選，所述的進口管和濾芯套管為不銹鋼，機械強度更高。本技術的有益效果是:本產品密封性能好，使用壽命長，采用不銹鋼材質的外殼，機械強度高，能長時間處理高溫高壓氣體；采用的管式殼體和兩端的卡套式接頭，使得過濾器結構緊湊，體積小，拆裝方便；安裝的過濾芯由于采用金屬粉末燒結工藝，孔徑小，孔隙率高，能實現更高的過濾效率。附圖說明圖1是本技術實施例的結構示意部分剖視圖。圖2是本技術實施例過濾芯的結構示意圖。具體實施方式以下結合附圖和實施例對本技術作進一步說明。實施例:參見圖1和圖2，本技術實施例包括進口管1、過濾芯2、濾芯套管3、進口墊片4、出口密封圈5和卡套式接頭6。本產品的濾芯套管3套裝在進口管I上，過濾芯2套放在濾芯套管3的濾芯腔7內，進口管I上開有進氣口 8，濾芯套管3上開有出氣口 9，進氣口 8、濾芯腔7和出氣口 9在同一中心中軸線上且相互聯通，過濾芯2的開口朝向濾芯套管3的出氣口 9，本產品的過濾芯2為不銹鋼燒結濾芯，采用不銹鋼燒結濾芯不僅機械強度能得以保證，還滿足高壓高溫要求，不銹鋼燒結濾芯的過濾孔直徑在0.5unTl00um之間，孔隙率在50%以上，孔隙率高，過濾孔徑更小，具有更高的過濾效率和使用壽命。此外進口管I和濾芯套管3為不銹鋼，機械強度也更高。本產品過濾芯2的進口端上開有槽口 10，用于氣體從進氣口 8進入濾芯腔7內的通道，取代了以往過濾器采用彈簧作為輔助支撐的缺陷，也使得過濾芯2的拆裝更加方便快捷。本產品的進口管I上安裝有卡套式接頭6，濾芯套管3的出氣口 9上安裝有卡套式接頭6，這種接頭改變了以往過濾器管道需要焊接的弊端，采用卡套式接頭6拆裝方便，體積小，能直接與設備上的預留管路相連，實現在線使用目的。為了進一步提高本產品的密封性能，濾芯套管3與進口管I間套放有進口墊片4，濾芯套管3的出氣口 9上套放有出口密封圈5，本產品所用出口密封圈5為氟橡膠。本產品在工作過程中雜質氣體首先通過進氣口 8進入濾芯腔7，經過濾芯2進行過濾，由于進口管I和濾芯套管3為不銹鋼的全金屬結構，過濾芯2為不銹鋼燒結濾芯，機械強度高，耐溫高，能長時間處理高溫高壓氣體；本產品過濾芯2拆裝方便，當本產品進出口壓差達到更換壓差時，取出過濾芯2，用純水沖洗或用潔凈氣體反吹即可實現再生，重復安裝使用。本說明書中所描述的以上內容僅僅是對本技術結構所作的舉例說明。本技術所屬
的技術人員可以對所描述的具體實施例做各種各樣的修改或補充或采用類似的方式替代，只要不偏離本技術的結構或者超越本權利要求書所定義的范圍，均應屬于本技術的保護 范圍。權利要求1.一種全金屬過濾器，其特征在于:包括進口管、過濾芯和濾芯套管，所述的濾芯套管套裝在進口管上，過濾芯套放在濾芯套管的濾芯腔內，進口管上開有進氣口，濾芯套管上開有出氣口，進氣口、濾芯腔和出氣口在同一中心中軸線上且相互聯通，所述的過濾芯為不銹鋼燒結濾芯。2.根據權利要求1所述的全金屬過濾器，其特征在于:所述的過濾芯的進口端上開有槽口。3.根據權利要求1或2所述的全金屬過濾器，其特征在于:所述的不銹鋼燒結濾芯的過濾孔直徑在0.5unTl00um之間，孔隙率在50%以上。4.根據權利要求1或2所述的全金屬過濾器，其特征在于:還包括有卡套式接頭，所述的進口管上安裝有卡套式接頭，濾芯套管的出氣口上安裝有卡套式接頭。5.根據權利要求1或2所述的全金屬過濾器，其特征在于:所述的濾芯套管與進口管間套放有進口墊片，所述濾芯套管的出氣口上套放有出口密封圈。6.根據權利要求1或2所述的全金屬過濾器，其特征在于:所述的進口管和濾芯套管為不銹鋼。專利摘要本技術涉及一種全金屬過濾器，特別涉及一種應用于半導體設備上的全金屬氣體過濾器。該全金屬過濾器，其特征是，包括進口管、過濾芯和濾芯套管，所述的濾芯套管套裝在進口管上，過濾芯套放在濾芯套管的濾芯腔內，進口管上開有進氣口，濾芯套管上開有出氣口，進氣口、濾芯腔和出氣口在同一中心中軸線上且相互聯通，所述的過濾芯為不銹鋼燒結濾芯。本產品密封性能好，使用壽命長，采用不銹鋼材質的外殼，機械強度高，能長時間處理高溫高壓氣體；采用的管式殼體和兩端的卡套式接頭，使得過濾器結構緊湊，體積小，拆裝方便；安裝的過濾芯由于采用金屬粉末燒結工藝，孔徑小，孔隙率高，能實現更高的過濾效率。文檔編號B01D46/24GK203108348SQ20132006621公開日2013年8月7日 申請日期2013年2月5日 優先權日2013年2月5日專利技術者張凌霄, 王文富 申請人:杭州帝凡過濾技術有限公司本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種全金屬過濾器，其特征在于：包括進口管、過濾芯和濾芯套管，所述的濾芯套管套裝在進口管上，過濾芯套放在濾芯套管的濾芯腔內，進口管上開有進氣口，濾芯套管上開有出氣口，進氣口、濾芯腔和出氣口在同一中心中軸線上且相互聯通，所述的過濾芯為不銹鋼燒結濾芯。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：張凌霄，王文富，
申請(專利權)人：杭州帝凡過濾技術有限公司，
類型：實用新型
國別省市：