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本實用新型涉及一種全金屬過濾器,特別涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備上的全金屬氣體過濾器。該全金屬過濾器,其特征是,包括進(jìn)口管、過濾芯和濾芯套管,所述的濾芯套管套裝在進(jìn)口管上,過濾芯套放在濾芯套管的濾芯腔內(nèi),進(jìn)口管上開有進(jìn)氣口,濾芯套管上開有出氣口...該專利屬于杭州帝凡過濾技術(shù)有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過杭州帝凡過濾技術(shù)有限公司授權(quán)不得商用。