對準載物臺制造技術

本發明專利技術提供一種對準載物臺(10)具備：底板(11)；進行向直線X方向的推力的產生和引導的一個或者多個X方向推力產生引導機構(12)；設置在X方向推力產生引導機構(12)的上方的一對下部板(31)；與下部板(31)對應設置的一對上部板(33)；設置在下部板(31)與上部板(33)之間的一對旋轉軸承(32)；Y方向推力產生引導機構(42)，其為進行向與直線X方向正交的直線Y方向的推力的產生和引導的機構，在設有一個X方向推力產生引導機構(12)時設置多個Y方向推力產生引導機構(42)，在設有多個X方向推力產生引導機構(12)時設置一個或者多個Y方向推力產生引導機構(42)；設置在Y方向推力產生引導機構(42)的上方的工作臺板(51)。通過這樣的結構，能夠提供一種實現了緊湊化和組裝的容易化的對準載物臺。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及一種通過將直線電動機等的直線驅動源作為驅動力源利用，由此使載置于工作臺板上表面的搭載物向直線X方向、直線Y方向及旋轉Θ方向移動的對準載物臺。
技術介紹
現有已知的對準載物臺為通過利用多個產生推力的致動器組件，而能夠使載置于工作臺板上表面的搭載物向直線X方向、直線Y方向(與X方向正交的方向)及XY平面上的旋轉Θ方向移動的裝置。在用于現有的對準載物臺的致動器組件中利用由旋轉電動機與滾珠絲杠的組合來實現的推力產生源和作為將由該推力產生源施加的推力在XY平面上進行引導的引導機構的直線導軌(例如，參考下述專利文獻I)。并且，通過利用多個由包括旋轉電動機與滾珠絲杠的推力產生源和作為引導機構的直線導軌的組合所構成的致動器組件(例如，三組)，從而實現在直線X方向、直線Y方向及旋轉Θ方向上定位搭載物。先行技術文獻專利文獻專利文獻I:日本特開平8-99243號公報
技術實現思路
專利技術所要解決的課題但是，在與對準載物臺相關的現有技術中，為了實現直線X方向、直線Y方向及旋轉Θ方向上的動作，準備分別與XY Θ方向對應的推力產生源，并且采用將這些XY Θ方向用的推力產生源累積而成的結構。由此，在現有的對準載物臺中存在整體形狀大型化這樣的課題。對此，在工業界中，正在尋求能夠提供一種實現與現有技術相比進一步的緊湊化的全新的對準載物臺的技術。另外，在對上述的現有技術所涉及的三個致動器組件進行安裝時，必須在準確的位置處進行安裝。即，由于這些三個致動器組件要設置在同一平面上，故必須在取得相互的平衡的狀態下進行定位。如此，在現有的對準載物臺中，與結構構件的設置條件相關而存在大量的困難的限制。本專利技術就是鑒于上述的現有技術存在的問題而作成的，其目的在于，提供一種具有在現有技術中實現困難的緊湊化用的結構，并且具有組裝性良好的結構的完全嶄新的對準載物臺。用于解決課題的手段本專利技術所涉及的對準載物臺物臺，其特征在于，具備:底板，其固定在基臺上；一個或者多個X方向推力產生引導機構，該一個或者多個X方向推力產生引導機構設置在所述底板上，進行向直線X方向的推 力的產生和引導；一對下部板，該一對下部板設置在所述X方向推力產生引導機構的上方，進行直線X方向上的水平移動；一對上部板，該一對上部板分別與所述一對下部板對應設置；一對旋轉軸承，該一對旋轉軸承通過設置在所述一對下部板與所述一對上部板各自的上下部板對之間，而實現上部板相對于下部板的旋轉Θ方向上的相對自由運動，方向推力產生引導機構，其為設置在所述一對上部板的至少一個上部板的上方，且進行向與直線X方向正交的直線Y方向的推力的產生和引導的機構，并且，在設有一個所述X方向推力產生引導機構時設置多個所述Y方向推力產生引導機構，在設有多個所述X方向推力產生引導機構時設置一個或者多個所述Y方向推力產生引導機構；工作臺板，其設置在所述Y方向推力產生引導機構的上方，從而使載置于上表面的搭載物向直線X方向、直線Y方向及旋轉Θ方向移動。專利技術效果根據本專利技術，能夠提供一種具有在現有技術中實現困難的緊湊化用的結構，且具有組裝性良好的結構的全新的對準載物臺。附圖說明圖1是本實施方式所涉及的對準載物臺的外觀立體圖。圖2是本實施方式所涉及的對準載物臺的結構部件沿著鉛垂方向分解時的分解立體圖。圖3是將本實施方式所涉及的對準載物臺的中心部分以與直線X方向正交的縱向剖面觀察時的剖視圖。圖4是用于對在本實施方式所涉及的對準載物臺中所采用的直線導軌的具體結構進行說明的圖。圖5是對本實施方式所涉及的對準載物臺的動作原理進行說明的圖。圖6是例示出能夠獲取本專利技術所涉及的對準載物臺的另一方式例的圖。圖7是例示出能夠獲取本專利技術所涉及的對準載物臺的又一方式例的圖。圖8是用于對由圖7例示出的又一方式例所涉及的對準載物臺的動作進行說明的圖。圖9是用于對作為具有與本實施方式不同方式的直線電動機的另一方式例的對準載物臺進行說明的剖視圖。圖10是表示由圖9示出的不同方式的直線電動機的結構例的概略圖，尤其是，圖中的分圖(a)表示直線電動機的俯視圖，分圖(b)表示直線電動機的主視圖。具體實施例方式以下，關于用于實施本專利技術的優選的實施方式，利用附圖進行說明。需要說明的是，以下的實施方式并不是對各權利要求所涉及的專利技術進行限定，另外，在實施方式之中所說明的特征的全部的組合也未必是專利技術的解決手段所必需的。圖1是本實施方式所涉及的對準載物臺的外觀立體圖。另外，圖2是本實施方式所涉及的對準載物臺的結構部件沿著鉛垂方向分解時的分解立體圖。進而，圖3是將本實施方式所涉及的對準載物臺的中心部分以與直線X方向正交的縱向剖面觀察時的剖視圖。本實施方式所涉及的對準載物臺10在最下部的位置具有作為水平板狀的構件的底板11。該底板11為能夠固定在基臺上， 且成為對準載物臺10的基準的構件。需要說明的是，本實施方式的底板11具有大致正方形的外輪廓形狀，但關于該外輪廓形狀而言，能夠采用任意的形狀。在底板11的上方設有進行向直線X方向的推力的產生和引導的一對X方向推力產生引導機構12、12。這些一對X方向推力產生引導機構12、12相對于直線X方向而并列配置，任一個的X方向推力產生引導機構12、12均能夠進行沿著直線X方向的推力的產生和引導。本實施方式的X方向推力產生引導機構12通過由作為成為推力產生源的直線驅動源的一個直線電動機13和作為成為引導機構的直線引導裝置的兩個直線導軌14、14組合而構成，進而，兩個直線導軌14、14以夾著一個直線電動機13的兩側的方式配置。直線電動機13為相對于直線X方向而產生推力的同步型直線電動機，包括相對于底板11的上表面而排列成一列的多個線圈構件13a和以與這些線圈構件13a隔有稍稍的間隙而對置的方式相對于后述的下部板31的下表面而固定的磁鐵構件13b。磁鐵構件13b以沿著直線X方向而使N極及S極交替朝向線圈構件13a的方式排列。需要說明的是，本實施方式的磁鐵構件13b利用接合劑而固定排列在下部板31上，但也可以通過對下部板31進行注塑成形，而使磁鐵構件13b與下部板31 —體化。另一方面，排列在底板11上的線圈構件13a通過對由鐵等的強磁性體形成的鐵心構件卷繞線圈而形成，這樣的鐵心構件的前端與設置于下部板31的磁鐵構件13b隔著稍稍的間隙而對置。線圈構件13a與三相交流電流的u相、V相、w相對應設置，三個線圈構件13a構成一組，從而在三相交流電流通電時產生移動磁場。并且，根據這些線圈構件13a產生的移動磁場，對磁鐵構件13b與線圈構件13a之間作用磁吸引力或者磁排斥力，從而能夠使磁鐵構件13b沿著線圈構件13a的排列方向，即，使磁鐵構件13b朝向直線X方向推進。需要說明的是，在本實施方式的直線電動機13中采用了帶有鐵心的直線電動機，但在本專利技術的直線電動機中也 可以采用無鐵心型的直線電動機。通過采用沒有鐵芯的無鐵心結構，即便在沒有齒槽力地低速行駛時，也能夠獲得平穩的推進力。另外，如圖1及圖2所示，在直線電動機13中的直線X方向上的兩端部設有止動構件16，因此，物理性地防止了磁鐵構件13b從線圈構件13a的配設范圍超出而向直線X方向往復移動的情況。進而，在下部板31設有用于對X方向推力產生引導機構12的驅動量進行測定的線性編碼器31a。作為該線性編碼器31本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：小松貴文，福島克也，
申請(專利權)人：THK株式會社，
類型：
國別省市：