【技術實現步驟摘要】
一種直拉單晶爐熱場系統用的導流筒
本技術涉及石墨固化氈
，尤其是指一種直拉單晶爐熱場系統用的導流筒。
技術介紹
晶體熱場系統是直拉硅單晶生長設備的核心，熱場的優劣對單晶硅的質量有很大的影響，合適的熱場參夠生長出高質量的單晶，不好的熱場容易使單晶變成多晶，或者根本無法引晶，有的熱場雖然能夠生長單晶，但質量較差，有位錯和其它結構缺陷，因此，找到好的熱場條件，配置最佳的熱場系統，是非常重要的直拉單晶工藝技術。目前國內的單晶爐熱場所用保溫材料基本上都是采用石墨桶和石墨化高純軟炭氈的組合體。目前國內已有部分廠家開始對固化炭氈進行研發，但尚無一家生產出優質優價的合格產品，也沒有一家形成工業化生產。從國際上看，目前只有日本、德國、美國等少數發達國家的數家企業能夠生產合格的固化炭氈，但其均采用“氣象沉積法”，采用該方法技術復雜，加工周期長，成本高等缺點，其產品售價高達每公斤3000元人民幣左右。我國目前所能生產的聚丙烯腈基炭纖維氈體厚度只能達到12mm，使用大于該厚度的保溫材料，則需依靠炭材料的連接技術方能實現。而且聚丙烯腈基炭纖維材料本身的抗老化功能不強，性能丟失較快。也有一些企業能生產定型炭纖維保溫體工件，但是生產的工件尺寸質量不穩定，加工精度不高，外觀粗糙。
技術實現思路
本技術的目的在于克服現有技術的不足，提供一種低揮發性、無污染、使用壽命長、成本低、熱導系數小、隔熱效果好、升降溫速度快的用于直拉單晶爐熱場系統的保溫罩。為實現上述目的，本技術所提供的技術方案為:一種直拉單晶爐熱場系統用的導流筒，所述的導流筒由炭纖維材料固化成型，固化后的導流筒為圓錐形，導...
【技術保護點】
一種直拉單晶爐熱場系統用的導流筒，其特征在于：所述的導流筒由炭纖維材料固化成型，固化后的導流筒為圓錐形，導流筒上端設有階梯形的接合位。
【技術特征摘要】
1.一種直拉單晶爐熱場系統用的導流筒，其特征在于:所述的導流筒由炭纖維材料固化成型，固化后的導流筒為圓錐形，導流筒上端設...
【專利技術屬性】
技術研發人員：趙祥志，沈鐳，高廣穎，李靖靖，李崇新，趙峰，
申請(專利權)人：益陽祥瑞科技有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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