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    用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構制造技術

    技術編號:8761565 閱讀:194 留言:0更新日期:2013-06-06 23:12
    本發明專利技術用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構解決了現有技術中藍寶石長晶爐采用可旋轉式豎直提拉裝置長期使用容易導致傾斜或彎曲的發生的問題,通過將豎直提拉裝置固定在又上衍架結構、下衍架結構及導柱構成的平衡框架內,在平衡式框架結構中引用了機械中的桁架結構理念,受力特點是結構內力只有軸力,而沒有彎矩和剪力。這一受力特性反映了實際結構的主要因素,軸力稱桁架的主內力。有效避免了藍寶石提拉裝置長期使用易出現形變的問題。

    【技術實現步驟摘要】
    用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構
    本專利技術公開了一種用于長晶爐中的晶體取出裝置,尤其涉及一種用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構。
    技術介紹
    藍寶石生長工藝中考慮到吊裝熱場時的頻繁調試及取出晶體時必然要將爐體上部分空間凈空,在需要打開移走時要用電機或手輪將其升至一定高度后朝一個方向移開。現有藍寶石生長爐設備生產廠商都普遍采了用可旋轉式豎直提拉裝置。傳統提拉裝置主要依靠側壁支撐起提拉裝置,多呈“倒L”形,在長期使用過程后受熱受力后變形量大,側壁受力成倍加大會導致傾斜或彎曲的發生,即便是細微的形變也會使提拉裝置偏離原來的中心軸方向,從而造成爐內晶體由于受熱場內溫度梯度不對稱均勻而生長出諸多缺陷甚至破碎。現有技術中采用增加懸臂材料橫截面的方法來彌補這種缺陷,但隨著工藝的進步和市場需要更大公斤數晶體的產出,一味地單一增加材料橫截面重量的方法是遠遠不夠的。
    技術實現思路
    本專利技術公開了一種用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構,用以解決現有技術中藍寶石長晶爐采用可旋轉式豎直提拉裝置長期使用容易導致傾斜或彎曲的發生的問題。本專利技術的上述目的是通過以下技術方案實現的:一種用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構,其中,包括一上衍架結構、一下衍架結構;所述上衍架結構為一水平設置的矩形上層板,所述下衍架結構具體包括:一水平設置的矩形下層板及一水平設置在所述下層板上方的矩形中層板;所述上衍架結構與所述下衍架結構通過四根導柱連接;所述上板層、所述中板層、所述下板層中間設有中心通孔;一豎直提拉裝置固定安裝在所述中心通孔內。如上所述的用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構,其中,所述豎直提拉裝置具體包括:一提拉系統、一軸套、一提拉桿,所述軸套豎直固定在所述上層板與所述中層板的中心通孔內,且所述軸套的底部置于所述下層板的上方,所述提拉桿的上半部分置于所述軸套內,所述提拉桿的下半部分伸出所述軸套置于所述中層板與所述下層板之間。如上所述的用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構,其中,所述上層板包括兩層從上之下依次水平設置的矩形板層:第一矩形板層、第二矩形板層。如上所述的用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構,其中,兩絲杠設置在所述上層板與所述中層板之間,且所述兩絲杠設置在所述豎直提拉裝置的兩側。如上所述的用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構,其中,所述下衍架結構下方設有滑軌。綜上所述,由于采用了上述技術方案,本專利技術用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構解決了現有技術中藍寶石長晶爐采用可旋轉式豎直提拉裝置長期使用容易導致傾斜或彎曲的發生的問題,通過將豎直提拉裝置固定在又上衍架結構、下衍架結構及導柱構成的平衡框架內,在平衡式框架結構中引用了機械中的桁架結構理念,受力特點是結構內力只有軸力,而沒有彎矩和剪力。這一受力特性反映了實際結構的主要因素,軸力稱桁架的主內力。有效避免了藍寶石提拉裝置長期使用易出現形變的問題。附圖說明圖1是本專利技術用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構的結構示意圖;圖2是本專利技術用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構的結構側視圖。具體實施方式下面結合附圖對本專利技術的具體實施方式做進一步的說明:圖1是本專利技術用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構的結構示意圖,圖2是本專利技術用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構的結構側視圖,請參見圖1、圖2,一種用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構,其中,包括一上衍架結構、一下衍架結構;所述上衍架結構為一水平設置的矩形上層板101,所述上層板101包括兩層從上之下依次水平設置的矩形板層:第一矩形板層、第二矩形板層。第一矩形板層與第二矩形板層的形狀相同,第一矩形板層固定安裝在第二矩形板層的正上方,通過設置第一矩形板層與第二矩形板層使得上衍架結構更加堅固。本專利技術的所述下衍架結構具體包括:一水平設置的矩形下層板20及一水平設置在所述下層板上方的矩形中層板102;矩形中層板102固定安裝在矩形下層板20的上方,矩形上層板101、矩形中層板102、矩形下層板20的形狀與大小均相同。本專利技術的所述上衍架結構與所述下衍架結構通過四根導柱10連接;進一步的,矩形上層板101與矩形中層板102的四角采用了四根導柱10連接,四根導柱10有滑動導向功能又是上下桁架結構中的連接體。比起單一的板層來說這種結構更為緊湊堅固,其受力更好。本專利技術的所述上板層、所述中板層、所述下板層中間設有中心通孔;一豎直提拉裝置40安裝在所述中心通孔內。本專利技術的所述豎直提拉裝置40具體包括:一提拉系統401、一軸套402、一提拉桿403,提拉系統401用于對提拉桿403產生提拉力,所述軸套402豎直固定在所述上層板101與所述中層板102的中心通孔內,且所述軸套402的底部置于所述中層板102的上方,所述提拉桿403的上半部分置于所述軸套402內,所述提拉桿403的下半部分伸出所述軸套402置于所述中層板102與所述下層板20之間。全新豎直提拉裝置40可沿垂直方向調節坩鍋位置(范圍+/-50mm);維持稱重精度(<1克)的同時,全面提升了對垂直溫度梯度精度問題的抗干擾能力和完全無視水平位移所帶來的偏移所帶來的對工藝技術及晶體成品良率的致命影響。本專利技術的兩絲杠設置在所述上層板與所述中層板之間,且所述兩絲杠50設置在所述豎直提拉裝置40的兩側。中心孔附近對稱的一左一右兩根絲杠50保證了中間的板層在移動中一直是保持平衡平行。本專利技術的所述下衍架結構下方設有滑軌60。平衡式框架結構由于無法實現旋轉,采用了平移結構,將其安裝在滑軌60之上。這樣在可以實現輕松移動框架結構的同時也可以充分騰空爐體的上方空間,甚至比原來的空間還要開闊,如此便于吊裝熱場及取出晶體,達到和懸臂一樣的功能使用性。本專利技術的框架結構置于爐體爐蓋之上后打開爐蓋的過程與同樣傳統的“倒L”形側壁提拉裝置在完成生長過程后的開蓋方法:以側壁支柱為軸向外水平旋轉160°~180°不同,吊裝結構開爐蓋則依靠在安裝在爐體上部的兩根滑軌來實現,只需提升起爐蓋再向后輕松水平位移即可。綜上所述,由于采用了上述技術方案,本專利技術用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構解決了現有技術中藍寶石長晶爐采用可旋轉式豎直提拉裝置長期使用容易導致傾斜或彎曲的發生的問題,通過將豎直提拉裝置固定在又上衍架結構、下衍架結構及導柱構成的平衡框架內,在平衡式框架結構中引用了機械中的桁架結構理念,受力特點是結構內力只有軸力,而沒有彎矩和剪力。這一受力特性反映了實際結構的主要因素,軸力稱桁架的主內力。有效避免了藍寶石提拉裝置長期使用易出現形變的問題。以上詳細描述了本專利技術的較佳具體實施例。應當理解,本領域的普通技術無需創造性勞動就可以根據本專利技術的構思作出諸多修改和變化。因此,凡本
    中技術人員依本專利技術的構思在現有技術的基礎上通過邏輯分析、推理或者有限的實驗可以得到的技術方案,皆應在由權利要求書所確定的保護范圍內。本文檔來自技高網
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    用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構

    【技術保護點】
    一種用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構,其特征在于,包括一上衍架結構、一下衍架結構;所述上衍架結構為一水平設置的矩形上層板,所述下衍架結構具體包括:一水平設置的矩形下層板及一水平設置在所述下層板上方的矩形中層板;所述上衍架結構與所述下衍架結構通過四根導柱連接;所述上板層、所述中板層、所述下板層中間設有中心通孔;一垂直提拉裝置固定安裝在所述中心通孔內。

    【技術特征摘要】
    1.一種用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構,其特征在于,包括一上衍架結構、一下衍架結構;所述上衍架結構為一水平設置的矩形上層板,所述下衍架結構具體包括:一水平設置的矩形下層板及一水平設置在所述下層板上方的矩形中層板;所述上衍架結構與所述下衍架結構通過四根導柱連接;所述上板層、所述中板層、所述下板層中間設有中心通孔;一垂直提拉裝置固定安裝在所述中心通孔內。2.根據權利要求1所述的用于藍寶石長晶爐中的晶體取出機構,其特征在于,所述垂直提拉裝置具體包括:一提拉系統、一軸套、一提拉桿,所述軸套豎直固定在所述上層板與所述中層板的中心通孔內,且所...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:戎峻楊勇安德烈·馬什科夫
    申請(專利權)人:上海銳亮晶體技術有限公司
    類型:發明
    國別省市:

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