一種基片承載裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)提供一種安裝在真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的基片承載裝置，其特征在于，具有：連接單元，與轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連；和基片承載單元，與連接單元卡合相連，包括定位臺(tái)和與定位臺(tái)固定相連的基片承載架，其中，定位臺(tái)含有定位臺(tái)本體和設(shè)置在該定位臺(tái)本體上的卡槽，連接單元含有與轉(zhuǎn)動(dòng)軸相匹配的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接部和與基片承載單元相匹配的基片承載單元連接部，該基片承載單元連接部包含具有凹槽和設(shè)置在該凹槽的槽壁上向外突出的凸槽的連接部本體和安裝在連接部本體上的卡緊機(jī)構(gòu)，凹槽與定位臺(tái)本體相嵌合，卡緊機(jī)構(gòu)含有安裝在凸槽內(nèi)的鎖舌、用于推動(dòng)鎖舌進(jìn)入卡槽內(nèi)的推力構(gòu)件以及用于拉動(dòng)鎖舌離開卡槽的拉柄。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種安裝在真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的基片承載裝置，其特征在于，具有：連接單元，與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連；和基片承載單元，與所述連接單元卡合相連，包括定位臺(tái)和與所述定位臺(tái)固定相連的基片承載架，其中，所述定位臺(tái)含有定位臺(tái)本體和設(shè)置在該定位臺(tái)本體上的卡槽，所述連接單元含有與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸相匹配的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接部和與所述基片承載單元相匹配的基片承載單元連接部，該基片承載單元連接部包含具有凹槽和設(shè)置在該凹槽的槽壁上向外突出的凸槽的連接部本體和安裝在所述連接部本體上的卡緊機(jī)構(gòu)，所述凹槽與所述定位臺(tái)本體相嵌合，所述卡緊機(jī)構(gòu)含有安裝在所述凸槽內(nèi)的鎖舌、用于推動(dòng)所述鎖舌進(jìn)入所述卡槽內(nèi)的推力構(gòu)件以及用于拉動(dòng)所述鎖舌離開所述卡槽的拉柄。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：梁會(huì)波，仲梁維，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：上海理工大學(xué)，
類型：發(fā)明
國別省市：