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本發(fā)明提供一種安裝在真空鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的基片承載裝置,其特征在于,具有:連接單元,與轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連;和基片承載單元,與連接單元卡合相連,包括定位臺(tái)和與定位臺(tái)固定相連的基片承載架,其中,定位臺(tái)含有定位臺(tái)本體和設(shè)置在該定位臺(tái)本體上的卡槽,連接單元...該專利屬于上海理工大學(xué)所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過上海理工大學(xué)授權(quán)不得商用。