【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及，尤其的涉及離子注入機(jī)，屬于半導(dǎo)體器件制造設(shè)備領(lǐng)域。
技術(shù)介紹
在半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備離子注入機(jī)中，離子束從離子源引出后，由于離子間相互電荷力的作用機(jī)離子初始運(yùn)動方向的不同，導(dǎo)致離子束在傳輸過程中會發(fā)生發(fā)散，為了使最終打在靶上的離子束流滿足生產(chǎn)的要求，需要對離子束進(jìn)行聚焦。本專利所涉及的寬帶束離子束流寬度超過了 300_，為了滿足這么大寬度的束流中離子運(yùn)動方向的一致性及束流大小的均勻性，本專利設(shè)計(jì)了一種多電極束流聚焦調(diào)節(jié)裝置，能夠?qū)拵щx子束流經(jīng)過的空間電場強(qiáng)度分布進(jìn)行調(diào)節(jié)，改變離子運(yùn)動的方向，調(diào)整寬帶離子束流分布的均勻性。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)即是針對上述要求而提出的一種結(jié)構(gòu)簡單、可靠性高的多電極束流聚焦調(diào)節(jié)裝置。本專利技術(shù)通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):，包括:主控計(jì)算機(jī)(I)、光纖通信卡(2)、I/O信號控制器(3)、程控多路輸出直流電源(4)、柱狀電極組(5)、絕緣腔體出)。其特征在于光纖通信卡(2)插在主控計(jì)算機(jī)(I)的PCI插槽上，光纖通信卡(2)和I/O信號控制器(3)之間通過光纖傳輸信號。I/O信號控制器(3)連接到程控多路輸出直流電源(4)，負(fù)責(zé)給程控多路輸出直流電源⑷發(fā)送電壓輸出命令和采集反饋電壓。I/O信號控制器(3)和程控多路輸出直流電源(4)之間使用電纜連接，傳輸信號。本專利技術(shù)具有如下顯著優(yōu)點(diǎn):1.1/O信號控制器(3)到光纖通信卡(2)之間的連接使用光纖，有效的防止了離子源高壓打火對信號傳輸?shù)母蓴_。2.程控多路輸出直流電源⑷的電壓輸出端分別連接到柱狀電極組(5)的每個(gè)電極上，可以對這些個(gè)電極實(shí)施獨(dú)立控制，能夠有效地改變離...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
本專利技術(shù)提供一種多電極束流聚焦調(diào)節(jié)裝置與方法，包括：主控計(jì)算機(jī)(1)、光纖通信卡(2)、I/O信號控制器(3)、程控多路輸出直流電源(4)、柱狀電極組(5)、絕緣腔體(6)。
【技術(shù)特征摘要】
1.本發(fā)明提供一種多電極束流聚焦調(diào)節(jié)裝置與方法，包括:主控計(jì)算機(jī)(I)、光纖通信卡(2)、I/O信號控制器(3)、程控多路輸出直流電源(4)、柱狀電極組(5)、絕緣腔體(6)。2.權(quán)利I中所述的光纖通信卡(2)插在主控計(jì)算機(jī)⑴的PCI插槽上，光纖通信卡(2)和I/O信號控制器(3)之間通過...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：謝均宇，張繼恒，孫勇，
申請(專利權(quán))人：北京中科信電子裝備有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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