一種傳感器制造技術

本發明專利技術公開了一種壓力傳感器，傳感器結構包括：數模轉換器、壓電執行器、膜片、襯底。壓力測量的步驟如下：數模轉換器為壓電執行器施加階梯式增加的電壓；壓電執行器驅動壓力傳感器的膜片彎曲；數模轉換器為壓電執行器施加階梯式減小的電壓；測量膜片上的壓力。本發明專利技術可以避免膜片位置的不確定性問題，減小機械遲滯誤差，改善壓力傳感器的測量精度。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及傳感器
，尤其涉及解決壓力傳感器機械遲滯性誤差的結構和 方法。
技術介紹
壓力傳感器是工業生活中最常見的一種傳感器，其廣泛應用于各種領域，涉及自 動化生產、機床、管道、電力、交通監控、航空航天、石油石化、軍工等眾多行業。隨著微機電 MEMS技術的發展，MEMS壓力傳感器的技術也得到了顯著提高，傳感器體積越來越小，測量 精度也得到了很大提高。然而對于測量高精度壓力時，壓力傳感器自身的機械誤差就不能忽視。施加在傳 遞壓力的膜片上的壓力從高至低降到壓力值F時，和壓力從低至高升到壓力值F時，雖然最 終的壓力值相同，但由于機械的遲滯特性，膜片此時在應力作用下的撓度是不同的，即傳感 器膜片壓力載荷的加載線與卸載線不完全重合。對于壓力傳感器，由于待測量的壓力可能 不穩定，難以確定測得的電壓信號是否對應真實的壓力值，這就造成所測量的彈性膜片形 變對應的壓力與實際的壓力有偏差，采集到的壓力信號精度不高。
技術實現思路
本專利技術提出的一種測量壓力的傳感器，其目的旨在克服現有技術所存在的上述缺 陷，降低由于機械遲滯性造成的誤差，提高壓力的測量精度。本專利技術的技術解決方案壓力傳感器由數模轉換器、壓電執行器、膜片、襯底組成， 其中襯底上設置有膜片，壓電執行器位于膜片的表面中央，數模轉換器通過導線連接到壓 電執行器上。本專利技術的有益之處在于相比于已有技術，本專利技術傳感器在膜片上使用壓電執行 器，驅動膜片彎曲使其在遲滯曲線的加載線或卸載線上，通過電壓控制驅動力大小，方便有 效地控制膜片彎曲，避免膜片位置的不確定問題；使用數模轉換器，在數字信號控制下輸出 模擬信號，方便有效地調節壓電執行器，達到提高測量精度的目的；本專利技術的傳感器結構簡 單，制造工藝簡易，成本低，對于測量高精度的壓力傳感器，性價比較高。附圖說明圖1是本專利技術傳感器的結構示意圖。圖2為本專利技術傳感器的結構俯視示意圖。圖中數模轉換器為1、壓電執行器為2、膜片為3、襯底為4。具體實施方式實施例一對照圖1，傳感器由數模轉換器1、壓電執行器2、膜片3、襯底4組成，其中膜片3位于襯底4的上部，壓電執行器2位于膜片3的上部，數模轉換器I連接在壓電執行器2的 上部，壓電執行器2為壓電膜片。對照圖2，壓電執行器2位于膜片3的表面中央，數模轉換器I位于膜片3邊緣，通 過導線連接到壓電執行器2上，控制驅動力大小。實施例二對照圖1，傳感器由數模轉換器1、壓電執行器2、膜片3、襯底4組成，其中膜片3 位于襯底4的上部，壓電執行器2位于膜片3的上部，數模轉換器I連接在壓電執行器2的 上部，壓電執行器2為壓電陶瓷。對照圖2，壓電執行器2位于膜片3的表面中央，數模轉換器I位于膜片3邊緣，通 過導線連接到壓電執行器2上，控制驅動力大小。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種傳感器，其特征在于由數模轉換器、壓電執行器、膜片、襯底組成，其中襯底上設置有膜片，壓電執行器位于膜片的表面中央，數模轉換器通過導線連接到壓電執行器上。

【技術特征摘要】
1.一種傳感器，其特征在于由數模轉換器、壓電執行器、膜片、襯底組成，其中襯底上設置有膜片，壓電執行器位于膜片的表面中央，數模轉換器通過導線連接到壓電執行器上。2.如權利要求1所述...

【專利技術屬性】
技術研發人員：李維平，劉清惓，黃標，周曉，佘德群，
申請(專利權)人：南京高華科技有限公司，
類型：發明
國別省市：