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    下載一種傳感器的技術資料

    文檔序號:8561651

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    本發明公開了一種壓力傳感器,傳感器結構包括:數模轉換器、壓電執行器、膜片、襯底。壓力測量的步驟如下:數模轉換器為壓電執行器施加階梯式增加的電壓;壓電執行器驅動壓力傳感器的膜片彎曲;數模轉換器為壓電執行器施加階梯式減小的電壓;測量膜片上的壓力...
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