【技術實現步驟摘要】
多角石墨舟卡釘
本技術涉及一種太陽電池生產的過程中使用的石墨舟。
技術介紹
太陽能電池生產工藝流程中，PECVD工藝過程形成減反射膜，膜的作用是既能降低對太陽光的反射，又能對電池有很好的鈍化效果。此工藝過程需要高的潔凈度和長時間的高溫等離子體反應過程，膜直接沉積在硅片表面，卡釘的覆蓋面積越大，對膜的質量影響越大。長時間的等離子過程，對卡釘的表面也有腐蝕，從而影響硅片的固定。傳統的PECVD用石墨舟卡釘采用的是圓形的或菱形(有兩個角為鈍角)的設計，要么對膜的覆蓋面積過大，要么使用壽命較短。
技術實現思路
本技術的目的在于提供一種結構合理，可以減小卡釘對膜的覆蓋尺寸、延長卡釘使用壽命的多角石墨舟卡釘。本技術的技術解決方案是一種多角石墨舟卡釘，其特征是包括圓形本體，圓形本體的兩側設置多角形卡釘件，且所述多角形卡釘件的每個角均為銳角，圓形本體為可旋轉形式。相鄰兩個銳角的連接段為弧形段。本技術結構合理，既可以減小卡釘對膜的覆蓋尺寸，提高膜的質量，又可以延長卡釘的使用壽命。附圖說明以下結合附圖和實施例對本技術作進一步說明。圖1是本技術實施例1的結構示意圖。圖2是圖1的側面視圖。圖3是實施例2的結構示意圖。圖4是圖3的側面視圖。圖5是實施例3的結構示意圖。圖6是圖5的側面視圖。圖7是實施例4的結構示意圖。圖8是圖7的側面視圖。具體實施方式實施例1 :一種多角石墨舟卡釘，包括圓形本1，圓形本體的兩側設置三角形卡釘件2、3，且所述三角形卡釘件的每個角均為銳角，圓形本體為可旋轉形式。實施例2 卡釘件為四角形，相鄰兩個銳角的連接段為弧形段。其余同實施例1。實施例3 卡釘件為...
【技術保護點】
一種多角石墨舟卡釘，其特征是：包括圓形本體，圓形本體的兩側設置多角形卡釘件，且所述多角形卡釘件的每個角均為銳角，圓形本體為可旋轉形式。
【技術特征摘要】
1.一種多角石墨舟卡釘，其特征是包括圓形本體，圓形本體的兩側設置多角形卡釘件，且所述多角形卡釘件的每個角均...
【專利技術屬性】
技術研發人員：趙福祥，林佳繼，趙同榮，崔美麗，
申請(專利權)人：韓華新能源啟東有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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