一種能夠裝卸的新型石墨沉積槽制造技術(shù)

本實用新型專利技術(shù)公開了一種能夠裝卸的新型石墨沉積槽，包括支撐裝置以及設(shè)置在支撐裝置內(nèi)部的沉積槽，所述支撐裝置包括若干個U型支撐架，U型支撐架串聯(lián)為縱行結(jié)構(gòu)，且U型支撐架的外部設(shè)置有兩條平行的支撐棍，支撐棍與對應(yīng)的U型支撐架的端頭連接；沉積槽設(shè)置在U型支撐架內(nèi)部，所述沉積槽包括依次連接為U型的底板、側(cè)板以及頂板，且底板設(shè)置在U型支撐架的底部，側(cè)板設(shè)置在U型支撐架的側(cè)壁上，頂板設(shè)置在U型支撐架的開口端上，且底板和側(cè)板上設(shè)置有氣孔。該沉積槽采用支撐裝置和幾個獨立的石墨擋板組合而成，石墨擋板可拆卸，節(jié)省了更換時間，大大降低了石墨沉積槽的使用和維護(hù)成本，且鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種沉積槽，尤其是涉及一種能夠裝卸的新型石墨沉積槽，屬于鍍膜設(shè)備。
技術(shù)介紹
為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，常利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)。在現(xiàn)有的PECVD設(shè)備中，為控制鍍膜沉積的方向，防止生成的鍍膜物質(zhì)沉積在氣體源管路及腐蝕管道以及減少氣體源消耗等問題，常常使用沉積槽。現(xiàn)有的沉積槽主要 分為兩種不銹鋼金屬沉積槽、石墨沉積槽。采用不銹鋼金屬制作而成，通常采用焊接或者彎折而成。不銹鋼沉積槽因熱脹冷縮膨脹系數(shù)和常規(guī)的鍍膜物質(zhì)(如SiNx)的差異很大，造成嚴(yán)重的掉渣問題，影響鍍膜的質(zhì)量。個別還采用表面噴砂處理，增加表面粗糙度，提高吸附鍍膜物質(zhì)的能力。傳統(tǒng)石墨沉積槽為一體結(jié)構(gòu)，石墨沉積槽的膨脹系數(shù)和常規(guī)鍍膜物質(zhì)的膨脹系數(shù)接近，能很好的減少因熱脹冷縮引起的掉渣問題。石墨纖維板和常見鍍膜物質(zhì)(如SiNx)的膨脹系數(shù)接近，表面粗糙度很好。現(xiàn)有石墨沉積槽鍍膜效果很好，但制作工藝復(fù)雜，成本高；其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不便于后期清理；且如果部分損壞必須全部更換，維護(hù)成本高。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點和不足，提供一種能夠裝卸的新型石墨沉積槽，該沉積槽采用支撐裝置和幾個獨立的石墨擋板組合而成，石墨擋板制作工藝簡單，成本低，鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定；另外石墨擋板可拆卸，清理維護(hù)也更為簡便；如果其中一塊損壞，更換損壞的擋板即可，不需要更換整個沉積槽，節(jié)省了更換時間。本技術(shù)的目的通過下述技術(shù)方案實現(xiàn)一種能夠裝卸的新型石墨沉積槽，包括支撐裝置以及設(shè)置在支撐裝置內(nèi)部的沉積槽，所述支撐裝置包括若干個U型支撐架，U型支撐架串聯(lián)為縱行結(jié)構(gòu)，且U型支撐架的外部設(shè)置有兩條平行的支撐棍，支撐棍與對應(yīng)的U型支撐架的端頭連接；沉積槽設(shè)置在U型支撐架內(nèi)部，所述沉積槽包括依次連接為U型的底板、側(cè)板以及頂板，且底板設(shè)置在U型支撐架的底部，側(cè)板設(shè)置在U型支撐架的側(cè)壁上，頂板設(shè)置在U型支撐架的開口端上，且底板和側(cè)板上設(shè)置有氣孔。進(jìn)一步地，所述底板、側(cè)板以及頂板均通過螺釘或者卡扣固定在U型支撐架上對應(yīng)的位置。螺釘或者卡扣等能夠方便U型支撐架的裝卸，也可以通過其它的方式固定。進(jìn)一步地，所述U型支撐架的外壁上設(shè)置有穩(wěn)定棍，穩(wěn)定棍設(shè)置在支撐棍的下方且與支撐棍平行。穩(wěn)定棍采用鋼管或者其它金屬材料制成，用于對U型支撐架的外壁提供支撐，保持在工作過程中的穩(wěn)定性。進(jìn)一步地，所述沉積槽采用石墨纖維板制成。石墨纖維板由于其吸附鍍膜物質(zhì)的能力很好，最為優(yōu)先選用。綜上所述，本技術(shù)的有益效果是該沉積槽采用支撐裝置和幾個獨立的石墨擋板組合而成，石墨擋板可拆卸，節(jié)省了更換時間，大大降低了石墨沉積槽的使用和維護(hù)成本，且鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定。附圖說明圖1是本技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖中標(biāo)記及相應(yīng)的零部件名稱1 一氣孔；2—側(cè)板；3—頂板；4一穩(wěn)定棍；5—支撐棍；6—底板；7— U型支撐架。具體實施方式下面結(jié)合實施例及附圖，對本技術(shù)作進(jìn)一步的詳細(xì)說明，但本技術(shù)的實施方式不僅限于此。 實施例如圖1所示，一種能夠裝卸的新型石墨沉積槽，包括支撐裝置以及設(shè)置在支撐裝置內(nèi)部的沉積槽，所述支撐裝置包括若干個U型支撐架7，U型支撐架7串聯(lián)為縱行結(jié)構(gòu)，且U型支撐架7的外部設(shè)置有兩條平行的支撐棍5，支撐棍5與對應(yīng)的U型支撐架7的端頭連接；沉積槽設(shè)置在U型支撐架7內(nèi)部，所述沉積槽包括依次連接為U型的底板6、側(cè)板2以及頂板3，且底板6設(shè)置在U型支撐架7的底部，側(cè)板2設(shè)置在U型支撐架7的側(cè)壁上，頂板3設(shè)置在U型支撐架7的開口端上，且底板6和側(cè)板2上設(shè)置有氣孔I。在底板6和兩個側(cè)板2上均勻分布著氣孔1，氣孔I既可以是呈一條直線分布，也可以是均勻散狀分布，用于提供氣體源，生成鍍膜物質(zhì)。支撐裝置是對沉積槽起固定作用的裝置，用于保證幾塊獨立的石墨纖維板在安裝后不會脫落，增加穩(wěn)定性。同時降低了成本，能夠多次利用，保證了工作時的鍛I旲穩(wěn)定，提聞了廣品質(zhì)量。所述底板6、側(cè)板2以及頂板3均通過螺釘或者卡扣固定在U型支撐架7上對應(yīng)的位置。采用凸臺與凹槽的安裝方式，能夠便于沉積槽的裝卸，也可以采用螺釘或者其他方式進(jìn)行固定，只要能保證沉積槽的順利裝卸都是在本技術(shù)的保護(hù)范圍。所述U型支撐架7的外壁上設(shè)置有穩(wěn)定棍4，穩(wěn)定棍4設(shè)置在支撐棍5的下方且與支撐棍5平行。支撐棍5和穩(wěn)定棍4都是作為連接所有U型支撐架7的穩(wěn)定固定裝置，增加工作時的穩(wěn)定作用。所述沉積槽采用石墨纖維板制成。采用石墨纖維板制成的沉積槽吸附鍍膜物質(zhì)的能力很好，鍍膜質(zhì)量高。采取上述方式，就能較好地實現(xiàn)本技術(shù)。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點】
一種能夠裝卸的新型石墨沉積槽，其特征在于：包括支撐裝置以及設(shè)置在支撐裝置內(nèi)部的沉積槽，所述支撐裝置包括若干個U型支撐架（7），U型支撐架（7）串聯(lián)為縱行結(jié)構(gòu)，且U型支撐架（7）的外部設(shè)置有兩條平行的支撐棍（5），支撐棍（5）與對應(yīng)的U型支撐架（7）的端頭連接；沉積槽設(shè)置在U型支撐架（7）內(nèi)部，所述沉積槽包括依次連接為U型的底板（6）、側(cè)板（2）以及頂板（3），且底板（6）設(shè)置在U型支撐架（7）的底部，側(cè)板（2）設(shè)置在U型支撐架（7）的側(cè)壁上，頂板（3）設(shè)置在U型支撐架（7）的開口端上，且底板（6）和側(cè)板（2）上設(shè)置有氣孔（1）。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種能夠裝卸的新型石墨沉積槽，其特征在于包括支撐裝置以及設(shè)置在支撐裝置內(nèi)部的沉積槽，所述支撐裝置包括若干個U型支撐架(7 )，U型支撐架(7 )串聯(lián)為縱行結(jié)構(gòu)，且U型支撐架(7)的外部設(shè)置有兩條平行的支撐棍(5)，支撐棍(5)與對應(yīng)的U型支撐架(7)的端頭連接；沉積槽設(shè)置在U型支撐架(7)內(nèi)部，所述沉積槽包括依次連接為U型的底板(6 )、側(cè)板(2 )以及頂板(3 )，且底板(6 )設(shè)置在U型支撐架(7 )的底部，側(cè)板(2 )設(shè)置在U型支撐架(7)的側(cè)壁上，頂板(3)設(shè)置在U型支撐...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉林，吳欣，路忠林，林洪峰，盛雯婷，張鳳鳴，
申請(專利權(quán))人：天威新能源控股有限公司，
類型：實用新型
國別省市：