一種空氣調節監測系統技術方案

本發明專利技術公開了一種空氣調節監測系統，應用于半導體清洗設備，該系統包括：主框架、風機機組、風機固定支架、均風裝置、可調層流裝置、氣體壓力傳感器、靜電阻抗器、靜電監視器以及空氣潔凈度測試裝置。本發明專利技術主要用于消除半導體清洗機內部環境中的各項污染源，使半導體清洗機內部始終處于恒定壓力值的穩定層流環境，有效防止和去除空氣中的顆粒和浮塵，方便地了解設備內部潔凈度，并且有效消除設備內部產生的靜電，從而大大降低了硅片受到致命缺陷污染的可能性，最終使芯片成品率增加，降低電子元器件的生產制造成本。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及超潔凈系統
，具體涉及一種應用于半導體清洗設備內部的空氣調節監測系統。
技術介紹
半導體清洗設備對內部環境的潔凈度要求極高，然而由于受設備自身和設備周圍環境影響，其內部總是不可避免的存在顆粒、金屬雜質等污染源。同時在設備運行過程中，各運動部件的運動不可避免的產生摩擦，在相對濕度較低的硅片加工環境中，摩擦很容易產生高級別的靜電荷，成為硅片表面的又一污染源。這些污染源能使硅片上的芯片電學失效，據統計80%的芯片報廢是由污染引起。根據潔凈區空氣潔凈度分級國際標準IS014644-1，一般半導體清洗設備內部空氣潔凈度要達到ISO Class 4以上的粒子最大濃度限值要求。為保證腔室的潔凈度要求，現有技術通常采用風機產生的垂直層流，來消除空氣中的浮塵、顆粒等，通過人工調整風速來保持環境的高潔凈度。但是由于風機出風口仍會引入一定顆粒，并且當風速進風量和排風量相差過大時，腔室內的空氣會產生紊流，因此現有技術仍存在缺陷。
技術實現思路
(一)要解決的技術問題本專利技術主要用于消除清洗機內部環境中的上述各項污染源，使半導體清洗機內部始終處于恒定壓力值的穩定層流環境，有效防止和去除空氣中的顆粒和浮塵，方便地了解設備內部潔凈度，并且有效消除設備內部產生的靜電，從而大大降低了硅片受到致命缺陷污染的可能性，最終使芯片成品率增加，降低電子元器件的生產制造成本。(二)技術方案為解決上述問題，本專利技術提供了一種空氣調節監測系統，應用于半導體清洗設備，該系統包括主框架；風機機組，位于所述設備頂部，用于產生層流風；風機固定支架，用于固定所述風機機組；均風裝置，位于所述風機機組風向的下方，用于使風以層流形式吹向所述設備的內部；可調層流裝置，位于所述設備底部，用于保證所述設備內部氣流穩定；氣體壓力傳感器，位于所述設備內部，用于檢測所述設備內部的壓力；靜電阻抗器，固定于所述主框架上，用于消除所述設備內部的靜電；靜電監視器，安裝在所述主框架上，用于檢測所述設備內部靜電消除的效果和所述靜電阻抗器的工作情況；空氣潔凈度測試裝置，安裝在所述設備內部，用于對所述設備內部的潔凈度進行周期性檢測、判定潔凈度級別、同時反饋檢測數據。進一步的，所述風機機組內部還設置有特效顆粒過濾器，用于過濾風口的顆粒。進一步的，所述風機機組將氣流速度控制在在O. 01-0. 04m/s,所述風機機組具有無級調速功能，根據所述氣體壓力傳感器的反饋實現自動調節。進一步的，所述均風裝置將所述風機機組100%覆蓋。進一步的，所述氣體壓力傳感器檢測到所述設備內瞬間的壓力變化后，將所述設備內壓力改變值反饋給計算機控制系統，所述計算機控制系統自動調高或降低風速，保證所述設備內部始終保持在預定的壓力范圍內。進一步的，當所述設備內部顆粒濃度超過預定標準時，所述空氣潔凈度測試裝置報警，提醒工程師進行維護。(三)有益效果本專利技術系統通過風機機組、均風裝置、可調層流裝置、氣體壓力傳感器能嚴格保證設備內部氣壓恒值穩定的垂直層流，并且風速能根據設備的內環境進行自動調節，使設備內部達到最優的除塵氣壓狀態。該系統的靜電阻抗器和靜電監視器能有效消除設備內部的帶電粒子。通過空氣潔凈度測試裝置監控設備內部潔凈度，從而保證了半導體清洗設備所需的潔凈度要求，能有效提高半導體產品的成品率。附圖說明圖1是本專利技術系統的結構圖。附圖中的編碼分別為1-主框架，2-風機機組，3-風機固定支架，4-均風裝置，5-可調層流裝置，6-氣體壓力傳感器，7-靜電阻抗器，8-靜電監視器，9-空氣潔凈度測試裝置。具體實施例方式下面結合附圖和實施例，對本專利技術的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本專利技術，但不用來限制本專利技術的范圍。圖1是本專利技術系統的結構圖，本專利技術提供了一種空氣調節監測系統，應用于半導體清洗設備，該系統包括1-主框架；2-風機機組，位于所述設備頂部，用于產生層流風；3-風機固定支架，用于固定所述風機機組；4-均風裝置，位于所述風機機組風向的下方，用于使風以層流形式吹向所述設備的內部；5-可調層流裝置，位于所述設備底部，用于保證所述設備內部氣流穩定；6-氣體壓力傳感器，位于所述設備內部，用于檢測所述設備內部的壓力；7-靜電阻抗器，固定于所述主框架上，用于消除所述設備內部的靜電；8-靜電監視器，安裝在所述主框架上，用于檢測所述設備內部靜電消除的效果和所述靜電阻抗器的工作情況；9-空氣潔凈度測試裝置，安裝在所述設備內部，用于對所述設備內部的潔凈度進行周期性檢測、判定潔凈度級別、同時反饋檢測數據。進一步的，所述風機機組內部還設置有特效顆粒過濾器，用于過濾風口的顆粒。進一步的，所述風機機組將氣流速度控制在在O. 01-0. 04m/s,所述風機機組具有無級調速功能，根據所述氣體壓力傳感器的反饋實現自動調節。進一步的，所述均風裝置將所述風機機組100%覆蓋。進一步的，所述氣體壓力傳感器檢測到所述設備內瞬間的壓力變化后，將所述設備內壓力改變值反饋給計算機控制系統，所述計算機控制系統自動調高或降低風速，保證所述設備內部始終保持在預定的壓力范圍內。進一步的，當所述設備內部顆粒濃度超過預定標準時，所述空氣潔凈度測試裝置報警，提醒工程師進行維護。半導體清洗設備對內部潔凈度要求極高，現有技術通常采用風機產生的垂直層流，來消除空氣中的浮塵、顆粒等，但是由于風機出風口仍會引入一定顆粒，所以本專利技術系統中所選風機內部設置有特效顆粒過濾器，為達到最佳的過濾效果，風機速度要控制氣流速度在O. 01-0. 04m/s。風機須具有無級調速功能，以根據氣壓傳感器的反饋實現自動調節。因為從風機吹出的風不具有層狀氣流，所以在風機吹向下方，設備內部天花板處設置有均風裝置，這種均風裝置要將風機100%覆蓋，使風以層流形式吹向設備內部。當風速進風量和排風量相差過大時，腔室內的空氣會產生紊流，為解決這個問題，所述系統采用可調排風量的層流裝置，以保證設備內部氣流穩定，使設備內部始終具有均勻垂直層狀氣流。此外通過聯合調節風機進風量和層流裝置排風量，可以使設備內部達到最優的氣壓狀態，使設備內部氣壓大于設備所處環境氣壓，防止設備外部的污染顆粒通過設備縫隙進入設備內部。一旦外部環境變化(如打開設備門等)，都會在腔室內形成新的氣流，改變其相對密閉的正壓狀態，引起室外污染物的潛入，通過氣體壓力傳感器可以靈敏檢測到設備內瞬間的壓力變化，它將設備內壓力改變值反饋給計算機控制系統，控制系統自動調高或降低風速，以保證設備內部始終保持在一定壓力范圍內，達到最好的除塵效果。隨著器件關鍵尺寸的縮小，靜電釋放對小顆粒的吸引作用很強，能產生致命缺陷，所以設備內部對靜電釋放必須控制。系統安裝在主框架上的靜電阻抗器可以有效防止靜電造成的芯片受損，降低報廢率，從而降低制造成本。同時設備內部安裝有靜電監視器，方便檢測腔室內靜電消除的效果，檢測靜電阻抗器的工作情況。設備內部安裝有空氣潔凈度檢測裝置，其能對設備內部潔凈度周期性檢測，其可根據測試數值，自動判定潔凈度級別，同時將檢測數值通過USB或RS485與計算機相連，反饋測試數據，當設備內部顆粒濃度超標時，會實現報警，提醒工程師進行內部維護。以上所述僅是本專利技術的優選實施方式，應當指出，對于本
的普通技術人員來說，在不脫離本專利技術技術原理的前提本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種空氣調節監測系統，應用于半導體清洗設備，其特征在于，該系統包括：主框架；風機機組，位于所述設備頂部，用于產生層流風；風機固定支架，用于固定所述風機機組；均風裝置，位于所述風機機組風向的下方，用于使風以層流形式吹向所述設備的內部；可調層流裝置，位于所述設備底部，用于保證所述設備內部氣流穩定；氣體壓力傳感器，位于所述設備內部，用于檢測所述設備內部的壓力；靜電阻抗器，固定于所述主框架上，用于消除所述設備內部的靜電；靜電監視器，安裝在所述主框架上，用于檢測所述設備內部靜電消除的效果和所述靜電阻抗器的工作情況；空氣潔凈度測試裝置，安裝在所述設備內部，用于對所述設備內部的潔凈度進行周期性檢測、判定潔凈度級別、同時反饋檢測數據。

【技術特征摘要】
1.一種空氣調節監測系統，應用于半導體清洗設備，其特征在于，該系統包括主框架；風機機組，位于所述設備頂部，用于產生層流風；風機固定支架，用于固定所述風機機組；均風裝置，位于所述風機機組風向的下方，用于使風以層流形式吹向所述設備的內部;可調層流裝置，位于所述設備底部，用于保證所述設備內部氣流穩定；氣體壓力傳感器，位于所述設備內部，用于檢測所述設備內部的壓力；靜電阻抗器，固定于所述主框架上，用于消除所述設備內部的靜電；靜電監視器，安裝在所述主框架上，用于檢測所述設備內部靜電消除的效果和所述靜電阻抗器的工作情況；空氣潔凈度測試裝置，安裝在所述設備內部，用于對所述設備內部的潔凈度進行周期性檢測、判定潔凈度級別、同時反饋檢測數據。2.如權利要求1所述的系統，其特征...

【專利技術屬性】
技術研發人員：孫文婷，趙宏宇，裴立坤，高浩，
申請(專利權)人：北京七星華創電子股份有限公司，
類型：發明
國別省市：