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本發明公開了一種空氣調節監測系統，應用于半導體清洗設備，該系統包括：主框架、風機機組、風機固定支架、均風裝置、可調層流裝置、氣體壓力傳感器、靜電阻抗器、靜電監視器以及空氣潔凈度測試裝置。本發明主要用于消除半導體清洗機內部環境中的各項污染源，...該專利屬于北京七星華創電子股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京七星華創電子股份有限公司授權不得商用。
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