【技術實現步驟摘要】
本技術涉及氣體處理
，尤其涉及一種用于UV曝光機的冷卻氣體處理裝置。
技術介紹
UV曝光機是指通過開啟燈管發出UVA波長的紫外線，將膠片或其它透明體上的圖像信息轉移到涂有感光物質的表面上的設備，目前已廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米材料等科技領域。UV曝光機在使用過程中，由于其UV燈管持續發光發熱，因而需要對UV燈管進行冷卻，以防燈管過熱導致燈管損壞或發生爆炸現象。目前現有技術對UV曝光機燈管所采用的冷卻方式通常為氣冷，即通過輸入冷卻壓縮氣體對燈管進行冷卻。而曝光機中的UV燈管，對于輸入的冷卻壓縮氣體有著極高的要求，即不能含有水分和油污，否則對燈管可能造成較大的損害。為此，目前現有技術對用于冷卻UV曝光機燈管的壓縮氣體，一般采用過濾器對氣體進行過濾以除去油污等雜質，并采用以氧化鋁顆粒作為干燥劑的干燥器進行干燥以除去水分，然后再進入UV曝光機內部。然而，干燥劑使用一段時間后氧化鋁顆粒會失去效力，而上述方式無法及時有效地監控到干燥器中的干燥劑氧化鋁顆粒是否已經失效，因而不能有效控制輸入UV曝光機中的冷卻壓縮氣體的品質，從而無法有效保障UV曝光機的使用效果及安全。
技術實現思路
本技術的目的在于克服現有技術的不足，提供一種可對冷卻氣體水分去除情況進行有效監控的UV曝光機冷卻氣體處理裝置，以有效控制輸入UV曝光機冷卻氣體的品質，從而保證UV曝光機的使用效果及安全。本技術的目的通過以下技術方案予以實現本技術提供的一種UV曝光機冷卻氣體處理裝置，包括過濾器、干燥器；所述干燥器的出口端連接有水分指示器。本技術冷卻氣體經過干燥器干燥處理后進入水分指示器，可以通過觀...
【技術保護點】
一種UV曝光機冷卻氣體處理裝置，包括過濾器(2)、干燥器(3)；其特征在于：所述干燥器(3)的出口端連接有水分指示器(4)。
【技術特征摘要】
1.一種UV曝光機冷卻氣體處理裝置，包括過濾器(2)、干燥器(3);其特征在于所述干燥器(3)的出口端連接有水分指示器(4)。2.根據權利要求1所述的UV曝光機冷卻氣體處理裝置，其特征在于所述過濾器(2) 連接在干燥器(3)的進口端；所述水分指示器(4)的出口端(4b)與UV曝光機(5)連接。3.根據權...
【專利技術屬性】
技術研發人員：郭慶秋，楊明雄，周嬋華，徐斌，徐晶，
申請(專利權)人：長興廣州光電材料有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。