本發明專利技術公開了一種紅外焦平面探測器銦柱的劃片粘接方法，該方法包括：將探測器生長有銦柱的一側涂覆光刻膠，并進行固化；在透明的寶石片襯底上均勻涂覆紫外固化粘接膠；將所述探測器沒有涂光刻膠一側放置在涂覆有紫外固化粘接膠的所述寶石片襯底上；用預定曝光量值的紫外線照射所述寶石片襯底，使所述探測器通過紫外固化粘接膠固定在所述寶石片襯底上；劃片結束后，將所述探測器和所述寶石片襯底置于丙酮溶液中進行加熱脫附。該方法省去了通過石蠟固定后擦拭石蠟的步驟，有效避免了擦拭石蠟過程中對探測器銦柱的損傷。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及光電領域，尤其涉及一種。
技術介紹
目前，紅外焦平面探測器的倒裝互連從原理上可以分為兩種一種是只在讀出電路端生長銦柱的單銦柱互連；另一種是探測器端和讀出電路端均生長銦柱的雙面銦柱互連。對大面陣器件而言，原來的單獨讀出電路端的銦柱高度已經不足以彌補探測器和讀出電路壓焊在一起時機器本身在對準調平尤其是施加壓力時的空間不平行度和力的不均勻性。而必須采用在探測器端也生長銦柱的雙面銦互連方式來增加銦柱高度，增大互連不平行度容差以實現成功互連。 原來探測器端沒有生長銦柱，在劃片完的洗片工藝中可以使用棉花擦拭器件背面以清除原來粘接所使用的石蠟。而在探測器端生長銦柱后，原來的劃片洗片方式對探測器進行擦拭，會損傷正面的銦柱。
技術實現思路
鑒于上述的分析，本專利技術旨在提供一種，用以解決現有石蠟粘貼后清洗時對探測器造成損傷的問題。本專利技術的目的主要是通過以下技術方案實現的一種，該方法包括將探測器生長有銦柱的一側涂覆光刻膠，并進行固化；在透明的寶石片襯底上均勻涂覆紫外固化粘接膠；將所述探測器沒有涂光刻膠一側放置在涂覆有紫外固化粘接膠的所述寶石片襯底上；用預定曝光量值的紫外線照射所述寶石片襯底，使所述探測器通過紫外固化粘接膠固定在所述寶石片襯底上；劃片結束后，將所述探測器和所述寶石片襯底置于丙酮溶液中進行加熱脫附。優選地，所述探測器生長有銦柱的一側涂覆的光刻膠的厚度為f 2毫米。優選地,所述紫外固化粘接膠為TempLoc系列。優選地，所述預定曝光量值為1000mJ/cm2-5000mJ/cm2。優選地，所述丙酮溶液的溫度為40-70度，浸泡時間為5-30分鐘。本專利技術有益效果如下本專利技術提供了一種，探測器通過涂覆在寶石片襯底上的紫外固化粘接膠粘貼在所述寶石片襯底上，再通過紫外線照射實現探測器與寶石片襯底的固定，在劃片結束后，將探測器與寶石片襯底放在丙酮溶液中進行浸泡，使探測器與寶石片襯底自然脫附，省去了通過石蠟固定后擦拭石蠟的步驟，有效避免了擦拭石蠟過程中對探測器銦柱的損傷。本專利技術的其他特征和優點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分的從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本專利技術而了解。本專利技術的目的和其他優點可通過在所寫的說明書、權利要求書、以及附圖中所特別指出的結構來實現和獲得。附圖說明圖1為本專利技術實施例的的流程圖。具體實施例方式下面結合附圖來具體描述本專利技術的優選實施例，其中，附圖構成本申請一部分，并與本專利技術的實施例一起用于闡釋本專利技術的原理。為了清楚和簡化目的，當其可能使本專利技術的主題模糊不清時，將省略本文所描述的器件中已知功能和結構的詳細具體說明。本專利技術實施例提供了一種，參見圖1，該方法包括S101、將探測器生長有銦柱的一側涂覆光刻膠，并進行固化；其中，所述探測器生長有銦柱的一側涂覆的光刻膠的厚度為f 2毫米。S102、在透明的寶石片襯底上均勻涂覆紫外固化粘接膠；所述紫外固化粘接膠為TempLoc系列。S103、將所述探測器沒有涂光刻膠一側放置在涂覆有紫外固化粘接膠的所述寶石片襯底上；S104、用預定曝光量值的紫外線照射所述寶石片襯底，使所述探測器通過紫外固化粘接膠固定在所述寶石片襯底上；所述預定曝光量值為1000mJ/cm2-5000mJ/cm2。S105、劃片結束后，將所述探測器和所述寶石片襯底置于丙酮溶液中進行加熱脫附。所述丙酮溶液的溫度為40-70度，浸泡時間為5-30分鐘。本專利技術實施例提供的一種，探測器通過涂覆在寶石片襯底上的紫外固化粘接膠粘貼在所述寶石片襯底上，再通過紫外線照射實現探測器與寶石片襯底的固定，在劃片結束后，將探測器與寶石片襯底放在丙酮溶液中進行浸泡，使探測器與寶石片襯底自然脫附，省去了通過石蠟固定后擦拭石蠟的步驟，有效避免了擦拭石蠟過程中對探測器銦柱的損傷。寶石片襯底，用于涂覆紫外固化粘接膠，并將沒有涂光刻膠一側的探測器粘貼在紫外固化粘接膠上；所述探測器生長有銦柱的一側涂覆的光刻膠的厚度為f 2毫米。所述紫外固化粘接膠為TempLoc系列。紫外線輻照箱，用于以預定曝光量值的紫外線照射所述寶石片襯底，使所述探測器通過紫外固化粘接膠固定在所述寶石片襯底上；所述預定曝光量值為1000mJ/cm2-5000mJ/cm2。容器，用于盛放丙酮溶液，在劃片結束后，將所述探測器和所述寶石片襯底置于丙酮溶液中進行加熱脫附。綜上所述，本專利技術實施例提供了一種，探測器通過涂覆在寶石片襯底上的紫外固化粘接膠粘貼在所述寶石片襯底上，再通過紫外線照射實現探測器與寶石片襯底的固定，在劃片結束后，將探測器與寶石片襯底放在丙酮溶液中進行浸泡，使探測器與寶石片襯底自然脫附，省去了通過石蠟固定后擦拭石蠟的步驟，有效避免了擦拭石蠟過程中對探測器銦柱的損傷。以上所述，僅為本專利技術較佳的具體實施方式，但本專利技術的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本
的技術人員在本專利技術揭露的技術范圍內，可 輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本專利技術的保護范圍之內。因此，本專利技術的保護范圍應該以權利要求書的保護范圍為準。權利要求1.一種，其特征在于，包括將探測器生長有銦柱的一側涂覆光刻膠，并進行固化；在透明的寶石片襯底上均勻涂覆紫外固化粘接膠；將所述探測器沒有涂光刻膠一側放置在涂覆有紫外固化粘接膠的所述寶石片襯底上；用預定曝光量值的紫外線照射所述寶石片襯底，使所述探測器通過紫外固化粘接膠固定在所述寶石片襯底上；劃片結束后，將所述探測器和所述寶石片襯底置于丙酮溶液中進行加熱脫附。2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述探測器生長有銦柱的一側涂覆的光刻膠的厚度為Γ2毫米。3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述紫外固化粘接膠為TempLoc系列。4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述預定曝光量值為IOOOmJ/ cm2-5000mj/cm2。5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述丙酮溶液的溫度為40-70度，浸泡時間為5-30分鐘。全文摘要本專利技術公開了一種，該方法包括將探測器生長有銦柱的一側涂覆光刻膠，并進行固化；在透明的寶石片襯底上均勻涂覆紫外固化粘接膠；將所述探測器沒有涂光刻膠一側放置在涂覆有紫外固化粘接膠的所述寶石片襯底上；用預定曝光量值的紫外線照射所述寶石片襯底，使所述探測器通過紫外固化粘接膠固定在所述寶石片襯底上；劃片結束后，將所述探測器和所述寶石片襯底置于丙酮溶液中進行加熱脫附。該方法省去了通過石蠟固定后擦拭石蠟的步驟，有效避免了擦拭石蠟過程中對探測器銦柱的損傷。文檔編號H01L31/18GK103000766SQ20121052935公開日2013年3月27日 申請日期2012年12月10日 優先權日2012年12月10日專利技術者王憲謀, 張敏, 謝珩 申請人:中國電子科技集團公司第十一研究所本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種紅外焦平面探測器銦柱的劃片粘接方法，其特征在于，包括：將探測器生長有銦柱的一側涂覆光刻膠，并進行固化；在透明的寶石片襯底上均勻涂覆紫外固化粘接膠；將所述探測器沒有涂光刻膠一側放置在涂覆有紫外固化粘接膠的所述寶石片襯底上；用預定曝光量值的紫外線照射所述寶石片襯底，使所述探測器通過紫外固化粘接膠固定在所述寶石片襯底上；劃片結束后，將所述探測器和所述寶石片襯底置于丙酮溶液中進行加熱脫附。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：王憲謀，張敏，謝珩，
申請(專利權)人：中國電子科技集團公司第十一研究所，
類型：發明
國別省市：
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