具有多引腳裝置觸點的接觸器制造方法及圖紙

一種用于自動化測試包含多個單獨電極的被測裝置DUT的接觸器組合件包含測試器負載板和耦合到所述測試器負載板的接觸器主體，所述多個單獨電極包含第一電極。由所述接觸器主體攜帶的多個接觸器引腳包含電耦合到所述測試器負載板的第一接觸器引腳和第二接觸器引腳。所述測試器負載板經配置以將所述多個接觸器引腳耦合到自動測試裝備ATE以測試所述DUT。所述第一接觸器引腳和第二接觸器引腳定位成都接觸所述第一電極。在所述DUT的自動化測試期間，到所述第一接觸器引腳的第一路徑與到所述第二接觸器引腳的第二路徑通過所述接觸器組合件電短接在一起成為電并聯的，從而提供到所述第一電極的冗余路徑。

【技術實現步驟摘要】
具有多引腳裝置觸點的接觸器
所揭示的實施例涉及半導體集成電路(IC)裝置的電測試。
技術介紹
例如球柵陣列(例如，BGA)封裝IC等半導體裝置在其最終完成或并入到電子設備中之前要經受測試過程。測試過程包含(但不限于)測試經單一化或電隔離的裝置，其為裸露裸片、封裝IC(暫時或永久的)或其間的變體。通常，電測試是使用經配置成用于對半導體裝置進行電刺激，且然后檢察其輸出響應看其是否恰當地行使功能的自動測試裝備(ATE)來完成。一般而言，與ATE相關聯的接觸器引腳被放置成與被測裝置(DUT)的金屬化接觸表面物理接觸且電接觸。這些表面可包含測試襯墊、接合襯墊、焊球、引線和/或其它導電介質。DUT的功能行使可以通過調用各輸入端上的刺激且然后測量在金屬化接觸表面處的輸出端上感測到的響應來進行測試。通常，由印制電路板(PCB)或其它介質形成的測試器負載板在ATE與DUT之間提供接口。所述測試器負載板常規上包含供插入DUT的一個或一個以上接觸器組合件，所述接觸器組合件有時稱為“測試插槽”。在自動化測試期間，例如薄型緊縮小外形封裝(TSSOP)等DUT通過處置器被推進插槽中，且在測試的持續時間內固持在適當位置。在固持于插槽中時，例如在TSSOP情況下為引線的DUT上的接觸表面與接觸器引腳接觸。在插入到接觸器中之后，DUT通過測試器負載板、其子組合件和其它介接設備電連接到ATE。為了說明目的，使DUT與由接觸器主體攜帶的pogo引腳接觸，且通過測試器負載板耦合到ATE。ATE通常配有軟件，所述軟件包含測試特定DUT的恰當功能行使所需的刺激與響應配方。通常，測試“批量(lot)”包含經受相同測試過程的串行或并行測試的眾多裝置。裝置處置器將DUT推進插槽中，在所述插槽中，所述DUT被固持于適當位置、測試、移除，且然后基于ATE所獲得的結果而被拒絕或接受。此類型的測試在驗證DUT的恰當功能行使，同時避免錯誤讀數方面提出技術挑戰，所述錯誤讀數導致錯誤地拒絕可操作的DUT。在此類型的測試中所遭遇的挑戰之一是確保接觸器的引腳與DUT的接觸表面之間的足夠電接觸。例如由存在污染物(例如，碎片)引起的不良電接觸可導致有錯誤的測試讀數。這些讀數可能指示IC故障模式，包含半導體測試中所常見的連貫性、功能、參數或其他方面。當遭遇有錯誤的讀數時，這些讀數可能導致錯誤地拒絕原本為良好的DUT，從而導致不必要的產量損失。然而，一些產量恢復通過重復測試而可為可能的。接受有錯誤的產量損失或通過重復測試以實現恢復，都會提高生產成本。
技術實現思路
所揭示的實施例描述用于自動化測試半導體被測裝置(DUT)的接觸器組合件，其減少錯誤測試讀數問題，錯誤測試讀數導致無效地拒絕原本在起作用的/可操作的DUT。揭示接觸器組合件，其同時接觸同一DUT接觸表面上的至少兩個不同位置，從而提供至少一個冗余觸點，所述DUT接觸表面在本文稱為電極(例如，引線、周邊焊盤、焊料凸塊)。已發現所揭示的接觸器組合件實質上增加由接觸器的引腳形成到每一電極的至少一個良好電接觸的概率。另外，通過確保測試裝備與DUT之間的足夠電接觸，所揭示的實施例減少從測試單元拆卸測試器負載板和/或其子組件以進行清潔或維修的需要，進而減少測試過程的中斷。所揭示的實施例包含用于自動化測試包含多個單獨電極的DUT的接觸器組合件，所述多個單獨電極包含第一電極。所述接觸器組合件包含測試器負載板和耦合到測試器負載板的接觸器主體。由接觸器主體攜帶的多個接觸器引腳包含電耦合到測試器負載板的第一接觸器引腳和第二接觸器引腳。所述測試器負載板經配置以將多個接觸器引腳耦合到自動測試裝備(ATE)以測試所述DUT。所述第一接觸器引腳和第二接觸器引腳定位成都接觸所述第一電極。在DUT的自動化測試期間，到第一接觸器引腳的第一路徑與到第二接觸器引腳的第二路徑通過所述接觸器組合件而電短接，以提供到第一電極的電冗余路徑。附圖說明圖1A表示根據實例實施例的自動測試器，其包含用于自動化測試DUT的實例接觸器組合件，所述DUT包含多個單獨電極。圖1B表示根據另一實例實施例的自動測試器，其包含用于自動化測試DUT的實例接觸器組合件，所述DUT包含多個單獨電極。圖2A為根據實例實施例的對所揭示的接觸器組合件的描繪，所述接觸器組合件具有雙重接觸器引腳而測試具有非平面引線的TSSOP裝置，所述非平面引線包含低標高“足部(foot)”部分和較高標高“肩部(shoulder)”部分。圖2B為根據實例實施例的所揭示的接觸器組合件的描繪，所述接觸器組合件具有雙重接觸器引腳而測試具有平面引線的有引線裝置。具體實施方式參考圖式描述了實例實施例，在圖式中，相似參考數字用來標示類似或相同元件。所說明的動作或事件排序不應認為是限制性的，因為一些動作或時間可以與其它動作或事件不同的次序和/或與其它動作或事件同時發生。另外，可能不需要一些所說明的動作或事件來實施根據本專利技術的方法。圖1A為表示根據所揭示的實施例的介接到實例接觸器組合件110的自動測試裝備118的描繪100，所述自動測試裝備118準備好自動化測試包含多個單獨電極130的DUT140，所述多個單獨電極130包含第一電極131和第二電極132。接觸器組合件110包括測試器負載板116、耦合到測試器負載板116的接觸器主體114，和電耦合到測試器負載板116的多個接觸器引腳112，每一接觸器引腳112位于由接觸器主體114攜帶的套筒113中，展示為第一接觸器引腳112(a)、第二接觸器引腳112(b)、第三接觸器引腳112(c)，第四接觸器引腳112(d)。通常，測試器負載板116是由印制電路板(PCB)或其它介質形成，其在ATE118與DUT140之間提供接口。測試器負載板116常規上包含供插入例如DUT140等DUT的一個或一個以上接觸器組合件，所述接觸器組合件有時稱為“測試插槽”。盡管展示為pogo引腳，但接觸器引腳112還可包括雜亂噪聲按鈕，和類似者。測試器負載板116經配置以將所述多個接觸器引腳112耦合到ATE118以測試DUT140。在測試期間，與ATE118相關聯的接觸器引腳112被放置成與電極130物理接觸且電接觸，所述電極130充當DUT140的金屬化接觸表面，且連接到DUT上的相應節點。此種接觸表面可包含測試襯墊、接合襯墊、周邊焊盤、焊球，和/或其它導電介質。可通過調用輸入電極130上的刺激，且然后測量電極130上的響應來測試DUT140的功能行使。第一接觸器引腳112(a)和第二接觸器引腳112(b)定位成都接觸同一第一電極131，而第三接觸器引腳112(c)和第四接觸器引腳112(d)定位成都接觸同一第二電極132。在DUT140的電極是引線的情況下，一個接觸器引腳可以接觸引線的一個部分，且第二(冗余)接觸器引腳也可以接觸同一引線的另一部分。到第一接觸器引腳112(a)的第一路徑121與到第二接觸器引腳112(b)的第二路徑122展示為被圖1A所示的接觸器組合件110通過測試器負載板116上的襯墊151而電短接在一起，且到第三接觸器引腳112(c)的第三路徑123與到第四接觸器引腳112(d)的第四路徑124展示為通過測試器負載板116上的襯墊152而電短接在一起。在DUT140的自動化測本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于自動化測試包含多個單獨電極的被測裝置DUT的接觸器組合件，所述多個單獨電極包含第一電極，所述接觸器組合件包括：測試器負載板；耦合到所述測試器負載板的接觸器主體，以及由所述接觸器主體攜帶的多個接觸器引腳，包括電耦合到所述測試器負載板的第一接觸器引腳和第二接觸器引腳，其中所述測試器負載板經配置以將所述多個接觸器引腳耦合到自動測試裝備ATE以測試所述DUT，其中所述第一接觸器引腳和所述第二接觸器引腳定位成都接觸所述第一電極，且其中在所述DUT的所述自動化測試期間，到所述第一接觸器引腳的第一路徑與到所述第二接觸器引腳的第二路徑通過所述接觸器組合件電短接在一起成為電并聯的，從而提供到所述第一電極的冗余路徑。

【技術特征摘要】
2011.09.09 US 13/228,5791.一種用于自動化測試包含多個單獨電極的被測裝置DUT的接觸器組合件，所述多個單獨電極包含第一電極，所述接觸器組合件包括：測試器負載板；耦合到所述測試器負載板的接觸器主體，由所述接觸器主體攜帶的多個接觸器引腳，包括電耦合到所述測試器負載板的第一接觸器引腳和第二接觸器引腳，其中所述測試器負載板經配置以將所述多個接觸器引腳耦合到自動測試裝備ATE以測試所述DUT，其中所述第一接觸器引腳和所述第二接觸器引腳定位成都接觸所述第一電極，且其中在所述DUT的所述自動化測試期間，到所述第一接觸器引腳的第一路徑與到所述第二接觸器引腳的第二路徑通過所述接觸器組合件電短接在一起成為電并聯的，從而提供到所述第一電極的冗余路徑；以及附接到所述接觸器主體的多個套筒，且其中所述第一接觸器引腳和所述第二接觸器引腳處于所述多個套筒中的一個套筒中且通過所述套筒而短接在一起。2.根據權利要求1所述的接觸器組合件，其中所述測試器負載板包含多個襯墊，所述多個襯墊包含耦合到所述第一接觸器引腳的第一襯墊和耦合到所述第二接觸器引腳的第二襯墊。3.根據權利要求1所述的接觸器組合件，其中所述第一接觸器引腳和所述第二接觸器引腳提供到所述第一電極的平面接觸。4.根據權利要求1所述的接觸器組合件，其中所述第一接觸器引腳和所述第二接觸器引腳提供到所述第一電極的非平面接觸。5.一種自動化測試包含多個單獨電極的被...

【專利技術屬性】
技術研發人員：斯坦利·徐，李齊曾，拜倫·哈里·吉布斯，
申請(專利權)人：德州儀器公司，
類型：發明
國別省市：