【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種藍寶石晶體生長爐的結構設計，尤其是一種爐體冷卻系統
技術介紹
目前，藍寶石晶體生長爐大整個外殼大多采用雙層筒體中間有水冷夾層的方案進行爐體冷卻，腔室主體結構簡單，尺寸較大，采用此種方案較為合適。但藍寶石晶體生長爐是一種非常復雜的設備，對于上爐蓋，其上不僅有籽晶通孔，觀察孔以及各種測試裝置通孔，這些都給上爐蓋的水冷系統的加裝帶來了一定的難度；對于下爐蓋，有些爐型裝有電極通孔，有些爐型裝有升降裝置，不利于水冷系統的加裝，這些都使得設備造價居高不下。
技術實現思路
本專利技術所要解決的技術問題是提供一種新型藍寶石晶體生長爐爐體冷卻系統，解決設備成本高的問題。為解決上述技術問題，本專利技術的技術方案為一種新型藍寶石晶體生長爐爐體冷卻系統，包括腔室主體水冷系統，上爐蓋水冷系統和下爐蓋水冷系統，其特征在于，所述腔室主體水冷系統為雙層筒體之間加導流槽，冷卻水一進一出，所述上爐蓋水冷系統為單層爐蓋懸掛金屬導熱板，金屬導熱板上焊接有金屬水管，冷卻水一進一出，所述下爐蓋水冷系統為單層爐蓋支撐金屬導熱板，金屬導熱板上焊接有金屬水管，冷卻水一進一出。上述一種新型藍寶石晶體生長爐爐體冷卻系統，其特征在于，所述腔室主體上有3-12個電極樁，I個進水管和I個出水管，所述上爐蓋上有I個籽晶通孔，I個籽晶腔室，I 個觀察孔，I個觀察孔遮擋片伺服機構，I個進水管和I個出水管，所述下爐蓋上有3個電極樁，I個進水管和I個出水管。上述一種新型藍寶石晶體生長爐爐體冷卻系統，其特征在于，所述金屬導熱板和金屬水管的材質為鎢，鑰，銅和鋁四中材料中的任意一種。本專利技術的優點在于此種爐體冷卻...
【技術保護點】
一種新型藍寶石晶體生長爐爐體冷卻系統，包括腔室主體水冷系統，上爐蓋水冷系統和下爐蓋水冷系統，其特征在于，所述腔室主體水冷系統為雙層筒體之間加導流槽，冷卻水一進一出，所述上爐蓋水冷系統為單層爐蓋懸掛金屬導熱板，金屬導熱板上焊接有金屬水管，冷卻水一進一出，所述下爐蓋水冷系統為單層爐蓋支撐金屬導熱板，金屬導熱板上焊接有金屬水管，冷卻水一進一出。
【技術特征摘要】
1.一種新型藍寶石晶體生長爐爐體冷卻系統，包括腔室主體水冷系統，上爐蓋水冷系統和下爐蓋水冷系統，其特征在于，所述腔室主體水冷系統為雙層筒體之間加導流槽，冷卻水一進一出，所述上爐蓋水冷系統為單層爐蓋懸掛金屬導熱板，金屬導熱板上焊接有金屬水管，冷卻水一進一出，所述下爐蓋水冷系統為單層爐蓋支撐金屬導熱板，金屬導熱板上焊接有金屬水管，冷卻水一進一出。2.根據權利I所述一種新型藍寶石晶體...
【專利技術屬性】
技術研發人員：滑喜寶，
申請(專利權)人：蘇州工業園區杰士通真空技術有限公司，
類型：發明
國別省市：
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