【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種藍寶石晶體生長爐的結構設計，尤其是一種人機界面設計。
技術介紹
隨著國內藍寶石行業的蓬勃發展，藍寶石晶體生長爐開始逐步的國產化，但目前的晶體生長爐基本上都是以國外技術為基礎，使用最多的是俄系的晶體生長爐，此種生長爐操作界面復雜，不夠人性化，自動化程度低，初學者要掌握整套設備的操作至少需要3-6個月，俄系的晶體生長爐需要操作者用肉眼來觀察，長期對著高溫熔體，會嚴重損壞操作者的視力。
技術實現思路
本專利技術所要解決的技術問題是提供一種新型藍寶石晶體生長爐人機界面設計，簡化操作人員的勞動強度，便于工藝培訓和長晶操作。為解決上述技術問題，本專利技術的技術方案為一種新型的藍寶石晶體生長爐人機界面設計，包括實時監控界面，自動程序操作界面，工藝手動操作界面，工藝曲線監控界面，報警界面和參數表，其特征在于，所述實時監控界面包括晶體生長過程模擬圖像，晶體生長爐整體運行狀態模擬圖，晶體生長爐發熱體功率，三相電壓電流數值，晶體重量數值，晶體生長速率數值，籽晶位置、籽晶提拉速率和籽晶旋轉速率數值，以及晶體生長過程工藝曲線監控，所述自動程序操作界面包括設備發熱體控制程序，程序控制按鈕和真空系統操作按鈕，所述工藝手動操作界面包括功率ST/PV值，籽晶提拉速率ST/PV值，籽晶旋轉速率ST/PV值，籽晶旋轉正轉、反轉和停止按鈕，籽晶提拉向上、向下和停止按鈕，籽晶瞬提向上和向下按鈕，籽晶瞬提間隔時間和瞬提距離設定對話框，晶體重量和晶體重量增長速率顯示值，以及晶體生長情況視頻顯示界面，所述工藝曲線監控界面可同時顯示功率曲線，晶體重量曲線，晶體生長速率曲線和晶體位置曲線，...
【技術保護點】
一種新型的藍寶石晶體生長爐人機界面設計，包括實時監控界面，自動程序操作界面，工藝手動操作界面，工藝曲線監控界面，報警界面和參數表，其特征在于，所述實時監控界面包括晶體生長過程模擬圖像，晶體生長爐整體運行狀態模擬圖，晶體生長爐發熱體功率，三相電壓電流數值，晶體重量數值，晶體生長速率數值，籽晶位置、籽晶提拉速率和籽晶旋轉速率數值，以及晶體生長過程工藝曲線監控，所述自動程序操作界面包括設備發熱體控制程序，程序控制按鈕和真空系統操作按鈕，所述工藝手動操作界面包括功率ST/PV值，籽晶提拉速率ST/PV值，籽晶旋轉速率ST/PV值，籽晶旋轉正轉、反轉和停止按鈕，籽晶提拉向上、向下和停止按鈕，籽晶瞬提向上和向下按鈕，籽晶瞬提間隔時間和瞬提距離設定對話框，晶體重量和晶體重量增長速率顯示值，以及晶體生長情況視頻顯示界面，所述工藝曲線監控界面可同時顯示功率曲線，晶體重量曲線，晶體生長速率曲線和晶體位置曲線，所述報警界面顯示了水流報警，爐壓報警，超溫報警和急停使動按鈕報警，所述參數表包括的參數有稱重傳感器的濾波時間，稱重傳感器稱重范圍和籽晶旋轉加速度。
【技術特征摘要】
1.一種新型的藍寶石晶體生長爐人機界面設計，包括實時監控界面，自動程序操作界面，工藝手動操作界面，工藝曲線監控界面，報警界面和參數表，其特征在于，所述實時監控界面包括晶體生長過程模擬圖像，晶體生長爐整體運行狀態模擬圖，晶體生長爐發熱體功率，三相電壓電流數值，晶體重量數值，晶體生長速率數值，籽晶位置、籽晶提拉速率和籽晶旋轉速率數值，以及晶體生長過程工藝曲線監控，所述自動程序操作界面包括設備發熱體控制程序，程序控制按鈕和真空系統操作按鈕，所述工藝手動操作界面包括功率ST/PV值，籽晶提拉速率ST/PV值，籽晶旋轉速率ST/PV值，籽晶旋轉正轉、反轉和停止按鈕...
【專利技術屬性】
技術研發人員：滑喜寶，
申請(專利權)人：蘇州工業園區杰士通真空技術有限公司，
類型：發明
國別省市：
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