一種有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法技術

本發明專利技術涉及半導體制造領域，尤其涉及一種有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法。本發明專利技術提出一種有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，通過采用緊迫性系數對已送達至某一站點的所有lot重新賦予優先級，并根據該重新賦予的優先級依次對每個lot進行該站點的制程工藝，在提高產能效率的基礎，有效控制產品生產周期的失控，進而提升產品的準時交貨率。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及半導體制造領域，尤其涉及。
技術介紹
目前，在工廠實現大規模量產后，其產品的生產周期均是由人工控制，即當發現某lot的準時交貨時間有問題時，只能通過人工方式改變該lot的優先權，以使得該lot能夠準時交貨；但由于是人工控制，而且都是當lot的交貨時間可能滯后才對lot的優先級進行調控，很容易由于調控不當或時間緊迫，需要付出成倍的人力和產能才能準時交貨，甚至有些lot的生產周期失控根本就無法趕上交貨時間，從而嚴重影響準時交貨率。 圖I是本專利技術
技術介紹
中由于生產周期失控造成不良影響的示意圖；如圖I所示，當客戶將大量訂單交付給工廠后，由于線上產品多且復雜，人工調控不當易造成生產周期的失控，進而影響產品的準時交貨率，最終造成客戶滿意度的降低而喪失訂單，使得工廠蒙受巨大的損失；如某一 lot的優先級是4，但由于在某個站點進程(process)問題被耽擱(hold)兩天,當恢復進程(release)后沒有被注意到,勢必會影響該lot的準時交貨率。圖2是本專利技術
技術介紹
中采用人工控制的產品生產周期的正態分布圖，縱軸表示lot數量比例，橫軸表示生產周期(單位為天/光罩層)；如圖2所示，方框a中的曲線表示生產周期超速部分，會造成產能的浪費，而方框b中的曲線則表示生產周期較差，即生產周期失控部分，失控的異常值會大大影響產品的準時交貨率；所以，要想控制生產周期的失控及產能的浪費，要將方框a和b中的曲線想中間部分收斂才行。
技術實現思路
針對上述存在的問題，本專利技術揭示了(A effective Fab cycle time control method),主要是通過自動設定并及時更新每個lot的緊迫系數，自動調控站點上每個lot的優先級。 本專利技術的目的是通過下述技術方案實現的 本專利技術，其中， 于一站點上，對已送達的所有lot進行組別劃分； 確認每個lot的交貨期； 計算每個lot的緊迫性系數； 根據所述緊迫性系數重新賦予上述每個lot的優先級； 根據優先級依次對每個lot進行該站點的制程工藝。上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，進行所述組別劃分時去除緊急批次的lot和異常的lot，緊急批次的lot先于設定有優先級的lot進行該站點的制程工藝。上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，所述異常的lot包括緩存批次lot，有劃痕的lot和刻意減緩進度的lot。上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，所述每個lot的交貨期采用公式D=Di+Z+N進行確定，D為lot的交貨期，D1為lot的下線日期，Z為lot承諾的生產周期，N為緩存天數。上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，采用公式C= (D-D2)/ (S-X)計算每個lot的緊迫性系數，C為lot的緊迫性系數，D為lot的交貨期，D2為當前日期，S為lot的制程總站點數，X為lot已完成站點數。上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，lot的優先級級別數與該lot的緊迫性系數成反比。上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，每隔一定時間后，重復上述步驟以重新確定該站點送達的每個lot的優先級。 上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，每隔12個小時，重復重新確定該站點送達的每個lot的優先級一次。上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，根據所述緊迫性系數可賦予上述lot為緊急批次。上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其中，根據所述緊迫性系數賦予上述lot為緊急批次時，交貨期小于或等于當前日期的值。上述的有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，通過如計算機等自動控制裝置實現每個站點上各個lot優先級的重新賦予及更新，以實現對產品生產周期自動優化處理的目的。綜上所述，本專利技術，通過采用緊迫性系數對已送達至某一站點的所有lot重新賦予優先級，并根據該重新賦予的優先級依次對每個lot進行該站點的制程工藝，在提高產能效率的基礎，有效控制產品生產周期的失控，進而提升產品的準時交貨率。附圖說明圖I是本專利技術
技術介紹
中由于生產周期失控造成不良影響的示意 圖2是本專利技術
技術介紹
中采用人工控制的產品生產周期的正態分布圖，縱軸表示lot數量比例，橫軸表示生產周期(單位為天/光罩層)； 圖3是本專利技術有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法的流程示意 圖4是本專利技術有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法中的優化優先級的表格；圖5是經過本專利技術有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法控制后的生產周期正態分布圖，縱軸表示lot數量比例，橫軸表示生產周期(單位為天/光罩層)。具體實施例方式 下面結合附圖對本專利技術的具體實施方式作進一步的說明 如圖3-4所示，本專利技術，適用于半導體晶圓生產的各個過程 首先，在一工藝站點上，對已經送達至該站點的所有批次的產品(lot)進行組別劃分，如去除已承諾客戶的緊急批次(Bullet/Hot)的lot和異常的lot，且該緊急批次的lot的派工優先權先于設定有優先級的lot ;其中，異常的lot包括如緩存批次(Future Bank)lot、有劃痕(Scrap)的lot和刻意減緩進度(Slow Down)的lot等。其次，根據lot的下線日期D1、承諾的生產周期Z和該lot的緩存(Bank)天數N，并利用公式D=Di+Z+N，來確定每該站點此時每個lot的交貨期D的具體日期。然后，根據確定的交貨期D的值，利用公式C= (D-D2)/ (S-X)來計算每個lot的緊迫性系數(Critical Ratio), C為lot的緊迫性系數，D為lot的交貨期，D2為當前日期，S為lot的制程總站點數(工藝總Stage數目)，X為lot已完成站點數(已完成Stage數目)，且S大于等于X。之后，根據每個lot的緊迫系數對所有的lot重新進行優先級賦值，由于緊迫系數與優先級成反比，即緊迫系數越小，說明該lot的交貨緊急度越高，其派工的優先級別也就越聞。 最后，根據各個lot的優先級級別，該站點依次對各個lot進行制程工藝。優選的，每隔一段時間后，針對已到達該站點的所有lot重復進行優先級的賦值，如可以每隔12個小時進行一次lot優先級別的更新，并更加更新后的優先級對該站點的lot進行派工順序。如圖4所示，Lot ID為A000001的lot，其交貨期D為2011年10月I日，剩余站點數(S-X)的值為59，設定的當前日期D2為2011年10月15日，則該lot的緊迫系數C=14/59=0. 2372881,保留小數點后兩位有效數據，四舍五入后,該lot的緊迫系數的值C為0.24。重復上述針對Lot ID為A000001的lot的緊迫系數計算的步驟,得出此時該站點所有的lot的緊迫系數Lot ID為A000002的lot的緊迫系數為0. 56,Lot ID為A000002的lot的緊迫系數為O. 33、Lot ID為A000002的lot的緊迫系數為I. 15、Lot ID為A000002的lot的緊迫系數為O. 41和Lot ID為A000002的lot的緊迫系數為O. 81 ;根據上述的各個lot的緊迫性系數確定Lot ID為A0本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種有效控制晶圓生產過程中生產周期失控的方法，其特征在于，于一站點上，對已送達的所有lot進行組別劃分；確認每個lot的交貨期；計算每個lot的緊迫性系數；根據所述緊迫性系數重新賦予上述每個lot的優先級；根據優先級依次對每個lot進行該站點的制程工藝。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：嚴麗輝，趙偉，柯陳賓，
申請(專利權)人：上海華力微電子有限公司，
類型：發明
國別省市：