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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法。本發(fā)明提出一種有效控制晶圓生產(chǎn)過程中生產(chǎn)周期失控的方法，通過采用緊迫性系數(shù)對已送達至某一站點的所有l(wèi)ot重新賦予優(yōu)先級，并根據(jù)該重新賦予的優(yōu)先級依次對每個lot...該專利屬于上海華力微電子有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過上海華力微電子有限公司授權(quán)不得商用。