涂布機顯像機藥液噴吐流量的監測裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術公開了一種涂布機顯像機藥液噴吐流量的監測裝置，包括流量監測主控制器，流量監測主控制器的輸入連接信號放大器的一端，信號放大器的另一端連接到位傳感器，到位傳感器設置于浮球流量計的浮球上；流量監測主控制器的輸出連接電磁閥電信號采集分路，電磁閥電信號采集分路連接噴吐控制電磁閥。本實用新型專利技術通過光電到位傳感器采集浮球流量計的流量數據，并通過流量監測主控制器進行識別和判斷，能夠準確而實時地監測藥液噴吐流量到位狀況，有效地避免由于藥液噴吐流量異常且無機臺報警造成的硅片工藝不全、低良率、報廢等現象的發生。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種涂布機顯像機，具體涉及一種涂布機顯像機藥液噴吐流量的監測裝置。
技術介紹
現有的涂布機顯像機，對于工藝中使用到的各種藥液如預涂膠HMDS (六甲基二硅胺)、有機溶劑、顯像液、去離子水等的噴吐流量只能通過浮球流量計顯示，并且沒有判斷異常和報警的功能。因此，對于涂布機顯像機的藥液噴吐流量的監測，只能單純依靠操作人員或者維護人員劃定浮球流量計的流量刻度位置并通過日常點檢來觀察，缺乏時效性和準確性。由于噴吐流量的異常而導致的硅片低良率、報廢的事例也無從查證。
技術實現思路
本技術所要解決的技術問題是提供一種涂布機顯像機藥液噴吐流量的監測裝置，它可以監測藥液噴吐流量到位狀況。為解決上述技術問題，本技術涂布機顯像機藥液噴吐流量的監測裝置的技術解決方案為包括流量監測主控制器，流量監測主控制器的輸入連接信號放大器的一端，信號放大器的另一端連接到位傳感器，到位傳感器設置于浮球流量計的浮球上；流量監測主控制器的輸出連接電磁閥電信號采集分路，電磁閥電信號采集分路連接噴吐控制電磁閥。所述到位傳感器為光電式到位傳感器。所述信號放大器為光電式信號放大器。本技術可以達到的技術效果是本技術通過光電到位傳感器采集浮球流量計的流量數據，并通過流量監測主控制器進行識別和判斷，能夠準確而實時地監測藥液噴吐流量到位狀況，有效地避免由于藥液噴吐流量異常且無機臺報警造成的硅片工藝不全、低良率、報廢等現象的發生。以下結合附圖和具體實施方式對本技術作進一步詳細的說明圖I是本技術涂布機顯像機藥液噴吐流量的監測裝置的示意圖。圖中附圖標記說明I為流量監測主控制器，2為電磁閥電信號采集分路，3為光電到位傳感器，4為光電信號放大器，10為浮球流量計，20為噴吐控制電磁閥。具體實施方式如圖I所示，本技術涂布機顯像機藥液噴吐流量的監測裝置，包括流量監測主控制器I，流量監測主控制器I的輸入連接光電信號放大器4的一端,光電信號放大器4的另一端連接光電到位傳感器3，光電到位傳感器3設置于浮球流量計10的浮球上；流量監測主控制器I具有時序處理和報警輸出功能，光電信號放大器4具有感度調節功能；流量監測主控制器I的輸出連接電磁閥電信號采集分路2，電磁閥電信號采集分路2連接噴吐控制電磁閥20 ;電磁閥電信號采集分路2用于向流量監測主控制器I提供噴吐控制電磁閥20的直流5伏信號。本技術的工作原理如下通過光電到位傳感器3采集浮球流量計10的流量數據，通過電磁閥電信號采集分路2采用噴吐控制電磁閥20的噴吐信號，傳送給帶有時序和判斷功能的流量監測主控制器I。本技術設置于藥液噴吐管路的浮球流量計上，用于硅片制造過程中流量的監控。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種涂布機顯像機藥液噴吐流量的監測裝置，其特征在于：包括流量監測主控制器，流量監測主控制器的輸入連接信號放大器的一端，信號放大器的另一端連接到位傳感器，到位傳感器設置于浮球流量計的浮球上；流量監測主控制器的輸出連接電磁閥電信號采集分路，電磁閥電信號采集分路連接噴吐控制電磁閥。

【技術特征摘要】
1.一種涂布機顯像機藥液噴吐流量的監測裝置，其特征在于包括流量監測主控制器，流量監測主控制器的輸入連接信號放大器的一端，信號放大器的另一端連接到位傳感器，到位傳感器設置于浮球流量計的浮球上；流量監測主控制器的輸出連接電磁閥電信號采集分路，電磁閥...

【專利技術屬性】
技術研發人員：丘志春，陳顯旻，吳長明，
申請(專利權)人：上海華虹NEC電子有限公司，
類型：實用新型
國別省市：