用于玻璃基板高溫退火時的石英板制造技術

本實用新型專利技術提供一種用于玻璃基板高溫退火時的石英板，包括承載平面，用于在高溫退火時承載玻璃基板；還包括：限位裝置，設置在所述承載平面上，其靠近所述玻璃基板的側面與所述玻璃基板的外周面相配合防止所述玻璃基板在高溫退火時水平漂移出所述承載平面。由于設置有限位裝置，所述限位裝置能夠對所述玻璃基板進行水平方向的漂移限制，從而利用本實用新型專利技術提供的石英板來承載所述玻璃基板進行高溫退火時，所述玻璃基板不會相對所述石英板發生水平漂移，從而使得本實用新型專利技術的石英板使用時在不需要增大退火爐的尺寸的情況下就能夠避免玻璃基板的漂移缺陷，同時很好地解決了玻璃基板漂移和成本控制的問題。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

用于玻璃基板高溫退火時的石英板
本技術屬于平面顯示器的制造領域，具體涉及一種防止玻璃基板高溫退火時發生漂移的石英板。
技術介紹
OLED (英文全稱為0rganic Light-Emitting Diode,中文譯為有機電致發光二極管)是主動發光器件，相比現有技術中流行的薄膜晶體管液晶顯示器(英文縮寫為 TFT-LCD)來說，OLED以其高對比度、廣視角、低功耗以及體積薄等優點，成為目前平板顯示技術中最受關注的技術。OLED采用電流驅動，所以每個像素的驅動電路必須保證足夠大的輸出電流，因此驅動電路中的薄膜晶體管采用的半導體材料必須使用遷移率較高的材料，目前應用最廣泛的是多晶娃。多晶硅一般通過非晶硅結晶的方式形成，目前，非晶硅結晶成多晶硅的方法包括準分子激光結晶方法和高溫退火結晶方法。準分子激光結晶方法使用激光瞬間熔化非晶硅薄膜使其由液態轉變為多晶態， 該種方法的缺陷在于薄膜的晶粒大小會隨著激光能量的差異而出現較大的波動，制成的 OLED產品有嚴重的不均勻性。高溫退火結晶方法需要將沉積有非晶硅薄膜的玻璃基板3放在平面石英板4上進行退火，為了滿足較高的遷移率，玻璃基板3需要在退火爐中以600-700°C進行數小時的退火。該種方法的缺陷在于數小時的高溫作用容易使玻璃基板3發生翹曲形變，而現有技術中的平面石英板4上沒有加載任何保護裝置，這使得翹曲的玻璃基板3在氮氣氣流的作用下，相對平面石英板4產生水平方向的漂移(見圖4)，從而導致玻璃基板3超出平面石英板邊界，致使工藝結束后機械手自動取玻璃基板3時發生識別異常(認為沒有玻璃)，從而中斷生產過程，或者把玻璃基板3撞到設備的夾具上，造成設備的損壞。然而，在平板顯示行業， OLED的玻璃基板3尺寸具有相應的規格，廠商根據玻璃基板3的尺寸規格確定平面石英板 4的尺寸規格以及退火爐的尺寸規格，由于退火爐的尺寸規格對平面石英板4的尺寸規格的限制，如果簡單的增大石英板的尺寸，就需要同時增大退火爐的尺寸，這將造成生產成本上的提高，因此，平面石英板4的尺寸不宜過大，一般比玻璃基板3的尺寸規格大30-50mm， 而在實際退火時，玻璃基板3的漂移幅度很大，往往超出平面石英板4的邊界，所以，依靠簡單的增大平面石英板4的尺寸并不能同時很好地解決玻璃基板3漂移和成本控制的問題。
技術實現思路
因此，本技術所要解決的技術問題在于提供一種能夠同時解決玻璃基板在高溫退火時的漂移問題并能夠降低生產成本的石英板。為此，本技術提供一種用于玻璃基板高溫退火時的石英板，包括承載平面，用于在高溫退火時承載玻璃基板；還包括限位裝置，設置在所述承載平面上，其靠近所述玻璃基板的側面與所述玻璃基板的外周面相配合防止所述玻璃基板在高溫退火時水平漂移出所述承載平面。所述限位裝置為至少3個位于所述承載平面上限制所述玻璃基板的直角卡槽。所述直角卡槽為四個，分別設置于所述承載平面的四角上。所述限位裝置為至少3個位于所述承載平面上限制所述玻璃基板的弧形卡槽。所述弧形卡槽為四個，分別設置于所述承載平面的四角上。所述限位裝置為至少3個位于所述承載平面上限制所述玻璃基板的條形卡槽。所述條形卡槽為四個，分別設置于所述承載平面的四條邊上。相鄰所述條形卡槽不連接。所述限位裝置與所述承載平面分體成型。所述限位裝置與所述承載平面一體成型。本技術提供的用于玻璃基板高溫退火時的石英板具有以下優點本技術提供一種用于玻璃基板高溫退火時的石英板，包括承載平面，用于在高溫退火時承載玻璃基板；還包括限位裝置，設置在所述承載平面上，其靠近所述玻璃基板的側面與所述玻璃基板的外周面相配合防止所述玻璃基板在高溫退火時水平漂移出所述承載平面。由于設置有限位裝置，所述限位裝置能夠對所述玻璃基板進行水平方向的漂移限制，從而利用本技術提供的石英板來承載所述玻璃基板進行高溫退火時，所述玻璃基板不會相對所述石英板發生水平漂移，從而使得本技術的石英板使用時在不需要增大退火爐的尺寸的情況下就能夠避免玻璃基板的漂移缺陷，同時很好地解決了玻璃基板漂移和成本控制的問題。附圖說明為了使本技術的內容更容易被清楚的理解，下面根據本技術的具體實施例并結合附圖，對本技術作進一步詳細的說明，其中圖I是本技術提供的石英板在承載玻璃基板時的第一種實施例的示意圖；圖2是本技術提供的石英板在承載玻璃基板時的第二種實施例的示意圖；圖3是本技術提供的石英板在承載玻璃基板時的第三種實施例的示意圖；圖4是現有技術的石英板在承載玻璃基板時的不意圖；圖中附圖標記表示為I-承載平面；21_直角卡槽；22_弧形卡槽；23_條形卡槽；3_玻璃基板；4_平面石英板。具體實施方式下面結合具體的實施例對本技術提供的用于玻璃基板高溫退火時的石英板進行詳細的說明。實施例I本實施例提供一種用于玻璃基板高溫退火時的石英板，包括承載平面1，用于在高溫退火時承載玻璃基板3 ;還包括限位裝置，設置在所述承載平面I上，其靠近所述玻璃基板3的側面與所述玻璃基板3的外周面相配合防止所述玻璃基板3在高溫退火時水平漂移出所述承載平面I。在本技術中，所述限位裝置為至少3個位于所述承載平面I上限制所述玻璃基板3直角卡槽21，在本實施例中，所述直角卡槽21為四個，分別設置于所述承載平面I的四角上，如圖I所示，所述直角卡槽21靠近所述玻璃基板3的側面與所述玻璃基板3的外周面相配合，將所述玻璃基板3的四角阻擋住，從而使得所述玻璃基板3不會相對于所述承載平面I水平漂移，不會超出所述承載平面I。需要說明的是，在本技術中，所述直角卡槽21與所述承載平面I的連接設置方式不受限制，可以采用一體成型，也可以采用分體成型后將兩者進行連接。在本實施例中，所述直角卡槽21與所述承載平面I 一體成型，一體成型相對于分體成型來說，所述直角卡槽21與所述承載平面I的連接效果更好，從而使得所述直角卡槽21的使用壽命較高。值得注意的是，在本技術中，所述直角卡槽21的材料在滿足耐高溫的情況下不受限制，此處提到的高溫是指用于對所述玻璃基板3進行高溫退火時的溫度，即 600-7000C ;此處的耐高溫是指所述直角卡槽21在上述高溫條件下發生變形時不會影響其對所述玻璃基板3的水平漂移的限制作用。在本實施例中，所述直角卡槽21的材料是石英。利用實施例I提供的石英板進行玻璃基板的高溫退火時的工藝，依次包括以下步驟A.采用一個石英板，所述石英板包括承載平面I和設置在所述承載平面I上的限位裝置，所述承載平面I用于在高溫退火時承載玻璃基板3，所述限位裝置靠近所述玻璃基板的側面與所述玻璃基板3的外周面相配合防止所述玻璃基板3在高溫退火時水平漂移出所述承載平面1，在此，所述限位裝置為四個直角卡槽21，分別位于所述承載平面I的四角上；B.在所述玻璃基板3上沉積緩沖層薄膜和非晶硅薄膜；C.將經過所述步驟B處理后的所述玻璃基板3放置所述石英板的所述承載平面I 上，并通過所述限位裝置將所述玻璃基板3阻擋住；D.對沉積有所述非晶硅薄膜的所述玻璃基板3在600°C的退火爐中進行高溫退火。在本實施例中，所述步驟A中的所述石英板的所述限位裝置與所述承載平面I為一體成型，采用該種成型方式制造的石英板的使用壽命較高。在本實施例中，所述步驟B本文檔來自技高網...

【技術保護點】
用于玻璃基板高溫退火時的石英板，包括承載平面（1），用于在高溫退火時承載玻璃基板（3）；其特征在于，還包括：限位裝置，設置在所述承載平面（1）上，其靠近所述玻璃基板（3）的側面與所述玻璃基板（3）的外周面相配合防止所述玻璃基板（3）在高溫退火時水平漂移出所述承載平面（1）。

【技術特征摘要】
2012.05.30 CN 201220249897.81.用于玻璃基板高溫退火時的石英板，包括承載平面(1)，用于在高溫退火時承載玻璃基板(3);其特征在于，還包括限位裝置，設置在所述承載平面(I)上，其靠近所述玻璃基板(3)的側面與所述玻璃基板(3)的外周面相配合防止所述玻璃基板(3)在高溫退火時水平漂移出所述承載平面(I)。2.根據權利要求I所述的用于玻璃基板高溫退火時的石英板，其特征在于所述限位裝置為至少3個位于所述承載平面(I)上限制所述玻璃基板(3 )的直角卡槽(21)。3.根據權利要求2所述的用于玻璃基板高溫退火時的石英板，其特征在于所述直角卡槽(21)為四個，分別設置于所述承載平面(I)的四角上。4.根據權利要求I所述的用于玻璃基板高溫退火時的石英板，其特征在于所述限位裝置為至少3個位于所述承載平面(I)上限制所述...

【專利技術屬性】
技術研發人員：張潔，邱勇，黃秀頎，林立，魏博，
申請(專利權)人：昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司，
類型：實用新型
國別省市：