一種基板上殘留物的檢測裝置制造方法及圖紙

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種基板上殘留物的檢測裝置，包括檢測信號(hào)發(fā)射源、檢測信號(hào)接收器和控制器；其中，所述檢測信號(hào)發(fā)射源，用于向基板發(fā)射波信號(hào)；所述檢測信號(hào)接收器，用于接收基板所反饋的波信號(hào)，并將收到的波信號(hào)用于檢測殘留物的有用信息發(fā)送給控制器；所述控制器中預(yù)先設(shè)置有用于檢測殘留物的有用信息與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，所述控制器用于根據(jù)該對應(yīng)關(guān)系確定收到的用于檢測殘留物的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)是否為殘留物。本實(shí)用新型專利技術(shù)提供的基板上殘留物的檢測裝置，能夠自動(dòng)實(shí)現(xiàn)基板上的殘留物檢測，相比人工操作而言能夠明顯提高準(zhǔn)確率，減少耗時(shí)。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及液晶顯示技術(shù)，特別涉及一種基板上殘留物的檢測裝置。
技術(shù)介紹
在制造液晶顯示器(IXD)的過程中，需要沉積薄膜，再涂覆光刻膠，曝光顯影制作圖案，然后進(jìn)行刻蝕工藝得到相應(yīng)圖案，最后再剝離掉光刻膠。這就要求每次的刻蝕工藝后，能夠從玻璃基板上完全剝離需要?jiǎng)冸x的光刻膠，以免殘留的光刻膠等殘留物污染沉積設(shè)備，影響薄膜的品質(zhì)。目前，通常通過肉眼檢測玻璃基板上需要?jiǎng)冸x的光刻膠是否完全剝離，這種操作方式的準(zhǔn)確率低，并且耗時(shí)長。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
有鑒于此，本技術(shù)的主要目的在于提供一種基板上殘留物的檢測裝置，以提聞基板上的殘留物檢測的準(zhǔn)確率。為達(dá)到上述目的，本技術(shù)的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的一種基板上殘留物的檢測裝置，該裝置包括檢測信號(hào)發(fā)射源、檢測信號(hào)接收器和控制器；其中，所述檢測信號(hào)發(fā)射源，用于向基板發(fā)射波信號(hào)；所述檢測信號(hào)接收器，用于接收基板所反饋的波信號(hào)，并將收到的波信號(hào)中用于檢測殘留物的有用信息發(fā)送給控制器；所述控制器中預(yù)先設(shè)置有用于檢測殘留物的有用信息與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，所述控制器用于根據(jù)該對應(yīng)關(guān)系確定收到的用于檢測殘留物的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)是否為殘留物。上述方案中，所述檢測信號(hào)發(fā)射源為光源，用于發(fā)射光； 所述檢測信號(hào)接收器為光電傳感器，用于接收所述光源被基板反射后所發(fā)出的光信號(hào)，并將收到的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，再將該電信號(hào)發(fā)送給所述控制器。上述方案中，所述控制器中預(yù)先設(shè)置的所述對應(yīng)關(guān)系為電信號(hào)的大小與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系。上述方案中，所述光源、光電傳感器以及控制器中的任何一個(gè)或多個(gè)，設(shè)置于操控基板的機(jī)械手上。上述方案中，所述檢測信號(hào)發(fā)射源為聲波源，用于發(fā)射聲波；所述檢測信號(hào)接收器為頻率探測器，用于接收所述聲波源經(jīng)過基板傳播后反饋的聲波，再將收到的聲波的頻率發(fā)送給控制器。上述方案中，所述控制器中預(yù)先設(shè)置的所述對應(yīng)關(guān)系為聲波在介質(zhì)中的傳播速度與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，或聲波頻率與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系。3上述方案中，所述控制器中預(yù)先設(shè)置的所述對應(yīng)關(guān)系為聲波在介質(zhì)中的傳播速度與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系時(shí)，控制器用于根據(jù)收到的聲波頻率，基于多普勒效應(yīng)計(jì)算以得到聲波在介質(zhì)中的傳播速度，再根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系獲知計(jì)算得到的聲波在介質(zhì)中的傳播速度所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)是否為殘留物。上述方案中，所述聲波源、頻率探測器以及控制器中的任何一個(gè)或多個(gè)，設(shè)置于操控基板的機(jī)械手上。上述方案中，在確定收到的用于檢測殘留物的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)為殘留物時(shí)，所述控制器還用于發(fā)出告警，和/或控制機(jī)械手對基板進(jìn)行操控。上述方案中，所述檢測信號(hào)接收器和控制器相連，所述控制器為機(jī)械手控制芯片。可見，由于檢測信號(hào)發(fā)射源能夠向基板發(fā)射波信號(hào)；檢測信號(hào)接收器能夠接收基板所反饋的波信號(hào)，并將收到的波信號(hào)中用于檢測殘留物的有用信息發(fā)送給控制器；再加上控制器能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)置的用于檢測殘留物的有用信息與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，確定收到的用于檢測殘留物的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)是否為殘留物。因此，本技術(shù)提供的基板上殘留物的檢測裝置，能夠自動(dòng)實(shí)現(xiàn)基板上的殘留物檢測，相比人工操作而言能夠明顯提高準(zhǔn)確率，減少耗時(shí)。附圖說明圖I為本技術(shù)一實(shí)施例的檢測裝置檢測玻璃基板上殘留物的原理示意圖；圖2為本技術(shù)另一實(shí)施例的檢測裝置檢測玻璃基板上殘留物的原理示意圖；圖3為本技術(shù)一實(shí)施例的玻璃基板上殘留物的檢測裝置；附圖標(biāo)記說明I、機(jī)械手；2、玻璃基板；3、光源；4、光電傳感器；5、控制器；6、聲波源；7、頻率探測器；8、檢測信號(hào)發(fā)射源；9、檢測信號(hào)接收器。具體實(shí)施方式在實(shí)際應(yīng)用中，光照射到物質(zhì)表面后通常會(huì)發(fā)生折射和反射。針對不同的物質(zhì)，所折射的光的光強(qiáng)不同，所反射的光的光強(qiáng)也不同。基于上述原理，可以進(jìn)行如圖I所示的設(shè)置。圖I中，在用于操控玻璃基板2的機(jī)械手I上設(shè)置光源3、光電傳感器4和控制器5,光電傳感器4可以和控制器5相連。其中,光源3能夠發(fā)射光,光源3所發(fā)射的光被玻璃基板2反射后由光電傳感器4以光信號(hào)的形式接收，并且，光電傳感器4將收到的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，再將該電信號(hào)發(fā)送給控制器5。控制器5中預(yù)先設(shè)置有電信號(hào)的大小與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，如大小為a的電信號(hào)對應(yīng)于光刻膠，大小為b的電信號(hào)對應(yīng)于玻璃基板,大小為c的電信號(hào)對應(yīng)于塑料。之所以這樣設(shè)置，是因?yàn)橛捎诠庹丈涞讲煌奈镔|(zhì)表面(即具有不同材質(zhì)的物質(zhì))后所反射的光的光強(qiáng)不同，再加上不同光強(qiáng)的光被轉(zhuǎn)換成的電信號(hào)的大小也不同，這就導(dǎo)致電信號(hào)的大小與物質(zhì)的材質(zhì)之間存在對應(yīng)關(guān)系，并且不同大小的電信號(hào)對應(yīng)不同材質(zhì)的物質(zhì)。因此控制器5在收到來自光電傳感器4的電信號(hào)之后，就可以根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系獲知收到的電信號(hào)的大小所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)，如收到大小為a的電信號(hào)時(shí)，確定該電信號(hào)所對應(yīng)的材質(zhì)為光刻膠；收到大小為b的電信號(hào)時(shí),確定該電信號(hào)所對應(yīng)的材質(zhì)為玻璃基板；收到大小為c的電信號(hào)時(shí)，確定該電信號(hào)所對應(yīng)的材質(zhì)為塑料。在確定收到的電信號(hào)所對應(yīng)的材質(zhì)為光刻膠時(shí),控制器5可發(fā)出告警,還可以控制機(jī)械手I對玻璃基板2進(jìn)行操控，如停止運(yùn)行、取下玻璃基板2等。需要說明的是，光源3和光電傳感器4的位置可以隨意設(shè)置，只要光源3發(fā)出的光被玻璃基板2反射后能順利被光電傳感器4接收即可。與上述利用光進(jìn)行檢測的原理類似，在實(shí)際應(yīng)用中，聲波在不同介質(zhì)中傳播的速度不同。基于上述原理，可以進(jìn)行如圖2所示的設(shè)置。圖2中，在用于操控玻璃基板2的機(jī)械手I上設(shè)置聲波源6、頻率探測器7和控制器5，頻率探測器7可以和控制器5相連，聲波源6在發(fā)射聲波時(shí)相對于玻璃基板2具有一定的移動(dòng)速度。其中，聲波源6能夠發(fā)射聲波,聲波源6所發(fā)射的聲波經(jīng)過玻璃基板2的傳播后由頻率探測器7接收，頻率探測器7再將收到的聲波的頻率發(fā)送給控制器5。控制器5中預(yù)先設(shè)置有聲波在介質(zhì)中的傳播速度與物質(zhì)的材質(zhì)(即前述的介質(zhì))之間的對應(yīng)關(guān)系，如大小為X的聲波傳播速度對應(yīng)于光刻膠(即經(jīng)過光刻膠傳播后的聲波傳播速度為X)，大小為I的聲波傳播速度對應(yīng)于玻璃基板(即經(jīng)過玻璃基板傳播后的聲波傳播速度為y)，大小為Z的聲波傳播速度對應(yīng)于塑料(即經(jīng)過塑料傳播后的聲波傳播速度為z)。之所以這樣設(shè)置，是因?yàn)楦鶕?jù)多普勒效應(yīng)，可以得到以下的公式(I)m = u*f/(u-s)(I)其中，聲波源6發(fā)出的聲波的頻率為f，聲波源6發(fā)出的聲波在介質(zhì)中的傳播速度為U，聲波源6相對于玻璃基板2的移動(dòng)速度為S，頻率探測器7接收到的聲波的頻率為m。可見，基于公式⑴以及已知的上述參數(shù)m、f和S，控制器5通過計(jì)算可以得到聲波在介質(zhì)中的傳播速度U。這樣，控制器5就可以根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系獲知計(jì)算得到的聲波在介質(zhì)中的傳播速度u所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)，如根據(jù)收到的大小為A的聲波頻率計(jì)算得到聲波傳播速度為X，確定該聲波傳播速度X所對應(yīng)的材質(zhì)為光刻膠；根據(jù)收到的大小為B的聲波頻率計(jì)算得到聲波傳播速度為y，確定該聲波傳播速度y所對應(yīng)的材質(zhì)為玻璃基板；根據(jù)收到的大小為C的聲波頻率計(jì)算得到聲波傳播速度為z，確定該聲波傳播速度z所對應(yīng)的材質(zhì)為塑料。根據(jù)聲波頻率計(jì)算得到的聲波傳播速度所對應(yīng)的材質(zhì)為光刻膠時(shí)，控制器5可發(fā)出告警，還可以控制機(jī)械手I對玻璃基板2進(jìn)行操控，如停止運(yùn)行、取下玻璃基板2等。根據(jù)以上描述可知，控制器5中也可以預(yù)本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種基板上殘留物的檢測裝置，其特征在于，該裝置包括檢測信號(hào)發(fā)射源、檢測信號(hào)接收器和控制器；其中，所述檢測信號(hào)發(fā)射源，用于向基板發(fā)射波信號(hào)；所述檢測信號(hào)接收器，用于接收基板所反饋的波信號(hào)，并將收到的波信號(hào)中用于檢測殘留物的有用信息發(fā)送給控制器；所述控制器中預(yù)先設(shè)置有用于檢測殘留物的有用信息與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，所述控制器用于根據(jù)該對應(yīng)關(guān)系確定收到的用于檢測殘留物的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)是否為殘留物。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種基板上殘留物的檢測裝置，其特征在于，該裝置包括檢測信號(hào)發(fā)射源、檢測信號(hào)接收器和控制器；其中，所述檢測信號(hào)發(fā)射源，用于向基板發(fā)射波信號(hào)；所述檢測信號(hào)接收器，用于接收基板所反饋的波信號(hào)，并將收到的波信號(hào)中用于檢測殘留物的有用信息發(fā)送給控制器；所述控制器中預(yù)先設(shè)置有用于檢測殘留物的有用信息與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系，所述控制器用于根據(jù)該對應(yīng)關(guān)系確定收到的用于檢測殘留物的有用信息所對應(yīng)的物質(zhì)的材質(zhì)是否為殘留物。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于，所述檢測信號(hào)發(fā)射源為光源，用于發(fā)射光；所述檢測信號(hào)接收器為光電傳感器，用于接收所述光源被基板反射后所發(fā)出的光信號(hào)，并將收到的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，再將該電信號(hào)發(fā)送給所述控制器。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述控制器中預(yù)先設(shè)置的所述對應(yīng)關(guān)系為電信號(hào)的大小與物質(zhì)的材質(zhì)之間的對應(yīng)關(guān)系。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的裝置，其特征在于，所述光源、光電傳感器以及控制器中的任何一個(gè)或多個(gè)，設(shè)置于操控基板的機(jī)械手上。5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于，所述檢測信號(hào)發(fā)射源為聲波源，用于發(fā)射聲波；所述檢測...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：閻長江，姜曉輝，
申請(專利權(quán))人：北京京東方光電科技有限公司，
類型：實(shí)用新型
國別省市：