檢測裝置、基板架、檢測基板架上基板位置的方法制造方法及圖紙

本發明專利技術提供一種檢測裝置、基板架、檢測基板架上基板位置的方法，屬于基板存儲技術領域，其可解決現有的檢測基板架上基板位置的方法效率低、誤差大、錯誤率高、不及時的問題。本發明專利技術的檢測裝置，用于檢測基板架上承載的基板的位置，所述基板架包括多個承載位，每個承載位用于承載一個基板，且所述檢測裝置包括：連接信號源的發射極，其用于設在承載位的邊緣處，并位于所述承載位所承載的基板的上下兩側中的一側；至少一個連接檢測器的接收極，其與所述發射極相對設置，并位于所述承載位所承載的基板的上下兩側中另的一側。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術屬于基板存儲
，具體涉及一種。
技術介紹
顯示裝置(如液晶顯示裝置、有機發光二極管顯示裝置)的陣列基板、彩膜基板等的制備過程包括多道不同工序，在各工序之間，為存儲、搬運基板，需要將基板(可裝在卡匣中)放在基板架上。基板架結構如圖1所示，是多層的架子，每層有一個承載位，用于承載一個基板，而基板可通過機械手進行取放。由于機械手運行誤差的累積，故其將基板放在基板架上時會存在位置偏差，且該位置偏差會隨時間的延長而增大。當基板的位置偏差大到一定程度時，可能使基板在工藝設備基臺上的位置偏差過大，從而導致對位困難或無法完成對位，或者，也可能使基板在搬運過程中碰到其他結構，從而造成基板損壞。現有基板架無法檢測到其上基板的位置，為避免出現以上基板位置偏差過大的情況，現有方法是每隔一段時間(如一個季度)人工抽樣測量(如測量3個基板架)各基板架上基板的位置，并根據檢測結果調整機械手等。顯然，這種人工抽樣的方法存在效率低、誤差大、錯誤率高、不及時等問題。
技術實現思路
本專利技術針對現有的檢測基板架上基板位置的方法效率低、誤差大、錯誤率高、不及時的問題，提供一種可隨時準確獲得基板架上基板位置的。解決本專利技術技術問題所采用的技術方案是一種檢測裝置，用于檢測基板架上承載的基板的位置，所述基板架包括多個承載位，每個承載位用于承載一個基板，且所述檢測裝置包括:連接信號源的發射極，其用于設在承載位的邊緣處，并位于所述承載位所承載的基板的上下兩側中的一側；至少一個連接檢測器的接收極，其與所述發射極相對設置，并位于所述承載位所承載的基板的上下兩側中另的一側。優選的是，所述信號源為高頻信號源；所述檢測器為電流檢測器。進一步優選的是，所述高頻信號源產生的信號頻率在600KHZ至800KHZ。優選的是，所述接收極有多個，各所述接收極分別連接不同的檢測器。進一步優選的是，所述多個接收極沿與檢測裝置所在的承載位邊緣垂直的方向排列。解決本專利技術技術問題所采用的技術方案是一種基板架，其包括:多個承載位，每個承載位用于承載一個基板；上述的檢測裝置。優選的是，每個所述承載位設有一個檢測裝置，所述檢測裝置設于承載位的第一邊緣處。優選的是，每個所述承載位設有兩個檢測裝置:其中，一個所述檢測裝置設于承載位的第一邊緣處；另一個所述檢測裝置設于承載位的第二邊緣處，所述第一邊緣與第二邊緣相互垂直。解決本專利技術技術問題所采用的技術方案是一種檢測上述基板架上基板位置的方法，其包括:所述檢測裝置的發射極發射信號，所述接收極接收信號并產生感應信號；通過分析所述感應信號確定基板位置。優選的是，對于上述每個承載位只有一個檢測裝置的基板架，其中，所述承載位所承載的基板在靠近承載位第一邊緣處設有至少兩個沿與第一邊緣平行的方向排列的輔助介電層，各輔助介電層的介電常數除以厚度的商值均不同；所述檢測裝置設于基板帶有輔助介電層的位置，且在與所述第一邊緣平行的方向上，所述接收極的尺寸大于或等于每個輔助介電層的尺寸，但小于等于全部輔助介電層的總尺寸。本專利技術的檢測裝置包括在基板邊緣兩側相對設置的發射極和接收極，當基板處在兩極之間的不同位置時，會對兩極間信號的傳送造成不同影響，因此，通過分析接收極的感應信號，即可確認基板相對于兩極的位置，也就是確定基板在基板架上的位置；顯然，這樣的檢測是通過設備自動進行的，從而其效率高、誤差小、錯誤率低、可隨時檢測。【附圖說明】圖1為現有的基板架的側視結構不意圖；圖2為本專利技術的實施例的一種基板架的側視結構示意圖；圖3為本專利技術的實施例的一種檢測裝置進行檢測的側視結構示意圖；圖4為本專利技術的實施例的另一種檢測裝置進行檢測的側視結構示意圖；圖5為本專利技術的實施例的一種檢測裝置中接收極與基板的俯視位置關系示意圖；圖6為本專利技術的實施例的另一種檢測裝置中接收極與基板的俯視位置關系示意圖；圖7為圖6的檢測裝置進行檢測的結果圖；其中，附圖標記為:1、基板架；11、承載位；2、檢測裝置；21、發射極；211、信號源；22、接收極；221、檢測器；9、基板；91、輔助介電層。【具體實施方式】為使本領域技術人員更好地理解本專利技術的技術方案，下面結合附圖和【具體實施方式】對本專利技術作進一步詳細描述。實施例1:如圖2至圖7所示，本實施例提供一種檢測裝置2，其用于檢測基板架I上承載的基板9的位置；該基板架I包括多個承載位11，每個承載位11用于承載一個基板9。而檢測裝置2具體包括:連接信號源211的發射極21，其用于設在承載位11的邊緣處，并位于承載位11所承載的基板9的上下兩側中的一側；至少一個連接檢測器221的接收極22，其與發射極21相對設置，并位于承載位11所承載的基板9的上下兩側中另的一側。也就是說，如圖2至圖4所示，檢測裝置2包括相對設置的發射極21和接收極22，且其設在基板架I的承載位11的邊緣處(也就是基板9的邊緣處)，并分別位于基板9上下兩側(即將基板9夾在中間)。在圖2中，以發射極21設在一個承載位11上側，而接收極22設于上一個承載位11的下側為例進行說明，但其并非對本專利技術的限定。例如，發射極21和接收極22的位置也可互換；再如，也可設置專門的結構用于承載發射極21和接收極22等；但只要這發射極21和接收極22位于承載位11邊緣，并在基板9上下兩側相對設置就是可行的。顯然，以上兩個相對的電極構成一個電容，故當發射極21帶信號(來自信號源)時，接收極22中會產生感應信號，且該感應信號與電容的電容值相關。由于平板電容的電容值C正比于ε S/d，且在此情況下電極正對面積S和間距離d均不變，故其電容值僅由介電常數ε決定。而基板9(包括其中的膜層等結構)的介電常數當然與空氣的介電常數不同，故當基板9處在兩極之間的不同位置時，相當于在電容兩極間加入了不同的電介質(介電材料)，從而使介電常數不同，也就是使電容值不同，最終導致感應信號不同。因此，通過分析該感應信號，即可確定基板9在兩極間的位置，也就是確定基板9在基板架I上的位置。由于以上的檢測是通過設備自動進行的，從而其效率高、誤差小、錯誤率低、可隨時檢測。優選的，信號源211為高頻信號源；檢測器221為電流檢測器。也就是說，發射極21優選連接高頻信號源(優選頻率在600Κ至800ΚΗζ)，而接收極22連接為電流檢測器。這是因為電容對于高頻信號是導通的，相對于恒壓信號(感應信號為定電壓)，此時的感應信號是交流電，這樣的感應信號便于準確的檢測。優選的，接收極22有多個，各接收極22分別連接不同的檢測器221。如圖3所示，當接收極22為一個時，基板9的移動相當對改變了該電容的部分位置的介電常數，可引起感應信號的變化，是可行的。但是，當基板9移動范圍很小時，僅僅相當于基板9在電極間的面積稍微變化，由此其產生的感應信號的變化很小，檢測結果不夠靈敏。而如圖4所示，當接收極22分為多個時，即相當于構成了多個相互獨立的電容，每個電容均可產生獨立的感應結果。當基板9移動范圍很小時，對于靠近基板9邊緣的電容，其就相當于由中間沒有基板9變為中間充滿基板9(或反之)，故其感應信號的變化很大；換言之，若兩相鄰接收極22間的感應信號出現很大差距(認為各接收極22結構相同)，則表示基板9的邊緣就在這兩個接收極22之間，從而其可更準確的確定基板9位本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種檢測裝置，用于檢測基板架上承載的基板的位置，所述基板架包括多個承載位，每個承載位用于承載一個基板，其特征在于，所述檢測裝置包括：連接信號源的發射極，其用于設在承載位的邊緣處，并位于所述承載位所承載的基板的上下兩側中的一側；至少一個連接檢測器的接收極，其與所述發射極相對設置，并位于所述承載位所承載的基板的上下兩側中另的一側。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：李國棟，魏振，郭世波，孫緯偉，蔣晨晨，趙瓊，
申請(專利權)人：京東方科技集團股份有限公司，合肥京東方光電科技有限公司，
類型：發明
國別省市：北京;11