線(xiàn)鋸裝置制造方法及圖紙

本實(shí)用新型專(zhuān)利技術(shù)提供了線(xiàn)鋸裝置。線(xiàn)鋸裝置用于對(duì)工件進(jìn)行鋸切，并且線(xiàn)鋸裝置的特征在于包括：用于支撐殼體的主框架，其中，殼體包括彼此分離的第一和第二殼體部分；第一線(xiàn)引導(dǎo)組件，其具有至少兩個(gè)第一線(xiàn)引導(dǎo)筒，用于引導(dǎo)第一線(xiàn)以形成具有至少一個(gè)第一工作區(qū)域的至少一個(gè)第一線(xiàn)網(wǎng)，第一線(xiàn)引導(dǎo)組件被設(shè)置在第一殼體部分中；第二線(xiàn)引導(dǎo)組件，其具有至少兩個(gè)第二線(xiàn)引導(dǎo)筒，用于引導(dǎo)第二線(xiàn)以形成具有至少一個(gè)第二工作區(qū)域的至少一個(gè)第二線(xiàn)網(wǎng)，第二線(xiàn)引導(dǎo)組件被設(shè)置在第二殼體部分中，第一和第二殼體部分適于維持第一和第二線(xiàn)導(dǎo)引組件彼此獨(dú)立；用于引導(dǎo)第一線(xiàn)的第一線(xiàn)管理單元；以及用于引導(dǎo)第二線(xiàn)的第二線(xiàn)管理單元。（*該技術(shù)在2021年保護(hù)過(guò)期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)的實(shí)施例涉及線(xiàn)鋸裝置以及用于操作線(xiàn)鋸裝置的方法。更具體地，它們涉及具有改善的高等級(jí)特性并且用于對(duì)硬材料(諸如硅或石英的塊)進(jìn)行切割或鋸切的線(xiàn)鋸裝置，例如，用于切割硅晶片，用于平方體(Squarer)、用于裁剪器等。
技術(shù)介紹
存在一種線(xiàn)鋸裝置，其用于從一件硬的或脆的材料(諸如硅)切割出方塊或磚塊、薄的切片(例如半導(dǎo)體晶片)。在這種裝置中，繃緊的線(xiàn)被從線(xiàn)軸饋送出來(lái)并且由用于在切割區(qū)域中對(duì)線(xiàn)進(jìn)行引導(dǎo)的滑輪引導(dǎo)和張緊。用于進(jìn)行鋸切的線(xiàn)主要設(shè)置有研磨劑材料。作為一種選擇，可以作為漿料提供研磨劑材料。這可以在線(xiàn)與被切割的材料接觸之前的短期內(nèi)實(shí)現(xiàn)。因此，通過(guò)用于對(duì)材料進(jìn)行切割的線(xiàn)來(lái)將研磨劑承載到切割位置。作為另一種選·擇，研磨劑可以被設(shè)置在具有涂層的線(xiàn)上。例如，金剛石顆?？梢员辉O(shè)置在例如具有涂層的金屬線(xiàn)上，其中，金剛石顆粒被鑲嵌在線(xiàn)的涂層中。由此，將研磨劑牢固地與線(xiàn)連接。一般而言，線(xiàn)鋸裝置的產(chǎn)量已經(jīng)處于極為先進(jìn)的水平。然而，特別是考慮到期望在對(duì)于光電(PV)應(yīng)用具有高生產(chǎn)率下的高產(chǎn)量時(shí)，期望進(jìn)一步進(jìn)行改善。由此，已經(jīng)考慮了用于鋸切PV晶片等的線(xiàn)被張緊并且以非常高的速度移動(dòng)。線(xiàn)在提供了線(xiàn)管理和/或線(xiàn)張緊的一個(gè)或多個(gè)滾輪上從線(xiàn)軸饋送出來(lái)或者被饋送到線(xiàn)軸。滾輪例如可以使線(xiàn)改變方向。例如在滾輪的慣性可能妨礙立即停止?jié)L輪的緊急停止期間，滾輪的存在可以導(dǎo)致更高的線(xiàn)斷裂的可能性。線(xiàn)斷裂可能導(dǎo)致裝載物(即，在線(xiàn)鋸裝置中一時(shí)處理的工件)的完全損失。對(duì)于千兆瓦廠房的切晶片PV能力要求以及減小PV模塊的$/Watt值的持續(xù)期望要求更大的制造能力。在過(guò)去的廠房中已經(jīng)通過(guò)提供多個(gè)用于對(duì)PV晶片進(jìn)行切晶片的線(xiàn)鋸裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)了制造大量晶片。然而，維護(hù)以及線(xiàn)斷裂仍然限制了生產(chǎn)率和產(chǎn)能，并且仍有待改善。多線(xiàn)漿料鋸現(xiàn)在是用于PV應(yīng)用的晶片制造的標(biāo)準(zhǔn)的并且最多產(chǎn)的工具。通常期望獨(dú)立的工具。工具具有五個(gè)功能組切片頭、漿料管理、線(xiàn)管理、冷卻組以及電箱/控制單元。需要改變?cè)摼酆象w來(lái)對(duì)于制造PV晶片實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率下的高產(chǎn)量。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
考慮到以上內(nèi)容，提供了根據(jù)獨(dú)立權(quán)利要求I的用于對(duì)工件進(jìn)行鋸切的線(xiàn)鋸裝置。通過(guò)權(quán)利要求、說(shuō)明書(shū)和附圖，本技術(shù)的其他方面、優(yōu)點(diǎn)和特征將會(huì)變得清楚。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，提供了一種用于對(duì)工件進(jìn)行鋸切的線(xiàn)鋸裝置。該線(xiàn)鋸裝置包括用于支撐殼體的主框架,其中，所述殼體包括第一殼體部分和與所述第一殼體部分分離的第二殼體部分；以及第一線(xiàn)引導(dǎo)組件，其具有至少兩個(gè)第一線(xiàn)引導(dǎo)筒，所述至少兩個(gè)第一線(xiàn)引導(dǎo)筒用于引導(dǎo)第一線(xiàn)，以形成具有至少一個(gè)第一工作區(qū)域的至少一個(gè)第一線(xiàn)網(wǎng)，其中，所述第一線(xiàn)引導(dǎo)組件被容納在所述第一殼體部分中；第二線(xiàn)引導(dǎo)組件，其具有至少兩個(gè)第二線(xiàn)引導(dǎo)筒，所述至少兩個(gè)第二線(xiàn)引導(dǎo)筒用于引導(dǎo)第二線(xiàn)，以形成具有至少一個(gè)第二工作區(qū)域的至少一個(gè)第二線(xiàn)網(wǎng)，其中，所述第二線(xiàn)引導(dǎo)組件被容納在所述第二殼體部分中；用于引導(dǎo)所述第一線(xiàn)的第一線(xiàn)管理單元；以及用于引導(dǎo)所述第二線(xiàn)的第二線(xiàn)管理單元。其中，該線(xiàn)鋸裝置還包括第一漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)，其用于將漿料或冷卻流體分配到第一線(xiàn)引導(dǎo)組件；以及第二漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)，其用于將漿料或冷卻流體分配到第二線(xiàn)引導(dǎo)組件。該線(xiàn)鋸裝置還包括第一漿料或冷卻流體罐，其用于將漿料或冷卻流體提供給第一漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)；以及第二漿料或冷卻流體罐，其用于將漿料或冷卻流體提供給第二漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)。第一線(xiàn)引導(dǎo)組件被設(shè)置在主框架的第一偵牝并且第二線(xiàn)引導(dǎo)組件被設(shè)置在主框架的第二側(cè)。第一側(cè)和第二側(cè)是相對(duì)側(cè)。第一線(xiàn)引導(dǎo)組件設(shè)置在第二線(xiàn)引導(dǎo)組件上方。第一線(xiàn)引導(dǎo)組件被設(shè)置為相對(duì)于第二線(xiàn)引導(dǎo)組件水平偏移。至少兩個(gè)第一線(xiàn)引導(dǎo)筒(122)的直徑和至少兩個(gè)第二線(xiàn)引導(dǎo)筒(122)的直徑是250_以上，典型地是在300mm到700mm之間，并且更典型地在500mm到700mm之間。第一線(xiàn)引導(dǎo)組件包括至少兩個(gè)第一工作區(qū)域，并且其中，第二線(xiàn)引導(dǎo)組件包括至少兩個(gè)第二工作區(qū)域。該線(xiàn)鋸裝置還包括控制器，其中控制器控制第一線(xiàn)引導(dǎo)組件和第二線(xiàn)引導(dǎo)組件。該線(xiàn)鋸裝置還包括具有一個(gè)用戶(hù)接口的控制器，其中控制器控制第一線(xiàn)引導(dǎo)組件和第二線(xiàn)引導(dǎo)組 件。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，提供了一種用于對(duì)工件進(jìn)行鋸切的線(xiàn)鋸裝置。該線(xiàn)鋸裝置包括用于支撐殼體的主框架,其中，所述殼體包括第一殼體部分和與所述第一殼體部分分離的第二殼體部分；以及第一線(xiàn)引導(dǎo)組件，其具有至少兩個(gè)第一線(xiàn)引導(dǎo)筒，所述至少兩個(gè)第一線(xiàn)引導(dǎo)筒用于引導(dǎo)第一線(xiàn)，以形成具有至少一個(gè)第一工作區(qū)域的至少一個(gè)第一線(xiàn)網(wǎng)，其中，所述第一線(xiàn)引導(dǎo)組件被設(shè)置在所述第一殼體部分中；第二線(xiàn)引導(dǎo)組件，其具有至少兩個(gè)第二線(xiàn)引導(dǎo)筒，所述至少兩個(gè)第二線(xiàn)引導(dǎo)筒用于引導(dǎo)第二線(xiàn)，以形成具有至少一個(gè)第二工作區(qū)域的至少一個(gè)第二線(xiàn)網(wǎng)，其中，所述第二線(xiàn)引導(dǎo)組件被設(shè)置在所述第二殼體部分中其中，第一殼體部分和第二殼體部分適合于維持第一和第二線(xiàn)弓I導(dǎo)組件彼此獨(dú)立；用于引導(dǎo)第一線(xiàn)的第一線(xiàn)管理單元；以及用于引導(dǎo)第二線(xiàn)的第二線(xiàn)管理單元。實(shí)施例還涉及用于執(zhí)行所公開(kāi)的方法的設(shè)備，并包括用于執(zhí)行上述方法步驟的設(shè)備部件。這些方法步驟可以由硬件組件、通過(guò)適當(dāng)軟件編程的計(jì)算機(jī)以及通過(guò)這兩種或者任何其他方式的任意組合來(lái)實(shí)現(xiàn)。附圖說(shuō)明因此，為了能夠詳細(xì)地理解本技術(shù)的上述特征，可以參照實(shí)施例獲得上文中總結(jié)的本技術(shù)的更具體的描述。附圖涉及本技術(shù)的實(shí)施例并且在下文中描述。圖I示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線(xiàn)鋸裝置，并且其包括在兩個(gè)獨(dú)立的室部分(即，殼體部分)中的兩個(gè)獨(dú)立的切割區(qū)域；圖2示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的另一個(gè)線(xiàn)鋸裝置，并且其包括在兩個(gè)獨(dú)立的室部分(即，殼體部分)中的兩個(gè)獨(dú)立的切割區(qū)域；圖3示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例布置的線(xiàn)引導(dǎo)組件，并且其包括彼此分離的兩個(gè)獨(dú)立的切割區(qū)域；圖4示出了以另一種方式布置并且根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線(xiàn)引導(dǎo)組件，并且其包括彼此分離的兩個(gè)獨(dú)立的切割區(qū)域；圖5示出了以另一種方式布置并且根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線(xiàn)引導(dǎo)組件，并且其包括彼此部分地分離的多個(gè)工作區(qū)域；圖6示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例布置的線(xiàn)引導(dǎo)組件，并且其包括彼此分離的兩個(gè)獨(dú)立的切割區(qū)域，其中，沿著兩個(gè)方向設(shè)置了線(xiàn)引導(dǎo)組件之間的偏移；圖7示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的另一個(gè)線(xiàn)鋸裝置，并且其包括在兩個(gè)獨(dú)立的室部分(即，殼體部分)中的兩個(gè)獨(dú)立的切割區(qū)域；并且圖8的流程圖示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的對(duì)線(xiàn)鋸裝置進(jìn)行操作的方法。具體實(shí)施方式現(xiàn)在將會(huì)詳細(xì)參照本技術(shù)的具體實(shí)施例，這些實(shí)施例中的一個(gè)或多個(gè)示例在附圖中示出。在附圖的以下描述中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的組件。一般而言，僅描述對(duì) 于各個(gè)實(shí)施例的差異。每個(gè)示例是通過(guò)本技術(shù)的解釋說(shuō)明的方式提供的，并且不意味著是本技術(shù)的限制。此外，作為一個(gè)實(shí)施例的一部分示出或描述的特征可以被用在其他實(shí)施例上或結(jié)合其他實(shí)施例使用，以產(chǎn)生另一個(gè)實(shí)施例。本說(shuō)明書(shū)意圖包括這些修改和變化。圖I示出了線(xiàn)鋸裝置100。線(xiàn)鋸裝置100包括主框架102。例如，主框架102支撐線(xiàn)鋸裝置100的殼體和/或組件。通常，主框架102是剛性框架并且包括其上放置線(xiàn)鋸裝置的基底。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的不同的實(shí)施例，這里的線(xiàn)鋸裝置可以被用來(lái)利用漿料來(lái)切割硬材料，例如，硅或其他半導(dǎo)體材料，或者用來(lái)本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種線(xiàn)鋸裝置，其用于對(duì)工件進(jìn)行鋸切，并且所述線(xiàn)鋸裝置的特征在于包括：用于支撐殼體的主框架，其中，所述殼體包括第一殼體部分和與所述第一殼體部分分離的第二殼體部分；以及第一線(xiàn)引導(dǎo)組件(120)，其具有至少兩個(gè)第一線(xiàn)引導(dǎo)筒(122)，所述至少兩個(gè)第一線(xiàn)引導(dǎo)筒(122)用于引導(dǎo)第一線(xiàn)(20)，以形成具有至少一個(gè)第一工作區(qū)域(22)的至少一個(gè)第一線(xiàn)網(wǎng)，其中，所述第一線(xiàn)引導(dǎo)組件被容納在所述第一殼體部分中；第二線(xiàn)引導(dǎo)組件(120)，其具有至少兩個(gè)第二線(xiàn)引導(dǎo)筒(122)，所述至少兩個(gè)第二線(xiàn)引導(dǎo)筒(122)用于引導(dǎo)第二線(xiàn)(20)，以形成具有至少一個(gè)第二工作區(qū)域(22)的至少一個(gè)第二線(xiàn)網(wǎng)，其中，所述第二線(xiàn)引導(dǎo)組件被容納在所述第二殼體部分中；用于引導(dǎo)所述第一線(xiàn)的第一線(xiàn)管理單元；以及用于引導(dǎo)所述第二線(xiàn)的第二線(xiàn)管理單元。

【技術(shù)特征摘要】
2011.10.27 EP 11186936.81.一種線(xiàn)鋸裝置，其用于對(duì)工件進(jìn)行鋸切，并且所述線(xiàn)鋸裝置的特征在于包括 用于支撐殼體的主框架,其中，所述殼體包括第一殼體部分和與所述第一殼體部分分離的第二殼體部分；以及 第一線(xiàn)引導(dǎo)組件(120)，其具有至少兩個(gè)第一線(xiàn)引導(dǎo)筒(122)，所述至少兩個(gè)第一線(xiàn)引導(dǎo)筒(122)用于引導(dǎo)第一線(xiàn)(20)，以形成具有至少一個(gè)第一工作區(qū)域(22)的至少一個(gè)第一線(xiàn)網(wǎng)，其中，所述第一線(xiàn)弓I導(dǎo)組件被容納在所述第一殼體部分中； 第二線(xiàn)引導(dǎo)組件(120)，其具有至少兩個(gè)第二線(xiàn)引導(dǎo)筒(122)，所述至少兩個(gè)第二線(xiàn)引導(dǎo)筒(122)用于引導(dǎo)第二線(xiàn)(20)，以形成具有至少一個(gè)第二工作區(qū)域(22)的至少一個(gè)第二線(xiàn)網(wǎng)，其中，所述第二線(xiàn)弓I導(dǎo)組件被容納在所述第二殼體部分中； 用于引導(dǎo)所述第一線(xiàn)的第一線(xiàn)管理單元；以及 用于引導(dǎo)所述第二線(xiàn)的第二線(xiàn)管理單元。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的線(xiàn)鋸裝置，還包括 第一漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)，其用于將漿料或冷卻流體分配到所述第一線(xiàn)引導(dǎo)組件；以及 第二漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)，其用于將漿料或冷卻流體分配到所述第二線(xiàn)引導(dǎo)組件。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線(xiàn)鋸裝置，還包括 第一漿料或冷卻流體罐，其用于將漿料或冷卻流體提供給所述第一漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)；以及 第二漿料或冷卻流體罐，其用于將漿料或冷卻流體提供給所述第二漿料或冷卻流體分配系統(tǒng)。4.根據(jù)權(quán)利要求I所述...

【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：弗蘭克·基諾賽奧，安德烈亞斯·施密特，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：應(yīng)用材料瑞士股份有限公司，
類(lèi)型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：