在無對準的情況下快速對鋸方器的線引導器進行替換制造技術

本發明專利技術涉及在無對準的情況下快速對鋸方器的線引導器進行替換。描述了一種用于旋轉線引導件(336)的輪單元(356；456；656；756)以及用于線鋸裝置(100)的線引導件。輪單元包括：徑向外表面(357；457)，其用于將線引導結構(360；460；560；660；760)接收到預定位置；以及限制裝置(370；470；670)，其用于在工作期間限制所述線引導結構(360；460；560；660；760)的一部分的使用。此外，描述了一種經由為線鋸裝置(100)構造的線引導件(336)來引導線的方法。該方法包括：將具有線引導結構(360；460；560；660；760)的輪胎放置在所述線引導件(336)的輪單元(356；456；656；756)上；以及在所述線引導件(336)的工作期間阻擋所述線引導結構(360；460；560；660；760)的一部分。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術的實施例涉及用在線鋸裝置中的滑輪、線鋸裝置和用于在線鋸裝置中引導線的方法。更具體地，它們涉及構造為用于線鋸裝置的滑輪，以及用于鋸方器(squarer)或者用于裁剪器等的對硬材料(諸如硅或石英的塊)進行切割或鋸切的線鋸裝置，例如用于切割娃晶片。
技術介紹
存在一種線鋸裝置，其用于從一件硬的或脆弱的材料(諸如硅)切割出方塊或磚塊、薄的切片(例如半導體晶片)。在這種裝置中，繃緊的線被從線軸饋送并且由用于在切割區域中引導線的滑輪引導和張緊。用于進行鋸切的線主要設置有研磨材料。作為一種選項，可以作為漿料提供研磨材料。該研磨材料可以在線即將與被切割的材料接觸前應用。因此，通過用于切割材料的線對切割位置執行研磨。作為另一種選項，可以在具有涂層的線上提供研磨劑。例如，鉆石顆粒可以被設置在例如具有涂層的金屬線上，其中，鉆石顆粒被鑲嵌在線的涂層中。由此，將研磨劑牢固地連接到線。線鋸裝置被用在多個工業領域，諸如半導體企業或太陽能企業。由此，越來越關注所制造的商品的生產率和成本。對于線鋸裝置來說，硬材料(諸如硅)的切割需要在非常高的精確度(即，在數十微米或數個微米內)以及非常高的速度下完成。由此，線在非常高的速度下傳輸通過線鋸裝置并且用于對材料進行切割的可移動部分以微米精確度移動。如果線鋸裝置中的組件的磨損太大，那么不能夠提供非常高的精確度。因為這些組件需要被替換或翻新以提供期望的生產率和位置，所以它們需要在線鋸裝置工作的制造場所被規律地替換。因為各個組件需要有存貨以進行立即替換否則線鋸裝置例如在組件翻新的過程中不能工作，所以可能顯著地增加擁有成本(COO)。因此，期望減少線鋸裝置的擁有成本并且提供更容易的維護，同時仍然提供期望的精確度和生產率。
技術實現思路
考慮到以上內容，提供了根據獨立權利要求1的輪單元、根據獨立權利要求7的線引導件以及根據權利要求15的方法。通過權利要求、說明書和附圖，本專利技術的其他方面、優點和特征將會變得清楚。根據一個實施例，提供了用于具有旋轉軸的旋轉線引導件的輪單元，該線引導件被構造為用于具有線的線鋸裝置。輪單元包括用于將線引導結構接收到預定位置的徑向外表面，以及用于在工作期間限制線引導結構的一部分的使用的限制裝置。根據另一個實施例，提供了一種構造為用于具有線的線鋸裝置的線引導件。線引導件包括輪單元。輪單元用于將線引導結構接收到預定位置的徑向外表面，以及用于在工作期間限制線引導結構的一部分的使用的限制裝置。線引導件包括輪胎。輪胎包括輪胎部分，具有適合于在輪單元的徑向外表面處被接收的徑向內表面，以及在輪胎部分的徑向外表面處設置的用于引導線的線引導結構。根據另一個實施例，提供了一種經由為線鋸裝置構造的線引導件來引導線的方法。該方法包括將具有線引導結構的輪胎放置在線引導件的輪單元上，以及在線引導件的工作期間阻擋線弓I導結構的一部分。實施例也涉及用于執行所公開的方法的設備以及包括用于執行上述方法步驟的設備部件。這些方法步驟可以由硬件組件、通過適當軟件編程的計算機以及通過兩種或者任何其他方式的任意組合來實現。此外，根據本專利技術的實施例也涉及所描述的設備工作的方法。其包括用于執行設備的每個功能的方法步驟。附圖說明因此，為了能夠詳細地理解本專利技術的上述特征的方式，可以通過參照實施例獲得上文中總結的本專利技術的更具體的描述。附圖涉及本專利技術的實施例并且在下文中描述。圖1示出了根據這里描述的實施例的線鋸裝置的示意圖；圖2a和圖2b示出了通常用在線鋸裝置中的線引導件以及線鋸的局部的放大圖；圖3a和圖3b示出了根據這里描述的實施例的、具有輪單元和輪胎的線引導件的示意圖；圖4示出的示意圖表示根據這里描述的實施例的線引導件的另一個實施例；圖5是用于引導根據這里描述的實施例的線引導件的輪胎的示意圖；圖6是根據這里描述的實施例的、在工作期間的線引導件的示意圖；圖7a和圖7b是根據這里描述的實施例的、具有輪單元和輪胎的線引導件的示意圖和俯視圖；以及圖8是根據這里描述的實施例的用于對線進行引導的方法的流程圖。具體實施例方式現在將會參照本專利技術的具體實施例，這些實施例中的一個或多個示例在附圖中示出。在附圖的以下描述中，相同的附圖標記涉及相同的組件。一般，僅描述對于各個實施例的差異。每個示例通過本專利技術的解釋說明的方式提供的，并且不意味著是本專利技術的限制。此夕卜，作為一個實施例的一部分示出或描述的特征可以被用在其他實施例上或結合其他實施例使用，以產生另一個實施例。本說明書意圖包括這些修改和變化。此外，在以下的描述中，線管理單元將會被理解為操作為向線鋸裝置(諸如裁剪器、鋸方器或晶片切割線鋸)的切割區域或工作區域供應線的裝置。通常，線鋸包括用于沿著線移動方向傳輸并引導線的線引導件，而線管理單元提供線張力的控制。此外，由線管理單元提供的線在切割區域中形成線網。通常，線網將會被認為是由單個線管理單元形成的網。應當理解，線網可以含有一個以上的工作區域，該工作區域被限定為其中執行鋸切處理的區域。因此，根據這里描述的一些實施例，線網可以具有由來自不同線管理單元的線形成的多個區域。圖1示出了線鋸裝置100。如可以從在線網艙110中形成線網的線10的圖案看到的，圖1中示出的示例表示了鋸方器。線鋸裝置的殼體被劃分為由虛線表示的不同區域。線網形成在線網艙110中。此外，提供了容納線網裝置100的其他組件和設備的殼體部分111。例如，提供線操作裝置艙112和電箱114。此外，在殼體部分111內，也可以提供罐120和124以及相應的泵121和125。根據可以與這里描述的其他實施例結合的一些實施例，例如在線鋸裝置利用鉆石線工作時，第一罐120被用于未使用的冷卻液，或者例如在線鋸裝置100利用需要附加研磨劑的線工作時，可以用于未使用的(新鮮的)漿料。泵121將冷卻液(或者分別將漿料)朝向切割區域中的期望位置抽吸。其在圖1中由管道122所表示。已使用的冷卻液(或漿料)可以通過管道126流動回來并且由泵125抽吸到第二罐124中。在使用冷卻液或漿料的情況下，如果能夠被重新放入罐120中，已使用的可消耗的流體的一部分能夠被重新使用。因此，根據不同的實施例，可消耗流體的一部分、可消耗流體的全部或者可消耗流體中沒有任何部分能夠被重新使用，并且因此重新放入罐120中。作為一個示例，可以在管道126中設置額外的閥，以選擇性地選擇使用的流體被泵入的罐。根據另一個示例，可以提供罐124與120之間的流體連接，以將已使用的流體的一部分重新放入罐120中。根據不同的實施例，如上所述，可消耗的流體可以是冷卻流體或漿料。通常，如果使用漿料，那么漿料也具有冷卻線對材料進行切割的位置的功能。在線操縱艙112中，分別提供了兩個操縱部分，其分別用于將線10遞送到切割區域并且從切割區域接收線。根據可以與這里描述的其他實施例結合的一些實施例，線布置在繞著線軸軸線132a旋轉的線軸132上。線被在多個滾輪134上引導到線網艙110中。其他的滑輪134和136將線引導到切割區域中以形成線網。由此，其他的滑輪(未示出)需要將線10從一個滑輪136引導到其他滑輪136。為了避免不必要的復雜性，這些其他滑輪在圖1中未示出。在切割之后，線由其他滑輪134朝向線操作艙112引導并且被布置在繞線軸軸線130a旋轉的線本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于具有旋轉軸的旋轉線引導件(336)的輪單元(356；456；656；756)，所述線引導件被構造為用于具有線的線鋸裝置(100)，所述輪單元包括：徑向外表面(357；457)，其用于將線引導結構(360；460；560；660；760)接收到預定位置；以及限制裝置(370；470；670)，其用于在工作期間限制所述線引導結構(360；460；560；660；760)的一部分的使用。

【技術特征摘要】
2011.10.28 EP 11187105.91.一種用于具有旋轉軸的旋轉線引導件(336)的輪單元(356 ；456 ；656 ;756)，所述線引導件被構造為用于具有線的線鋸裝置(100)，所述輪單元包括: 徑向外表面(357 ;457)，其用于將線引導結構(360 ；460 ；560 ；660 ；760)接收到預定位置；以及 限制裝置(370 ；470 ;670)，其用于在工作期間限制所述線引導結構(360 ；460 ；560 ；660 ；760)的一部分的使用。2.根據權利要求1所述的輪單元，其中，所述輪單元(356；456 ；656 ；756)適合于容納用于將所述線引導結構(360 ；460 ；560 ；660 ；760)可拆卸地連接到所述輪單元的固定元件(720 ；721)。3.根據權利要求1所述的輪單元，其中，所述輪單元(356；456 ；656 ；756)的外表面(357 ；457)是基本上平坦的。4.根據權利要求1到3中任意一項所述的輪單元，其中，所述限制裝置(370；470 ；670)適合于在工作期間阻擋所述線引導結構(360 ；460 ；560 ；660 ；760)的一部分的使用。5.根據權利要求1到3中任意一項所述的輪單元，其中，所述限制裝置(370；470 ；670)可拆卸地連接到所述輪單元(356 ；456 ；656 ；756)。6.根據權利要求1到3中任意一項所述的輪單元，其中，所述限制裝置(370；470 ；670)適合于限制被形成為兩個凹槽的線引導結構(360 ；460 ；560 ；660 ；760)的凹槽(365 ；665 ；666)的使用。7.一種構造為用于具有線的線鋸裝置的線引導件，所述線引導件包括: 根據權利要求1到3中任意一 項所述的輪單元(356 ；456 ；656 ；756);以及 輪胎，所述輪胎包括: 輪胎部分，其具有適合于在輪單元(356 ；456 ；656 ；756)的徑向外表面(357 ；457)處被接收的徑向內表面；以及 線引導結構(360 ；460 ；560 ；660 ;760)，其設置在所述輪胎部分的徑向外表面(357 ；457)處，以引導所述線。8.根據權利要求7所述的線引...

【專利技術屬性】
技術研發人員：吉恩馬克·羅斯特，阿爾諾德·羅比，約翰·施派爾，
申請(專利權)人：應用材料瑞士股份有限公司，
類型：發明
國別省市：