本發明專利技術是有關于一種可靠性佳的紅外線反射鍍膜、節能玻璃裝置及其鍍膜的制作方法。該可靠性佳的紅外線反射鍍膜，是形成于一透光基板上。該紅外線反射鍍膜包含：一形成于該透光基板上的緩沖層，及一形成于該緩沖層上的第一金屬基膜層結構。該第一金屬基膜層結構自該緩沖層朝遠離該透光基板的方向依序具有一第一金屬層、一第二金屬層及一第三金屬層。該第一金屬層是由Ag所制成；該第二金屬層是由一選自下列所構成的群組的第二金屬所制成：Zn、Sn、Ti、Ni、ZnSn合金、ZnTi合金、ZnNi合金、SnTi合金及SnNi合金。該第一金屬基膜層結構的第三金屬層是一阻障層。本發明專利技術也提供了一種節能玻璃裝置及前述鍍膜的制作方法。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種紅外線反射鍍膜(infrared reflection coating),特別是涉及一種可靠性(reliability)佳的紅外線反射鍍膜、節能玻璃裝置(low_emissivity glassunit)及其鍍膜的制作方法。
技術介紹
紅外線反射鍍膜具有提供可見光(visible light)穿透(transmission),并阻隔紅外線穿透的功用。當處于冬天時節，紅外線反射鍍膜更可將室內人體所產生的體熱局限在室內環境中以維持室內溫度處于室溫狀態。相反地，當夏天的室內需使用到空調設備以維持室溫時，紅外線反射鍍膜便可阻隔外界紅外線的穿透，避免因外界紅外線的輻射 (radiation)熱能的穿透而導致室內溫度居高不下，并借此省下空調設備所需消耗的電能。因此，紅外線反射鍍膜一般常被鍍制于透明玻璃基板上以供做為節能玻璃使用。請參閱圖I所示，是說明US 7，906, 203B2所公開的紅外線反射鍍膜的剖視示意圖。US 7，906, 203B2公開了一種紅外線反射鍍膜I，是形成于一玻璃基板11上。該紅外線反射鍍膜I包含一形成于該玻璃基板11的一表面110上的透明介電層(transparentdielectric layer) 12,及三層紅外線反射膜13。其中每一層紅外線反射膜13自該透明介電層12朝遠離該玻璃基板11的方向依序具有一由Ag、Cu或Au等高導電性(conductivity)金屬材質所制成的紅外線反射層131、一阻障層(blocke rlayer) 132,及一透明介電層133。該些透明介電層133可以是由單一層氧化物(oxide)所構成，也可以是由三層、五層或七層不同的氧化物(如，ZnO及SnO2)所構成，其主要目的是在于，提升可見光的穿透率(transmittance)。該些阻障層132可以是由Ti、Ni、Cr、NiCr，或Nb等金屬材料所制成。由于在鍍制該些透明介電層133時，需在反應室里引入氧氣(O2)以鍍制氧化物；因此，該些阻障層132的主要目的是在于，阻隔氧氣與Ag或Cu等金屬材料產生氧化反應，并維持該紅外線反射鍍膜I整體的可靠性。雖然該紅外線反射鍍膜I的紅外線穿透率可降低至I. 5%左右；然而，該紅外線反射鍍膜I仍需使用到氧化物；因此，其整體可靠性仍然必免不了氧氣的破壞。經上述說明可知，改善紅外線反射鍍膜的氧化問題并借此提升紅外線反射鍍膜的可靠性，是此
所需改進的課題。由此可見，上述現有的紅外線反射鍍膜在產品結構、制造方法與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一步改進。為了解決上述存在的問題，相關廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設計被發展完成，而一般產品及方法又沒有適切的結構及方法能夠解決上述問題，此顯然是相關業者急欲解決的問題。因此如何能創設一種新的可靠性佳的紅外線反射鍍膜、節能玻璃裝置及其鍍膜的制作方法，實屬當前重要研發課題之一，亦成為當前業界極需改進的目標。
技術實現思路
本專利技術的目的在于，克服現有的紅外線反射鍍膜存在的缺陷，而提供一種可靠性佳的紅外線反射鍍膜，所要解決的技術問題是使其借由一第一金屬基(metal-based)膜層結構的第二金屬層來提升可見光的穿透率，以避免傳統的透明介電層所產生的氧化問題，從而提升紅外線反射鍍膜的可靠性，非常適于實用。本專利技術的另一目的在于，提供一種新的節能玻璃裝置，所要解決的技術問題是使其具有上述可靠性佳的紅外線反射鍍膜，以提升節能玻璃裝置的透光性及可靠性，從而更加適于實用。本專利技術的再一目的在于，提供一種新的可靠性佳的紅外線反射鍍膜的制作方法，所要解決的技術問題是使其用于制作上述可靠性佳的紅外線反射鍍膜，并利用微波等離子體處理提升紅外線反射鍍膜的附著性及使其其表面的呈疏水性(hydrophobic property),以利于阻隔水氣的進入而增加紅外線反射鍍膜的可靠性，從而更加適于實用。·本專利技術的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。依據本專利技術提出的一種可靠性佳的紅外線反射鍍膜，是形成于一透光(transparent)基板上。該紅外線反射鍍膜包含一形成于該透光基板上的緩沖層(buffer layer),及一形成于該緩沖層上的第一金屬基膜層結構。該第一金屬基膜層結構自該緩沖層朝遠離該透光基板的方向依序具有一第一金屬層、一第二金屬層及一第三金屬層。該第一金屬基膜層結構的第一金屬層是由Ag所制成。該第一金屬基膜層結構的第二金屬層是由一選自下列所構成的群組的第二金屬所制成Zn、Sn、Ti、Ni、ZnSn合金、ZnTi合金、ZnNi合金、SnTi合金,及SnNi合金。該第一金屬基膜層結構的第三金屬層是一阻障層。本專利技術的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。較佳地，前述的可靠性佳的紅外線反射鍍膜，其中該第一金屬基膜層結構的第三金屬層是由一選自下列所構成的群組的第三金屬所制成Al、AlTi合金、AlNi合金,及AlZn合金；該緩沖層是由一選自下列所構成的群組的材料所制成Zn、ZnO、SnO2,及Ti02。較佳地，前述的可靠性佳的紅外線反射鍍膜，其中該第一金屬基膜層結構的第一金屬層的厚度是介于14nm 32nm間；該第一金屬基膜層結構的第二金屬層的厚度是介于IOnm 35nm 間。較佳地，前述的可靠性佳的紅外線反射鍍膜，還包含一層第二金屬基膜層結構，該第二金屬基膜層結構夾置于該緩沖層與該第一金屬基膜層結構間，該第二金屬基膜層結構自該緩沖層朝遠離該透光基板的方向依序具有一層第一金屬層及一層第二金屬層，該第二金屬基膜層結構的第一金屬層是由Ag所制成，該第二金屬基膜層結構的第二金屬層是由一選自下列所構成的群組的第二金屬所制成Zn、Sn、Ti、Ni、ZnSn合金、ZnTi合金、ZnNi合金、SnTi合金,及SnNi合金。較佳地，前述的可靠性佳的紅外線反射鍍膜，其中該第二金屬基膜層結構還具有一層第三金屬層，該第二金屬基膜層結構的第三金屬層夾置于該第二金屬基膜層結構的第二金屬層與該第一金屬基膜層結構間，且是由一選自下列所構成的群組的第三金屬所制成=AUAlTi合金、AlNi合金，及AlZn合金。較佳地，前述的可靠性佳的紅外線反射鍍膜，其中該第二金屬基膜層結構的第一金屬層的厚度是介于14nm 32nm間；該第二金屬基膜層結構的第二金屬層的厚度是介于44nm 60nm 間。本專利技術的目的及解決其技術問題還采用以下技術方案來實現。依據本專利技術提出的一種節能玻璃裝置，包含一第一元件、一第二元件，及一間隔件(spacer)。該第一元件具有一透光基板，及一形成于該透光基板上的如前面所述的可靠性佳的紅外線反射鍍膜。該第二元件具有另一透光基板，且該另一透光基板面向該透光基板并與該透光基板間隔設置。該間隔件夾置于該第一元件與第二元件間，并與該第一元件及第二元件共同界定出一封閉空間。本專利技術的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。較佳地，前述的節能玻璃裝置，還包含一填置于該封閉空間的惰性氣體(inertgas)。本專利技術的目的及解決其技術問題另外再采用以下技術方案來實現。依據本專利技術提 出的一種可靠性佳的紅外線反射鍍膜的制作方法，是形成于一透光基板上。該制作方法包含以下步驟(a)在該透光基板上形成一緩本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種可靠性佳的紅外線反射鍍膜，是形成于一個透光基板上，其特征在于，該紅外線反射鍍膜包含：一層形成于該透光基板上的緩沖層；以及一層形成于該緩沖層上的第一金屬基膜層結構，該第一金屬基膜層結構自該緩沖層朝遠離該透光基板的方向依序具有一層第一金屬層、一層第二金屬層及一層第三金屬層；其中，該第一金屬基膜層結構的第一金屬層是由Ag所制成；其中，該第一金屬基膜層結構的第二金屬層是由一選自下列所構成的群組的第二金屬所制成：Zn、Sn、Ti、Ni、ZnSn合金、ZnTi合金、ZnNi合金、SnT？i合金，及SnNi合金；及其中，該第一金屬基膜層結構的第三金屬層是一層阻障層。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：林寬鋸，許純淵，
申請(專利權)人：林寬鋸，
類型：發明
國別省市：
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