一種易于封裝的磁場傳感器制造技術

本實用新型專利技術公開了一種易于封裝的磁場傳感器，該磁場傳感器包括四個懸臂梁、懸臂梁錨區、第一支撐柱、金屬層、氧化硅膜層和硅膜層，懸臂梁錨區固定在第一支撐柱的頂面；四個懸臂梁呈十字形，固定在懸臂梁錨區的側壁上；每個懸臂梁的頂面設有一圈金屬線，懸臂梁錨區和第一支撐柱中設有八個連接通孔，金屬層通過連接通孔與金屬線連接；氧化硅膜層固定在硅膜層的頂面，金屬層固定在氧化硅膜層的頂面，第一支撐柱固定在金屬層的頂面；焊盤為八個，八個焊盤位于懸臂梁的外側，焊盤和金屬層之間設有第二支撐柱，第二支撐柱中設有連接孔，金屬層通過連接孔與傳感器的焊盤連接。該磁場傳感器封裝方便，能夠降低引線對傳感器性能的影響。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種易于封裝的磁場傳感器，其特征在于，該磁場傳感器包括四個懸臂梁（3）、懸臂梁錨區（5）、第一支撐柱（6）、金屬層（7）、氧化硅膜層（8）和硅膜層（9），懸臂梁錨區（5）固定在第一支撐柱（6）的頂面；四個懸臂梁（3）呈十字形，固定在懸臂梁錨區（5）的側壁上；每個懸臂梁（3）的頂面設有一圈金屬線（2），懸臂梁錨區（5）和第一支撐柱（6）中設有八個連接通孔（1），金屬層（7）通過連接通孔（1）與金屬線（2）連接；氧化硅膜層（8）固定在硅膜層（9）的頂面，金屬層（7）固定在氧化硅膜層（8）的頂面，第一支撐柱（6）固定在金屬層（7）的頂面；焊盤（4）為八個，八個焊盤（4）位于懸臂梁（3）的外側，焊盤（4）和金屬層（7）之間設有第二支撐柱，第二支撐柱中設有連接孔（41），金屬層（7）通過連接孔（41）與傳感器的焊盤（4）連接。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳潔，黃慶安，秦明，
申請(專利權)人：東南大學，
類型：實用新型
國別省市：