溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本實用新型公開了一種易于封裝的磁場傳感器，該磁場傳感器包括四個懸臂梁、懸臂梁錨區、第一支撐柱、金屬層、氧化硅膜層和硅膜層，懸臂梁錨區固定在第一支撐柱的頂面；四個懸臂梁呈十字形，固定在懸臂梁錨區的側壁上；每個懸臂梁的頂面設有一圈金屬線，懸臂梁...
該專利屬于東南大學所有，僅供學習研究參考，未經過東南大學授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。