一種真空除氣系統技術方案

本實用新型專利技術公開了一種真空除氣系統，包括油擴散泵、抽真空機組、真空維持泵、真空擋板閥一、真空擋板閥二和真空主管道，油擴散泵的上端通過真空擋板閥二與真空主管道連接，真空維持泵與油擴散泵通過管道連接，抽真空機組通過真空擋板閥一與真空主管道連接。采用本實用新型專利技術的真空除氣系統除氣后的低溫絕熱瓶的夾層真空度可達5×10-4Pa，遠遠高出同類產品性能指標5.0×10-2Pa的兩個數量級，大大的提高了低溫絕熱瓶的安全性能。真空主管道中的液氮管路在抽真空過程可將管道殘余氣體冷凍吸附從而提高真空度。將真空主管道內壁進行鏡面拋光0.2Ra以下，降低管道內壁吸附氣體的能力，從而提高抽氣速率。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種真空除氣系統，其特征在于，包括油擴散泵、抽真空機組、真空維持泵、真空擋板閥一、真空擋板閥二和真空主管道，油擴散泵的上端通過真空擋板閥二與真空主管道連接，真空維持泵與油擴散泵通過管道連接，抽真空機組通過真空擋板閥一與真空主管道連接。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：劉伯均，
申請(專利權)人：北京和華騰真空泵壓縮機有限公司，
類型：實用新型
國別省市：