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本實用新型公開了一種真空除氣系統,包括油擴散泵、抽真空機組、真空維持泵、真空擋板閥一、真空擋板閥二和真空主管道,油擴散泵的上端通過真空擋板閥二與真空主管道連接,真空維持泵與油擴散泵通過管道連接,抽真空機組通過真空擋板閥一與真空主管道連接。采...該專利屬于北京和華騰真空泵壓縮機有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過北京和華騰真空泵壓縮機有限公司授權不得商用。
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本實用新型公開了一種真空除氣系統,包括油擴散泵、抽真空機組、真空維持泵、真空擋板閥一、真空擋板閥二和真空主管道,油擴散泵的上端通過真空擋板閥二與真空主管道連接,真空維持泵與油擴散泵通過管道連接,抽真空機組通過真空擋板閥一與真空主管道連接。采...