本實用新型專利技術公開了一種蒸發舟，適于設置在呈真空環境的密封腔體內并用于對有機發光二極管和太陽能電池板中大面積的基板進行側向蒸鍍，其中，基板呈豎直的設置，而蒸發舟包括沿豎直方向設置并呈中空結構的蒸發舟本體，中空結構形成一端貫穿蒸發舟本體一側的密封空腔，密封空腔的開口與基板相對應，且密封空腔內沿豎直方向設置有若干間隔開并供蒸發材料盛放用的盛放部，盛放部具有供蒸發材料在蒸發時產生的蒸鍍物質通過的側蒸發出口，側蒸發出口與基板相對應。本實用新型專利技術蒸發舟能確保大面積的基板的對位精度及提高該基板鍍膜的均勻性。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）
【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種蒸發舟，尤其涉及一種對有機發光二極管和太陽能電池板中大面積的基板進行側向蒸鍍的蒸發舟及立式蒸發設備。
技術介紹
OLED (英文全稱為0rganic Light-Emitting Diode,中文名稱為有機發光二極管)由于具備輕薄(面板厚度一般小于2毫米)、省電(操作電壓一般為3伏至10伏之間)等特性，因此在數碼產品的顯示屏上得到了廣泛應用，并且具有較大的市場潛力，目前世界上對OLED的應用都聚焦在平板顯示器上，因為OLED是唯一在應用上能和TFT-IXD相提并論的技術，且是目前所有顯示技術中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術，可以做成和紙張一樣的厚度。因此，OLED的顯示技術是將來的顯示技術的發展方向。眾所周知，在OLED的制造過程中，會涉及到成千上萬道工序，而OLED的基板鍍膜·工序就是成千上萬道工序中的一種。其中，在OLED的基板鍍膜過程中，會借助到蒸發舟對置于蒸發舟上的蒸發材料進行加熱蒸發，使蒸發材料受熱產生蒸鍍物質并鍍于基板上。但是，請見圖1，現有的蒸發舟300是水平地置于密封腔體的真空腔內的，而基板200也是水平地置于密封腔體的真空腔內并位于蒸發舟300的正上方，且基板200通過固定裝置500對置于蒸發舟300正上方的基板200之四周進行固定，這使得基板200因四周被固定而導致該基板200的重心遠離基板200的邊緣處，且在地球重力作用下使基板200產生變形，該變形在基板200的中心處更明顯，尤其對大面積的基板200來說，此種情形更為突出；一方面影響到基板200的對位精度，另一方面使得基板200的膜厚因基板200的變形而導致不均勻，從而影響到基板200的鍍膜質量。同樣，在太陽能電池板的基板鍍膜過程中，也存在上述的缺陷。因此，急需要一種蒸發舟及立式蒸發設備來克服上述的缺陷。
技術實現思路
本技術之一目的在于提供一種能確保大面積基板的對位精度并能提聞該基板鍍膜均勻性的蒸發舟。本技術之另一目的在于提供一種能確保大積面基板的對位精度并能提聞該基板鍍膜均勻性的立式蒸發設備。為實現上述的目的，本技術提供了一種蒸發舟，適于設置在呈真空環境的密封腔體內并對有機發光二極管和太陽能電池板中大面積的基板進行側向蒸鍍，其中，該基板呈豎直的設置，而所述蒸發舟包括沿豎直方向設置并呈中空結構的蒸發舟本體。所述中空結構形成一端貫穿所述蒸發舟本體一側的密封空腔，所述密封空腔的開口與所述基板相對應，且所述密封空腔內沿豎直方向設置有若干間隔開并供蒸發材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸發材料在蒸發時產生的蒸鍍物質通過的側蒸發出口，所述側蒸發出口與所述基板相對應。較佳地，本技術蒸發舟還包括沿豎直方向設置并與所述蒸發舟本體相配合的蒸發舟蓋體，所述蒸發舟蓋體位于所述基板與所述蒸發舟本體之間，且所述蒸發舟蓋體沿豎直方向開設有若干間隔開并與所述基板相對應的蒸發孔，所述盛放部內的蒸發材料在蒸發時產生的蒸鍍物質穿過所述蒸發孔進而蒸鍍于所述基板上。其中，借助蒸發舟蓋體能屏蔽蒸發舟本體處的部分溫度對基板鍍膜的影響，從而能進一步地提高基板鍍膜的均勻性；同時，借助蒸發舟本體上的蒸發孔，便于盛放部內的蒸發材料在蒸發時產生的蒸鍍物質先穿過蒸發舟蓋體后才均勻地沉積于基板上，并可以通過控制蒸發孔的位置密度達到調整蒸鍍物質沉積在基板上的膜厚。 較佳地，所述密封空腔內沿豎直方向設置有若干間隔開的分隔片，所述分隔片與所述密封空腔的內壁共同形成所述盛放部，相鄰兩所述分隔片之間以及所述分隔片中最高的分隔片與所述密封空腔對應的內壁之間共同形成所有所述側蒸發出口，以使得盛放部的形成簡單并節省材料。較佳地，所述立式蒸發舟還配置有為蒸發材料提供蒸發能量的加熱組件，所述加熱組件包括加熱絲及第一絕緣套排，所述第一絕緣套排與所述蒸發舟本體的遠離所述密封空腔之開口的一側鄰設，且所述第一絕緣套排圍繞所述蒸發舟本體，所述加熱絲的一端依次纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套上并與外界電源的正極電性連接，所述加熱絲的另一端與外界電源的負極電性連接，使得加熱絲能為蒸發舟本體各處的盛放部提供均勻的加熱溫度，從而確保每個盛放部內的蒸發材料的蒸發速度一致性。具體地，所述加熱組件還包括第二絕緣套排，所述第二絕緣套排圍繞所述第一絕緣套排并使該第一絕緣套排位于所述蒸發舟本體與所述第二絕緣套排之間，所述加熱絲呈輪流的纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套和第二絕緣套排中的第二絕緣套上，能進一步地確保每一盛放部內的蒸發材料的蒸發速度一致性。本技術立式蒸發設備，適用于對有機發光二極管和太陽能電池板中大面積的基板進行側向蒸鍍，其中，本技術立式蒸發設備包括密封腔體、立式蒸發舟及加熱組件。所述密封腔體具有一密封的真空腔，所述基板豎直的設置并位于所述真空腔的一側內。所述立式蒸發舟位于所述真空腔的另一側內，且所述立式蒸發舟包括沿豎直方向設置并呈中空結構的蒸發舟本體，所述中空結構形成一端貫穿所述蒸發舟本體一側的密封空腔，所述密封空腔的開口與所述基板相對應，且所述密封空腔內沿豎直方向設置有若干間隔開并供蒸發材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸發材料在蒸發時產生的蒸鍍物質通過的側蒸發出口，所述側蒸發出口與所述基板相對應。所述加熱組件為所述盛放部內的蒸發材料提供蒸發能量，且所述加熱組件與所述蒸發舟本體鄰設。較佳地，所述立式蒸發舟還包括沿豎直方向設置并與所述蒸發舟本體相配合的蒸發舟蓋體，所述蒸發舟蓋體位于所述基板與所述蒸發舟本體之間，且所述蒸發舟蓋體沿豎直方向開設有若干間隔開并與所述基板相對應的蒸發孔，所述盛放部內的蒸發材料在蒸發時產生的蒸鍍物質穿過所述蒸發孔進而蒸鍍于所述基板上。其中，借助蒸發舟蓋體能屏蔽蒸發舟本體處的部分溫度對基板鍍膜的影響，從而能進一步地提高基板鍍膜的均勻性；同時，借助蒸發舟本體上的蒸發孔，便于盛放部內的蒸發材料在蒸發時產生的蒸鍍物質先穿過蒸發舟蓋體后才均勻地沉積于基板上，并可以通過控制蒸發孔的位置密度達到調整蒸鍍物質沉積在基板上的膜厚。較佳地，所述密封空腔內沿豎直方向設置有若干間隔開的分隔片，所述分隔片與所述密封空腔的內壁共同形成所述盛放部，相鄰兩所述分隔片之間以及所述分隔片中最高的分隔片與所述密封空腔對應的內壁之間共同形成所有所述側蒸發出口，以使得盛放部的形成簡單并節省材料。較佳地,所述加熱組件包括加熱絲及第一絕緣套排,所述第一絕緣套排與所述蒸發舟本體的遠離所述密封空腔之開口的一側鄰設，且所述第一絕緣套排圍繞所述蒸發舟本體，所述加熱絲的一端依次纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套上并與外界電源的正極電性連接，所述加熱絲的另一端與外界電源的負極電性連接，使得加熱絲能為蒸發舟本體各處的盛放部提供均勻的加熱溫度，從而確保每個盛放部內的蒸發材料的蒸發速度一致性。具體地，所述加熱組件還包括第二絕緣套排，所述第二絕緣套排圍繞所述第一絕緣套排并使該第一絕緣套排位于所述蒸發舟本體與所述第二絕緣套排之間，所述加熱絲呈輪流的纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套和第二絕緣套排中的第二絕緣套上，能進一步地確保每一盛放部內的蒸發材料的蒸發速度一致性。較佳地，所述密封腔體內具有與外界液冷系統相連通的液冷通道，該液冷通道一方面能降低熱輻射對密封腔體外部的影響，本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種蒸發舟，適于設置在呈真空環境的密封腔體內并對有機發光二極管和太陽能電池板中大面積的基板進行側向蒸鍍，其特征在于，該基板呈豎直的設置，而所述蒸發舟包括沿豎直方向設置并呈中空結構的蒸發舟本體，所述中空結構形成一端貫穿所述蒸發舟本體一側的密封空腔，所述密封空腔的開口與所述基板相對應，且所述密封空腔內沿豎直方向設置有若干間隔開并供蒸發材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸發材料在蒸發時產生的蒸鍍物質通過的側蒸發出口，所述側蒸發出口與所述基板相對應。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：葉宗鋒，楊順先，劉惠森，楊明生，
申請(專利權)人：東莞宏威數碼機械有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
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