【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本技術涉及半導體生產(chǎn)
,涉及晶棒成型機部件,具體地說是涉及半導體晶棒成型缸。
技術介紹
現(xiàn)有技術中,由于晶棒的成型是原料放置在玻璃管中,在搖擺加熱爐中搖擺成型的,這樣的晶棒具有晶粒產(chǎn)率低,材料浪費嚴重的缺點、還增加了生產(chǎn)成本、具有使用不便 的缺點。
技術實現(xiàn)思路
本技術的目的就是針對上述缺點,提供一種部件——半導體晶棒成型缸,這種部件安裝在成型機上具有晶粒產(chǎn)率高、減少浪費、節(jié)約成本、操作方便的優(yōu)點。本技術的技術方案是這樣實現(xiàn)的半導體晶棒成型缸,其特征是包括成型缸本體,所述的成型缸本體是側邊連通有抽真空管、外面設置有加熱管,所述的成型缸本體是絕緣材料制成的、具有中通孔的腔體結構。進一步的講,所述的成型缸本體是陶瓷制成的。進一步的講,所述的腔體截面是方形結構。本技術的有益效果是這樣的半導體晶棒成型缸可以安裝在成型機上,使這樣的成型機具有晶粒產(chǎn)率高、減少浪費、節(jié)約成本、操作方便的優(yōu)點。附圖說明圖I是本技術半導體晶棒成型缸的結構示意圖。其中1、成型缸本體2、抽真空管3、腔體結構4、加熱管。具體實施方式以下結合附圖對本技術作進一步的描述。如圖I所示,半導體晶棒成型缸,其特征是包括成型缸本體1,所述的成型缸本體I是側邊連通有抽真空管2、外面設置有加熱管4,所述的成型缸本體I是絕緣材料制成的、具有中通孔的腔體結構3。進一步的講,所述的成型缸本體是陶瓷制成的。進一步的講,所述的腔體截面是方形結構。權利要求1.半導體晶棒成型缸,其特征是包括成型缸本體,所述的成型缸本體是側邊連通有抽真空管、外面設置有加熱管,所述的成型缸本體是絕緣材料制成的、具有中通孔的腔體的結構。2.根 ...
【技術保護點】
半導體晶棒成型缸,其特征是:包括成型缸本體,所述的成型缸本體是側邊連通有抽真空管、外面設置有加熱管,所述的成型缸本體是絕緣材料制成的、具有中通孔的腔體的結構。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員:劉寶成,
申請(專利權)人:河南恒昌電子有限公司,
類型:實用新型
國別省市:
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