具有光柵的單纖三向復(fù)用器制造技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)提供一種具有光柵的單纖三向復(fù)用器。該單纖三向復(fù)用器至少包括：用于接入第一波長(zhǎng)及第二波長(zhǎng)的光波信號(hào)的輸入波導(dǎo)；用于接入第三波長(zhǎng)的光波信號(hào)的上傳波導(dǎo)；第一輸出波導(dǎo)；第二輸出波導(dǎo)；及多模波導(dǎo)耦合器；該多模波導(dǎo)耦合器用于分離所述第一波長(zhǎng)信號(hào)及第二波長(zhǎng)信號(hào)，并使兩者分別由第一輸出波導(dǎo)及第二輸出波導(dǎo)輸出；此外，該多模波導(dǎo)耦合器所具有的光柵，能反射所述第三波長(zhǎng)的光波信號(hào)，并使該光波信號(hào)由輸入波導(dǎo)輸出。優(yōu)選地，輸入波導(dǎo)、上傳波導(dǎo)、第一輸出波導(dǎo)、第二輸出波導(dǎo)及多模波導(dǎo)耦合器均通過(guò)對(duì)半導(dǎo)體基底的刻蝕來(lái)形成。本發(fā)明專利技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)包括：結(jié)構(gòu)緊湊小巧，且制作工藝與CMOS工藝完全兼容，無(wú)需復(fù)雜工藝，加工成本低。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種具有光柵的單纖三向復(fù)用器，其特征在于，所述具有光柵的單纖三向復(fù)用器至少包括：用于接入第一波長(zhǎng)及第二波長(zhǎng)的光波信號(hào)的輸入波導(dǎo)；用于接入第三波長(zhǎng)的光波信號(hào)的上傳波導(dǎo)；第一輸出波導(dǎo)；第二輸出波導(dǎo)；通過(guò)端口分別連接所述輸入波導(dǎo)、上傳波導(dǎo)、第一輸出波導(dǎo)及第二輸出波導(dǎo)的多模波導(dǎo)耦合器，用于分離所述第一波長(zhǎng)信號(hào)及第二波長(zhǎng)信號(hào)，并使兩者分別由第一輸出波導(dǎo)及第二輸出波導(dǎo)輸出，所述多模波導(dǎo)耦合器還具有光柵，所述光柵能反射所述第三波長(zhǎng)的光波信號(hào)，并使該光波信號(hào)由輸入波導(dǎo)輸出。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：盛振，凌偉，甘甫烷，武愛(ài)民，王曦，鄒世昌，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：江蘇尚飛光電科技有限公司，中科院南通光電工程中心，中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：