一種多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)，包括固定架組焊、軸，固定架組焊與電機(jī)安裝座組焊固連，電機(jī)安裝座組焊與減速機(jī)固連，減速機(jī)輸入端固連有電機(jī)，輸出端固連有主動(dòng)輪，軸固連于安裝座上，安裝座一端固連有蓋板，另一端固連有從動(dòng)輪，軸的兩端用軸承支撐于所述固定架組焊與活動(dòng)塊上，并用壓蓋進(jìn)行軸向定位，壓蓋與固定架組焊及活動(dòng)塊固連，活動(dòng)塊與固定架組焊固連，安裝座下方設(shè)有工件安裝臺(tái)，工件安裝臺(tái)下方固連有粘料板，粘料板下方粘有工件。本實(shí)用新型專利技術(shù)的多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)，保證了工件加工的高精度和穩(wěn)定性，有效降低成本，提升切割效率，改善切片質(zhì)量，且拆裝方便，維護(hù)成本低。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過(guò)期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)屬于多線切割機(jī)領(lǐng)域，具體的涉及一種多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)。
技術(shù)介紹
目前，多線切割技術(shù)是世界上比較先進(jìn)的硅片加工技術(shù)，其原理是通過(guò)一根高速運(yùn)動(dòng)的鋼線帶動(dòng)附著在鋼絲上的切割刃料對(duì)半導(dǎo)體等硬脆材料進(jìn)行摩擦，從而達(dá)到切割效果。在整個(gè)過(guò)程中，鋼線通過(guò)幾個(gè)導(dǎo)線輪的引導(dǎo)，在主線輥上形成一張線網(wǎng)，而待加工工件通過(guò)工作臺(tái)的上升下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給，可將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割成數(shù)百片，多線切割技術(shù)與其他技術(shù)相比有效率高，產(chǎn)能高，精度高等優(yōu)點(diǎn)。隨之，多線切割技術(shù)已逐漸取代了傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內(nèi)圓切割，成為目前采用最廣泛的半導(dǎo)體等硬脆材料切割技術(shù)。作為多線切割機(jī)，采用擺動(dòng)式工作臺(tái)切割可有效降低成本，提升切割效率，改善切片質(zhì)量。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)旨在提供一種多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)。該多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)采用伺服驅(qū)動(dòng)，伺服電機(jī)直連減速機(jī)，通過(guò)齒輪傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)的搖擺。采用兩端成對(duì)安裝的圓錐滾子軸承支撐定位，有效的保證了工作臺(tái)的支撐剛度及搖擺精度，采用接近傳感器控制最大擺動(dòng)角度。為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本技術(shù)通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)一種多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)，包括固定架組焊、軸，固定架組焊與電機(jī)安裝座組焊固連，電機(jī)安裝座組焊與減速機(jī)固連，減速機(jī)輸入端固連有電機(jī)，輸出端固連有主動(dòng)輪，軸固連于安裝座上，安裝座一端固連有蓋板，另一端固連有從動(dòng)輪，軸的兩端用軸承支撐于所述固定架組焊與活動(dòng)塊上，并用壓蓋進(jìn)行軸向定位，壓蓋與固定架組焊及活動(dòng)塊固連，活動(dòng)塊與固定架組焊固連，安裝座下方設(shè)有工件安裝臺(tái)，工件安裝臺(tái)下方固連有粘料板，粘料板下方粘有工件。進(jìn)一步的，工件安裝臺(tái)兩側(cè)都設(shè)有定位邊條，定位邊條固連于安裝座上，工件安裝臺(tái)的一側(cè)與安裝座之間設(shè)有頂塊，頂塊通過(guò)固連與安裝座上的螺釘將工件安裝臺(tái)頂緊。進(jìn)一步的，安裝座兩側(cè)都固連有擋邊，固定架組焊外部固連有護(hù)罩，護(hù)罩及擋邊共同起防護(hù)作用。進(jìn)一步的，從動(dòng)輪與主動(dòng)輪相嚙合，實(shí)現(xiàn)了工件的搖擺切割功能。進(jìn)一步的，固定架組焊上固連有兩個(gè)傳感器固定架，兩個(gè)傳感器固定架上分別裝有接近傳感器，從動(dòng)輪上固連有傳感器檢測(cè)架，接近傳感器通過(guò)感應(yīng)搖擺的傳感器檢測(cè)架，實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)搖擺角度的限定。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)具有以下有益效果本技術(shù)的多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，采用軸承支撐定位，滿足了搖擺切割對(duì)工作臺(tái)剛度和精度的要求，且拆裝方便，維護(hù)成本低，并可有效降低成本，提升切割效率，改善切片質(zhì)量。上述說(shuō)明僅是本技術(shù)技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本技術(shù)的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本技術(shù)的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。本技術(shù)的具體實(shí)施方式由以下實(shí)施例及其附圖詳細(xì)給出。附圖說(shuō)明此處所說(shuō)明的附圖 用來(lái)提供對(duì)本技術(shù)的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，本技術(shù)的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本技術(shù)，并不構(gòu)成對(duì)本技術(shù)的不當(dāng)限定。在附圖中圖I為多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)的主體結(jié)構(gòu)軸向剖視示意圖；圖2為多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)的主體結(jié)構(gòu)徑向剖視示意圖。圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明1、固定架組焊；2、電機(jī)安裝座組焊；3、減速機(jī)；4、電機(jī)；5、主動(dòng)輪；6、安裝座；7、從動(dòng)輪；8、軸；9、壓蓋；10、軸承；11、工件安裝臺(tái)；12、蓋板；13、粘料板；14、定位邊條；15、護(hù)罩；16、活動(dòng)塊；17、擋邊；18、頂塊；19、傳感器固定架；20、接近傳感器；21、傳感器檢測(cè)架。具體實(shí)施方式下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例，來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本技術(shù)。參見圖I所示，一種多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)，包括固定架組焊I、軸8，固定架組焊I與電機(jī)安裝座組焊2固連，電機(jī)安裝座組焊2與減速機(jī)3固連，減速機(jī)3輸入端固連有電機(jī)4，輸出端固連有主動(dòng)輪5，軸8固連于安裝座6上，安裝座6 —端固連有蓋板12，另一端固連有從動(dòng)輪7，軸8的兩端用軸承10支撐于固定架組焊I與活動(dòng)塊16上，并用壓蓋9進(jìn)行軸向定位，壓蓋9與固定架組焊I及活動(dòng)塊16固連，活動(dòng)塊16與固定架組焊I固連，安裝座6下方設(shè)有工件安裝臺(tái)11，工件安裝臺(tái)11下方固連有粘料板13，粘料板13下方粘有工件。并且，工件安裝臺(tái)11兩側(cè)都設(shè)有定位邊條14，定位邊條14固連于安裝座6上，工件安裝臺(tái)11的一側(cè)與安裝座6之間設(shè)有頂塊18，頂塊18通過(guò)固連于安裝座6上的螺釘將工件安裝臺(tái)11頂緊。此外，安裝座6兩側(cè)都固連有擋邊17，固定架組焊I外部固連有護(hù)罩15，護(hù)罩15及擋邊17共同起防護(hù)作用。再者，從動(dòng)輪7與主動(dòng)輪5相嚙合，實(shí)現(xiàn)了工件的搖擺切割功能。作為上述技術(shù)方案更進(jìn)一步地優(yōu)化，固定架組焊I上固連有兩個(gè)傳感器固定架19，傳感器固定架19上分別裝有接近傳感器20，從動(dòng)輪7上固連有傳感器檢測(cè)架21，接近傳感器20通過(guò)感應(yīng)搖擺的傳感器檢測(cè)架21，實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)搖擺角度的限定。綜上所述，本技術(shù)的多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，采用軸承支撐定位，滿足了搖擺切割對(duì)工作臺(tái)剛度和精度的要求，且拆裝方便，維護(hù)成本低，并可有效降低成本，提升切割效率，改善切片質(zhì)量。以上所述僅為本技術(shù)的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本技術(shù)，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本技術(shù)可以有各種更改和變化。凡在本技術(shù)的精神和原則 之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本技術(shù)的保護(hù)范圍之內(nèi)。權(quán)利要求1.一種多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)，其特征在于包括固定架組焊(I)、軸(8)，所述固定架組焊(I)與電機(jī)安裝座組焊(2 )固連，所述電機(jī)安裝座組焊(2 )與減速機(jī)(3 )固連，所述減速機(jī)(3)輸入端固連有電機(jī)(4)，輸出端固連有主動(dòng)輪(5)，所述軸(8)固連于安裝座(6)上，所述安裝座(6) —端固連有蓋板(12)，另一端固連有從動(dòng)輪(7)，所述軸(8)的兩端用軸承(10)支撐于所述固定架組焊(I)與活動(dòng)塊(16)上，并用壓蓋(9)進(jìn)行軸向定位，所述壓蓋(9)與所述固定架組焊(I)及所述活動(dòng)塊(16)固連，所述活動(dòng)塊(16)與所述固定架組焊(I)固連，所述安裝座(6 )下方設(shè)有工件安裝臺(tái)(11 )，所述工件安裝臺(tái)(11)下方固連有粘料板(13)，所述粘料板(13)下方粘有工件。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的工件安裝臺(tái)(11)兩側(cè)都設(shè)有定位邊條(14)，所述定位邊條(14)固連于所述安裝座(6)上，所述工件安裝臺(tái)(11)的一側(cè)與所述安裝座(6)之間設(shè)有頂塊(18)，所述頂塊(18)通過(guò)固連于所述安裝座(6 )上的螺釘將所述工件安裝臺(tái)(11)頂緊。3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的安裝座(6)兩側(cè)都固連有擋邊(17)，所述固定架組焊(I)外部固連有護(hù)罩(15)，所述護(hù)罩(15)及所述擋邊(17)共同起防護(hù)作用。4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)，其特征在于所述從動(dòng)輪(7)與所述主動(dòng)輪(5)相嚙合，實(shí)現(xiàn)了工件的搖擺切割功能。5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)，其特征在于所述固定架組焊(I)上固連有兩個(gè)傳感器固定架(19)，兩個(gè)所述傳感器固定架(19)上分別裝有接近傳感器(20)，所述從動(dòng)輪(7)上固連有傳感器檢測(cè)架(21)，所述接近傳感器(20)通過(guò)感應(yīng)搖擺的傳感器檢測(cè)架(21本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種多線切割機(jī)工作臺(tái)搖擺機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括固定架組焊（1）、軸（8），所述固定架組焊（1）與電機(jī)安裝座組焊（2）固連，所述電機(jī)安裝座組焊（2）與減速機(jī)（3）固連，所述減速機(jī)（3）輸入端固連有電機(jī)（4），輸出端固連有主動(dòng)輪（5），所述軸（8）固連于安裝座（6）上，所述安裝座（6）一端固連有蓋板（12），另一端固連有從動(dòng)輪（7），所述軸（8）的兩端用軸承（10）支撐于所述固定架組焊（1）與活動(dòng)塊（16）上，并用壓蓋（9）進(jìn)行軸向定位，所述壓蓋（9）與所述固定架組焊（1）及所述活動(dòng)塊（16）固連，所述活動(dòng)塊（16）與所述固定架組焊（1）固連，所述安裝座（6）下方設(shè)有工件安裝臺(tái)（11），所述工件安裝臺(tái)（11）下方固連有粘料板（13），所述粘料板（13）下方粘有工件。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：金萬(wàn)斌，李方俊，李智，周軍，趙洋，趙鵬，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：蘇州赫瑞特電子專用設(shè)備科技有限公司，
類型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：