一種制備標準氧化鉭薄膜的方法技術

本發明專利技術涉及計量測試量值傳遞技術領域，尤其是涉及一種在金屬鉭片上制備納米厚度標準氧化鉭薄膜的方法。一種制備標準氧化鉭薄膜的方法，它包括如下步驟：a、對金屬鉭片進行表面處理，b、將金屬鉭片作為陽極、貴金屬絲作為陰極，在陽極、陰極上施加1～60V的電壓置入電解液中進行陽極氧化反應0.1～12小時，c、取出并清洗金屬鉭片，d、放入烘箱干燥。本發明專利技術提供了一套覆蓋納米尺寸范圍、具有標準厚度的氧化鉭納米薄膜，改善了當前國內納米薄膜計量和表征缺少標準物質的現狀，有效地保證納米計量表征的量值傳遞，獲得更為精確的薄膜厚度測量結果。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：徐建，陸敏，朱麗娜，吳立敏，陳永康，
申請(專利權)人：上海市計量測試技術研究院，
類型：發明
國別省市：