【技術實現步驟摘要】
本申請涉及顯示，具體涉及一種顯示面板及其制備方法以及顯示設備。
技術介紹
1、在常規的頂柵薄膜晶體管架構的驅動背板中，通常需要設置淺孔和深孔以實現連接，深孔需要貫穿緩沖層，而淺孔不需要貫穿緩沖層，比如淺孔暴露有源層，深孔暴露遮光層。而為了避免淺孔處的有源層過刻太嚴重，在本領域技術中會采用兩道光罩分別來形成淺孔和深孔，但是采用兩道光罩會導致制備成本增加。
技術實現思路
1、本申請實施例提供一種顯示面板及其制備方法以及顯示設備，可以在節省形成淺孔和深孔的光罩的同時，降低有源層被嚴重過刻的風險。
2、本申請實施例提供一種顯示面板，其包括：
3、基板；
4、遮光部，設置在所述基板上；
5、緩沖層，設置在所述遮光部遠離所述基板的一側；
6、第一有源部，設置在所述緩沖層遠離所述基板的一側；
7、第一柵極，與所述第一有源部異層設置；
8、層間介質層，覆蓋所述第一有源部和所述第一柵極遠離所述基板的一側，所述層間介質層開設有第一接觸孔和第二接觸孔，所述第一接觸孔的深度小于所述第二接觸孔的深度，所述第一接觸孔貫穿所述層間介質層且暴露所述第一有源部，所述第二接觸孔貫穿所述層間介質層和所述緩沖層且暴露所述遮光部；以及
9、其中，在所述顯示面板的厚度方向，所述第一接觸孔包括第一上孔和第一下孔，所述第一下孔貫穿所述層間介質層的部分和所述第一有源部的部分，所述第一上孔連通于所述第一下孔遠離所述基板的一側，所述第一下孔
10、在所述顯示面板的厚度方向上，所述第二接觸孔包括第二上孔和第二下孔，所述第二下孔貫穿所述層間介質層的部分和所述緩沖層，所述第二上孔連通于所述第二下孔遠離所述基板的一側，所述第二下孔的開口寬度小于所述第二上孔的開口寬度，所述第二上孔的深度等于所述第一上孔的深度，所述第二下孔的深度大于所述第一下孔的深度。
11、可選的，在本申請的一些實施例中，在所述顯示面板的厚度方向上，所述第一下孔的開口端面到所述第一有源部的距離為第一距離，所述第一距離介于1納米至60納米之間。
12、可選的，在本申請的一些實施例中，在所述顯示面板的厚度方向上，所述第一下孔貫穿所述第一有源部的深度介于1納米至30納米之間。
13、可選的，在本申請的一些實施例中，所述第一下孔的開口到所述第一上孔的孔壁的距離為第二距離，所述第二距離介于0.1微米至2微米之間。
14、可選的，在本申請的一些實施例中，所述第二下孔的開口到所述第二上孔的孔壁的距離為第三距離，所述第二距離等于所述第三距離。
15、可選的，在本申請的一些實施例中，所述第一下孔包括第一子孔和第二子孔，所述第一子孔連通于所述第一上孔，所述第二子孔連通于所述第一子孔靠近所述基板的一側，所述第二子孔設置在所述第一有源部內，所述第二子孔的開口寬度小于所述第一子孔的開口寬度。
16、可選的，在本申請的一些實施例中，所述第一上孔的孔壁傾斜角大于所述第一子孔的孔壁傾斜角，所述第一子孔的孔壁傾斜角大于所述第二子孔的孔壁傾斜角。
17、可選的，在本申請的一些實施例中，所述顯示面板還包括第二有源部、第二柵極、第一絕緣部、第二絕緣部和第一金屬層，所述第一絕緣部設置在所述第一有源部遠離所述基板的一側，所述第二有源部、所述第二絕緣部、所述第二柵極依次堆疊設置在所述緩沖層遠離所述基板的一側，所述層間介質層覆蓋所述第一柵極、所述第二柵極和所述緩沖層；
18、所述第一金屬層設置在所述層間介質層遠離所述基板的一側，所述第一金屬層包括第一電極、第二電極、第三電極和第四電極，所述第一電極通過一所述第一接觸孔連接所述第一有源部的一側，所述第二電極通過一所述第一接觸孔連接所述第一有源部的另一側，所述第二電極的另一端通過一所述第二接觸孔連接所述遮光部；所述第三電極通過一所述第一接觸孔連接所述第二有源部的一側，所述第四電極通過一所述第一接觸孔連接所述第二有源部的另一側。
19、可選的，在本申請的一些實施例中，所述第一金屬層還包括第一外周走線，所述層間介質層還開設有暴露所述第二柵極的第三接觸孔，所述第三接觸孔的深度小于所述第一接觸孔的深度，所述第一外周走線通過所述第三接觸孔連接所述第二柵極；
20、所述第三接觸孔包括第三上孔和第三下孔，所述第三下孔連通于所述第三上孔靠近所述基板的一側，所述第三下孔的開口寬度小于所述第三上孔的開口寬度，所述第三下孔貫穿所述第二柵極的部分，所述第三下孔的深度大于所述第一下孔貫穿所述第一有源部的深度。
21、可選的，在本申請的一些實施例中，所述顯示面板還包括第二絕緣層、第一極板、第二極板和第三極板，所述第一極板與所述遮光部同層設置，所述第二極板與所述第一有源部同層設置且與所述第一極板重疊形成電容，所述第二絕緣層覆蓋所述第一柵極、所述第二柵極、所述第二極板和所述緩沖層，所述第三極板設置在所述第二絕緣層遠離所述基板的一側且與所述第二極板形成電容，所述層間介質層覆蓋所述第二絕緣層和所述第三極板；
22、所述第一金屬層還包括連接線，所述層間介質層還設置有暴露所述第三極板的第四接觸孔和暴露所述第一極板的另一所述第二接觸孔，所述第一接觸孔和所述第二接觸孔還貫穿所述第二絕緣層；所述連接線的一端通過所述第四接觸孔連接所述第三極板，所述連接線的另一端通過另一所述第二接觸孔連接所述第一極板；
23、所述第四接觸孔包括第四上孔和第四下孔，所述第四下孔連通于所述第四上孔靠近所述基板的一側，所述第四下孔的開口寬度小于所述第四上孔的開口寬度，所述第四下孔貫穿所述第三極板的部分，所述第四下孔的深度大于所述第一下孔貫穿所述第一有源部的深度。
24、相應的，本申請實施例還提供一種顯示面板的制備方法，其包括以下步驟：
25、在基板上依次形成遮光部、緩沖層、第一有源部、第一絕緣部、第一柵極和層間介質層；
26、采用同一光罩對所述層間介質層進行兩次干法刻蝕，形成第一接觸孔和第二接觸孔，所述第一接觸孔的深度小于所述第二接觸孔的深度，所述第一接觸孔貫穿所述層間介質層且暴露所述第一有源部，所述第二接觸孔貫穿所述層間介質層和所述緩沖層且暴露所述遮光部，所述第一接觸孔包括第一上孔和第一下孔，所述第一下孔貫穿所述層間介質層的部分和所述第一有源部的部分，所述第一上孔連通于所述第一下孔遠離所述基板的一側，所述第一下孔的開口寬度小于所述第一上孔的開口寬度；所述第二接觸孔包括第二上孔和第二下孔，所述第二下孔貫穿所述層間介質層的部分和所述緩沖層，所述第二上孔連通于所述第二下孔遠離所述基板的一側，所述第二下孔的開口寬度小于所述第二上孔的開口寬度，所述第二上孔的深度等于所述第一上孔的深度，所述第二下孔的深度大于所述第一下孔的深度。
27、可選的，在本申請的一些實施例中，采用同一光罩對所述層間介質層進行兩次干法刻蝕，形成第一接觸孔和第二接觸孔的步本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種顯示面板，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的顯示面板，其特征在于，在所述顯示面板的厚度方向上，所述第一下孔的開口端面到所述第一有源部的距離為第一距離，所述第一距離介于1納米至60納米之間。
3.根據權利要求2所述的顯示面板，其特征在于，在所述顯示面板的厚度方向上，所述第一下孔貫穿所述第一有源部的深度介于1納米至30納米之間。
4.根據權利要求3所述的顯示面板，其特征在于，所述第一下孔的開口到所述第一上孔的孔壁的距離為第二距離，所述第二距離介于0.1微米至2微米之間。
5.根據權利要求4所述的顯示面板，其特征在于，所述第二下孔的開口到所述第二上孔的孔壁的距離為第三距離，所述第二距離等于所述第三距離。
6.根據權利要求1-5任意一項所述的顯示面板，其特征在于，所述第一下孔包括第一子孔和第二子孔，所述第一子孔連通于所述第一上孔，所述第二子孔連通于所述第一子孔靠近所述基板的一側，所述第二子孔設置在所述第一有源部內，所述第二子孔的開口寬度小于所述第一子孔的開口寬度。
7.根據權利要求6所述的顯示面板，
8.根據權利要求1-5任意一項所述的顯示面板，其特征在于，所述顯示面板還包括第二有源部、第二柵極、第一絕緣部、第二絕緣部和第一金屬層，所述第一絕緣部設置在所述第一有源部遠離所述基板的一側，所述第二有源部、所述第二絕緣部、所述第二柵極依次堆疊設置在所述緩沖層遠離所述基板的一側，所述層間介質層覆蓋所述第一柵極、所述第二柵極和所述緩沖層；
9.根據權利要求8所述的顯示面板，其特征在于，所述第一金屬層還包括第一外周走線，所述層間介質層還開設有暴露所述第二柵極的第三接觸孔，所述第三接觸孔的深度小于所述第一接觸孔的深度，所述第一外周走線通過所述第三接觸孔連接所述第二柵極；
10.根據權利要求9所述的顯示面板，其特征在于，所述顯示面板還包括第二絕緣層、第一極板、第二極板和第三極板，所述第一極板與所述遮光部同層設置，所述第二極板與所述第一有源部同層設置且與所述第一極板重疊形成電容，所述第二絕緣層覆蓋所述第一柵極、所述第二柵極、所述第二極板和所述緩沖層，所述第三極板設置在所述第二絕緣層遠離所述基板的一側且與所述第二極板形成電容，所述層間介質層覆蓋所述第二絕緣層和所述第三極板；
11.一種顯示面板的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
12.根據權利要求11所述的顯示面板的制備方法，其特征在于，采用同一光罩對所述層間介質層進行兩次干法刻蝕，形成第一接觸孔和第二接觸孔的步驟包括：
13.一種顯示設備，其特征在于，包括如權利要求1-10任意一項所述的顯示面板。
...【技術特征摘要】
1.一種顯示面板，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的顯示面板，其特征在于，在所述顯示面板的厚度方向上，所述第一下孔的開口端面到所述第一有源部的距離為第一距離，所述第一距離介于1納米至60納米之間。
3.根據權利要求2所述的顯示面板，其特征在于，在所述顯示面板的厚度方向上，所述第一下孔貫穿所述第一有源部的深度介于1納米至30納米之間。
4.根據權利要求3所述的顯示面板，其特征在于，所述第一下孔的開口到所述第一上孔的孔壁的距離為第二距離，所述第二距離介于0.1微米至2微米之間。
5.根據權利要求4所述的顯示面板，其特征在于，所述第二下孔的開口到所述第二上孔的孔壁的距離為第三距離，所述第二距離等于所述第三距離。
6.根據權利要求1-5任意一項所述的顯示面板，其特征在于，所述第一下孔包括第一子孔和第二子孔，所述第一子孔連通于所述第一上孔，所述第二子孔連通于所述第一子孔靠近所述基板的一側，所述第二子孔設置在所述第一有源部內，所述第二子孔的開口寬度小于所述第一子孔的開口寬度。
7.根據權利要求6所述的顯示面板，其特征在于，所述第一上孔的孔壁傾斜角大于所述第一子孔的孔壁傾斜角，所述第一子孔的孔壁傾斜角大于所述第二子孔的孔壁傾斜角。
8.根據權利要求1-5任意一項所述的顯示面板，其特征在于，所述顯示面板還包括第二有源部、第二柵...
【專利技術屬性】
技術研發人員：肖軍城，李珊，徐源竣，閆曉林，張曉星，
申請(專利權)人：廣州華星光電半導體顯示技術有限公司，
類型：發明
國別省市：
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