本實(shí)用新型專利技術(shù)涉及研磨墊技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種帶凹槽結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂研磨墊，包括基層和表面層，所述表面層相抵設(shè)置于基層的上表面，所述基層的下表面相抵設(shè)置有底層，所述表面層的上表面開(kāi)設(shè)有多個(gè)凹槽，所述基層的下表面兩側(cè)和底層的上表面兩側(cè)均開(kāi)設(shè)有空腔，所述基層的兩側(cè)兩端均固定設(shè)置有插桿，多個(gè)所述插桿的外側(cè)一端均延伸至對(duì)應(yīng)的空腔的內(nèi)部，多個(gè)所述插桿的兩側(cè)壁均固定設(shè)置有彈性片，多個(gè)所述彈性片的一端均與對(duì)應(yīng)的空腔的內(nèi)壁相抵觸，多個(gè)所述空腔的側(cè)壁均開(kāi)設(shè)有安裝槽，多個(gè)所述安裝槽的內(nèi)部均設(shè)有推動(dòng)機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型專利技術(shù)能夠?qū)ρ心|磨損的部位進(jìn)行單獨(dú)更換，能夠大大減少材料的浪費(fèi)，降低更換成本。降低更換成本。降低更換成本。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種帶凹槽結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂研磨墊
[0001]本技術(shù)涉及研磨墊
，尤其涉及一種帶凹槽結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂研磨墊。
技術(shù)介紹
[0002]研磨墊是用于半導(dǎo)體晶圓、顯示器用玻璃基板、硬盤(pán)用機(jī)板等半導(dǎo)體零件、電子零件的制造制程中輔助研磨工作，在研磨步驟中，將研磨墊固定于研磨裝置后，將晶圓等被研磨構(gòu)件朝研磨墊擠壓，于供給研磨漿料的同時(shí)，使兩者相對(duì)地滑動(dòng)以進(jìn)行研磨，現(xiàn)有的樹(shù)脂研磨墊通常通過(guò)在表面設(shè)置凹槽，能夠有效的存續(xù)研磨液，保證研磨液充分利用。
[0003]傳統(tǒng)的帶凹槽結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂研磨墊通常為一體式設(shè)計(jì)，當(dāng)其表面被磨損后，整個(gè)研磨墊便失去作用，需要對(duì)整個(gè)研磨墊進(jìn)行更換，非常浪費(fèi)材料。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
[0004]本技術(shù)的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中帶凹槽結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂研磨墊通常為一體式設(shè)計(jì)，當(dāng)其表面被磨損后，整個(gè)研磨墊便失去作用，需要對(duì)整個(gè)研磨墊進(jìn)行更換，非常浪費(fèi)材料的問(wèn)題，而提出的一種帶凹槽結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂研磨墊。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本技術(shù)采用了如下技術(shù)方案：
[0006]一種帶凹槽結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂研磨墊，包括基層和表面層，所述表面層相抵設(shè)置于基層的上表面，所述基層的下表面相抵設(shè)置有底層，所述表面層的上表面開(kāi)設(shè)有多個(gè)凹槽，所述基層的下表面兩側(cè)和底層的上表面兩側(cè)均開(kāi)設(shè)有空腔，所述基層的兩側(cè)兩端均固定設(shè)置有插桿，多個(gè)所述插桿的外側(cè)一端均延伸至對(duì)應(yīng)的空腔的內(nèi)部，多個(gè)所述插桿的兩側(cè)壁均固定設(shè)置有彈性片，多個(gè)所述彈性片的一端均與對(duì)應(yīng)的空腔的內(nèi)壁相抵觸，多個(gè)所述空腔的側(cè)壁均開(kāi)設(shè)有安裝槽，多個(gè)所述安裝槽的內(nèi)部均設(shè)有推動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0007]優(yōu)選的，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)包括推板和固定殼，所述安裝槽的內(nèi)部設(shè)置有拉桿，所述拉桿的下端延伸至安裝槽的外側(cè)，所述推板固定設(shè)置于拉桿的上端，所述固定殼設(shè)置于插桿的正上方，所述固定殼的上端與推板固定連接，所述拉桿的桿壁活動(dòng)套接有彈簧，所述彈簧的兩端分別與對(duì)應(yīng)的推板和安裝槽的內(nèi)壁固定連接。
[0008]優(yōu)選的，多個(gè)所述拉桿的外側(cè)一端均固定連接有拉環(huán)。
[0009]優(yōu)選的，多個(gè)所述推板的兩側(cè)均與對(duì)應(yīng)的安裝槽的內(nèi)壁相抵觸。
[0010]優(yōu)選的，所述表面層的上表面涂有耐磨涂層。
[0011]優(yōu)選的，多個(gè)所述彈性片均為記憶金屬片。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)提供了一種帶凹槽結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂研磨墊，具備以下有益效果：
[0013]該帶凹槽結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂研磨墊，通過(guò)拉動(dòng)兩側(cè)拉桿，使得推板帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的固定殼向插桿方向移動(dòng)，使得固定殼套在插桿的外部，即能夠?qū)⒉鍡U兩側(cè)的彈性片與插桿外壁抵緊，此時(shí)，即可將插桿從空腔內(nèi)拉出，即能夠解除表面層與基層之間的限位，即對(duì)研磨墊磨損的部位進(jìn)行單獨(dú)更換，能夠大大減少材料的浪費(fèi)，降低更換成本。
[0014]該裝置中未涉及部分均與現(xiàn)有技術(shù)相同或可采用現(xiàn)有技術(shù)加以實(shí)現(xiàn)，本技術(shù)能夠?qū)ρ心|磨損的部位進(jìn)行單獨(dú)更換，能夠大大減少材料的浪費(fèi)，降低更換成本。
附圖說(shuō)明
[0015]圖1為本技術(shù)提出的一種帶凹槽結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂研磨墊的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為圖1的前視剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖3為圖2中局部A部分的結(jié)構(gòu)放大示意圖。
[0018]圖中：1基層、2表面層、3底層、4凹槽、5插桿、6拉環(huán)、7彈性片、8拉桿、9推板、10固定殼、11彈簧。
具體實(shí)施方式
[0019]下面將結(jié)合本技術(shù)實(shí)施例中的附圖，對(duì)本技術(shù)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本技術(shù)一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。
[0020]在本技術(shù)的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本技術(shù)和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本技術(shù)的限制。
[0021]參照?qǐng)D1
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3，一種帶凹槽結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂研磨墊，包括基層1和表面層2，表面層2相抵設(shè)置于基層1的上表面，基層1的下表面相抵設(shè)置有底層3，表面層2的上表面開(kāi)設(shè)有多個(gè)凹槽4，基層1的下表面兩側(cè)和底層3的上表面兩側(cè)均開(kāi)設(shè)有空腔，基層1的兩側(cè)兩端均固定設(shè)置有插桿5，多個(gè)插桿5的外側(cè)一端均延伸至對(duì)應(yīng)的空腔的內(nèi)部，多個(gè)插桿5的兩側(cè)壁均固定設(shè)置有彈性片7，多個(gè)彈性片7的一端均與對(duì)應(yīng)的空腔的內(nèi)壁相抵觸，多個(gè)空腔的側(cè)壁均開(kāi)設(shè)有安裝槽，多個(gè)安裝槽的內(nèi)部均設(shè)有推動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0022]推動(dòng)機(jī)構(gòu)包括推板9和固定殼10，安裝槽的內(nèi)部設(shè)置有拉桿8，拉桿8的下端延伸至安裝槽的外側(cè)，推板9固定設(shè)置于拉桿8的上端，固定殼10設(shè)置于插桿5的正上方，固定殼10的上端與推板9固定連接，拉桿8的桿壁活動(dòng)套接有彈簧11，彈簧11的兩端分別與對(duì)應(yīng)的推板9和安裝槽的內(nèi)壁固定連接。
[0023]多個(gè)拉桿8的外側(cè)一端均固定連接有拉環(huán)6，方便拉動(dòng)拉桿8。
[0024]多個(gè)推板9的兩側(cè)均與對(duì)應(yīng)安裝槽的內(nèi)壁相抵觸，使得推板9無(wú)法轉(zhuǎn)動(dòng)，即能夠穩(wěn)定的滑動(dòng)。
[0025]表面層2的上表面涂有耐磨涂層，提高表面層2的耐磨性能。
[0026]多個(gè)彈性片7均為記憶金屬片，方便彈性片7復(fù)位。
[0027]本技術(shù)中，使用時(shí)，由于表面層2上表面凹槽4的設(shè)置能夠有效的存續(xù)研磨液，保證研磨液充分利用，當(dāng)需要對(duì)磨損的表面層2進(jìn)行單獨(dú)更換時(shí)，拉動(dòng)兩側(cè)拉桿8，使得推板9帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的固定殼10向插桿5方向移動(dòng)，使得固定殼10套在插桿5的外部，即能夠?qū)⒉鍡U5兩側(cè)的彈性片7與插桿5的外壁抵緊，此時(shí)，即可將插桿5從空腔內(nèi)拉出，即能夠解除表面層2與基層1之間的限位，即對(duì)研磨墊磨損的部位進(jìn)行單獨(dú)更換，能夠大大減少材料的浪費(fèi)，降低更換成本。
[0028]以上所述，僅為本技術(shù)較佳的具體實(shí)施方式，但本技術(shù)的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本
的技術(shù)人員在本技術(shù)揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本技術(shù)的技術(shù)方案及其技術(shù)構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本技術(shù)的保護(hù)范圍之內(nèi)。
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【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
【技術(shù)特征摘要】
1.一種帶凹槽結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂研磨墊，包括基層（1）和表面層（2），其特征在于，所述表面層（2）相抵設(shè)置于基層（1）的上表面，所述基層（1）的下表面相抵設(shè)置有底層（3），所述表面層（2）的上表面開(kāi)設(shè)有多個(gè)凹槽（4），所述基層（1）的下表面兩側(cè)和底層（3）的上表面兩側(cè)均開(kāi)設(shè)有空腔，所述基層（1）的兩側(cè)兩端均固定設(shè)置有插桿（5），多個(gè)所述插桿（5）的外側(cè)一端均延伸至對(duì)應(yīng)的空腔的內(nèi)部，多個(gè)所述插桿（5）的兩側(cè)壁均固定設(shè)置有彈性片（7），多個(gè)所述彈性片（7）的一端均與對(duì)應(yīng)的空腔的內(nèi)壁相抵觸，多個(gè)所述空腔的側(cè)壁均開(kāi)設(shè)有安裝槽，多個(gè)所述安裝槽的內(nèi)部均設(shè)有推動(dòng)機(jī)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶凹槽結(jié)構(gòu)的樹(shù)脂研磨墊，其特征在于，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)包括推板（9）和固定殼（10），所述安裝槽的內(nèi)部設(shè)置有拉桿（8），所述拉桿（8）的下...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳斌，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：深圳中機(jī)新材料有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：
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