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    下載一種帶凹槽結構的樹脂研磨墊的技術資料

    文檔序號:36698620

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    本實用新型涉及研磨墊技術領域,且公開了一種帶凹槽結構的樹脂研磨墊,包括基層和表面層,所述表面層相抵設置于基層的上表面,所述基層的下表面相抵設置有底層,所述表面層的上表面開設有多個凹槽,所述基層的下表面兩側和底層的上表面兩側均開設有空腔,所述...
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