產品良率的評估方法技術

本發明專利技術提供了一種產品良率的評估方法，包括：從已經完成測試的產品中選出良率達標的產品，并提取產品各個參數的值，作為基準參數值，并制作成第一文件；從待分析良率的產品中提取各個參數的值，作為待評估參數值，并制作成第二文件；采用分析工具調用第一文件和第二文件，對待評估參數值和基準參數值進行比較，以形成良率評估報告，其中，選取單個待評估參數，將其與對應的基準參數值進行比較，以得到單個待評估參數的分析圖。本發明專利技術提供的產品良率的評估方法代替了人工分析測試數據，減少了人力，提高了分析效率，同時，還能將多個參數的測試數據同時進行比較和分析。試數據同時進行比較和分析。試數據同時進行比較和分析。

【技術實現步驟摘要】
產品良率的評估方法


[0001]本專利技術涉及半導體
，尤其是涉及一種產品良率的評估方法。

技術介紹

[0002]在半導體器件制造工藝中，測試是保證器件出廠品質的重要環節，通過測試，能將制造過程中產生的一些殘次品，或者性能不合格產品挑選出來，或者是通過測試，獲知器件的性能參數，能對產品進行等級的區分。例如，在晶圓上形成多個器件，需要對形成的器件的功能進行測試。
[0003]當某一產品在量產之前，需要進行試產，從試產的產品上進行一些功能參數的測試，以判斷功能參數是否達標，如果達標就可以進行量產，如果不能達標，則需要找出不能達標的原因，對制程或者采用的零件的質量進行改進。如果沒有這一步，可能導致量產時出現大量的不良品，從而使得產品良率較低。
[0004]現有技術，在產品良率的分析過程中，每進行一項參數的測試，需要人工拉取測試數據，再采用分析軟件或者計算軟件，將測試數據進行分析，最后做成分析圖。然而，如果需要測試的參數較多，則需要大量的人工，并且由于各項參數的測試結果是分開的，所以不方便多個參數的測試數據同時進行比較和分析。

技術實現思路

[0005]本專利技術的目的在于提供一種產品良率的評估方法，可以代替人工分析測試數據，減少人力，提高分析效率，同時，還可以將多個參數的測試數據同時進行比較和分析。
[0006]為了達到上述目的，本專利技術提供了一種產品良率的評估方法，包括：
[0007]從已經完成測試的產品中選出良率達標的產品，并提取所述產品各個參數的值，作為基準參數值，并制作成第一文件；
[0008]從待分析良率的產品中提取各個參數的值，作為待評估參數值，并制作成第二文件；
[0009]采用分析工具調用所述第一文件和第二文件，對待評估參數值和基準參數值進行比較，以形成良率評估報告，其中，選取單個待評估參數，將其與對應的基準參數值進行比較，以得到單個待評估參數的分析圖。
[0010]可選的，在所述的產品良率的評估方法中，所述第一文件和第二文件均是excel格式的文件。
[0011]可選的，在所述的產品良率的評估方法中，采用分析工具調用所述第一文件和第二文件的方法包括：通過選擇工單號和產品名稱調用所述第一文件和第二文件。
[0012]可選的，在所述的產品良率的評估方法中，所述分析工具包括多個欄，通過對每個欄的操作以選擇分析過程、分析參數和顯示分析結果。
[0013]可選的，在所述的產品良率的評估方法中，所述分析圖能展示在所述分析工具中。
[0014]可選的，在所述的產品良率的評估方法中，所述分析圖為圖表的形式。
[0015]可選的，在所述的產品良率的評估方法中，所述測試工具包括：lot ID選擇欄，用于選擇產品的lot ID；prod ID選擇欄，用于選擇產品的product ID；Import欄，用于輸入所述第一文件或者第二文件；Method欄，用于選擇采用的比較方法；BSL欄，用于顯示基準參數值；NEW欄，用于顯示待評估參數值；項目選擇欄，用于選擇分析報告的分析項目；參數分類欄，用于選擇測試項目；參數選擇欄，用于選擇所述測試項目中的測試參數；參數對比結果欄，用于顯示待評估參數值和基準參數值的比較結果；分析圖展示欄，用于顯示分析圖。
[0016]可選的，在所述的產品良率的評估方法中，選取單個待評估參數，將其與對應的基準參數值進行比較，以得到單個待評估參數的分析圖的方法包括：輸入lot ID；輸入product ID；導入第一文件和第二文件；分出基準參數值和待評估參數值；選擇比較方式；選擇需要分析的測試項目；拉取參數分類及對應參數；勾選需要分析的參數；點擊計算；顯示分析結果和分析圖。
[0017]可選的，在所述的產品良率的評估方法中，所述測試項目包括：CP測試、BIN測試、Inline測試、WAT測試和lot打分測試。
[0018]可選的，在所述的產品良率的評估方法中，對待評估參數值和基準參數值進行比較的方法包括：基于HC數據統計方法的比較方法和基于CPK數據統計方法的比較方法。
[0019]在本專利技術提供的產品良率的評估方法中，產品良率的評估方法包括：從已經完成測試的產品中選出良率達標的產品，并提取產品各個參數的值，作為基準參數值，并制作成第一文件；從待分析良率的產品中提取各個參數的值，作為待評估參數值，并制作成第二文件；采用分析工具調用第一文件和第二文件，對待評估參數值和基準參數值進行比較，以形成良率評估報告，其中，選取單個待評估參數，將其與對應的基準參數值進行比較，以得到單個待評估參數的分析圖。本專利技術提供的產品良率的評估方法代替了人工分析測試數據，減少了人力，提高了分析效率，同時，還能將多個參數的測試數據同時進行比較和分析。
附圖說明
[0020]圖1是本專利技術實施例的產品良率的評估方法的流程圖；
[0021]圖2是本專利技術實施例的測試工具的示意圖。
具體實施方式
[0022]下面將結合示意圖對本專利技術的具體實施方式進行更詳細的描述。根據下列描述，本專利技術的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本專利技術實施例的目的。
[0023]在下文中，術語“第一”“第二”等用于在類似要素之間進行區分，且未必是用于描述特定次序或時間順序。要理解，在適當情況下，如此使用的這些術語可替換。類似的，如果本文所述的方法包括一系列步驟，且本文所呈現的這些步驟的順序并非必須是可執行這些步驟的唯一順序，且一些所述的步驟可被省略和/或一些本文未描述的其他步驟可被添加到該方法。
[0024]請參照圖1，本專利技術提供了一種產品良率的評估方法，包括：
[0025]S11：從已經完成測試的產品中選出良率達標的產品，并提取產品各個參數的值，作為基準參數值，并制作成第一文件；
[0026]S12：從待分析良率的產品中提取各個參數的值，作為待評估參數值，并制作成第二文件；
[0027]S13：采用分析工具調用第一文件和第二文件，對待評估參數值和基準參數值進行比較，以形成良率評估報告，其中，選取單個待評估參數，將其與對應的基準參數值進行比較，以得到單個待評估參數的分析圖。
[0028]優選的，第一文件和第二文件均是excel格式的文件。采用分析工具調用第一文件和第二文件的方法包括：通過選擇工單號和產品名稱調用第一文件和第二文件。
[0029]優選的，分析工具包括多個欄，通過對每個欄的操作以選擇分析過程、分析參數和顯示分析結果。分析圖能展示在分析工具中。
[0030]具體的，請參照圖2，測試工具包括：lot ID選擇欄，用于選擇產品的lot ID；prod ID選擇欄，用于選擇產品的product ID；Import欄，用于輸入第一文件或者第二文件，根據product ID和lot ID可以找到其對應的測試數據所在的第一文件或者第二文件；Method欄，用于選擇采用的比較方法，本專利技術實施例的對待評估參數值和本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種產品良率的評估方法，其特征在于，包括：從已經完成測試的產品中選出良率達標的產品，并提取所述產品各個參數的值，作為基準參數值，并制作成第一文件；從待分析良率的產品中提取各個參數的值，作為待評估參數值，并制作成第二文件；采用分析工具調用所述第一文件和第二文件，對待評估參數值和基準參數值進行比較，以形成良率評估報告，其中，選取單個待評估參數，將其與對應的基準參數值進行比較，以得到單個待評估參數的分析圖。2.如權利要求1所述的產品良率的評估方法，其特征在于，所述第一文件和第二文件均是excel格式的文件。3.如權利要求1所述的產品良率的評估方法，其特征在于，采用分析工具調用所述第一文件和第二文件的方法包括：通過選擇工單號和產品名稱調用所述第一文件和第二文件。4.如權利要求1所述的產品良率的評估方法，其特征在于，所述分析工具包括多個欄，通過對每個欄的操作以選擇分析過程、分析參數和顯示分析結果。5.如權利要求1所述的產品良率的評估方法，其特征在于，所述分析圖能展示在所述分析工具中。6.如權利要求1所述的產品良率的評估方法，其特征在于，所述分析圖為圖表的形式。7.如權利要求4所述的產品良率的評估方法，其特征在于，所述測試工具包括：lot ID選擇欄，用于選擇產品的lot ID；prod ID選擇欄，用于選擇產品...

【專利技術屬性】
技術研發人員：王美玲，焦爽，毛貴蘊，
申請(專利權)人：上海華力微電子有限公司，
類型：發明
國別省市：