一種精密貼膜貼片機制造技術

本發明專利技術公開了一種精密貼膜貼片機，包括機臺以及設置在機臺上的鋼環上料機構、晶圓上料機構、白膜原料軸、白膜廢料收料軸、白膜送料繃緊組件、下壓貼合切刀組件以及鋼環收料機構，所述鋼環上料機構和晶圓上料機構分別設置在機臺的前端并位于同一水平線上，所述下壓貼合切刀組件設置在機臺的中間位置并與鋼環上料機構和晶圓上料機構垂直設置，所述白膜送料繃緊組件設置在下壓貼合切刀組件的下方并位于白膜原料軸和白膜廢料收料軸之間。通過上述方式，本發明專利技術全面實現貼膜貼片貼標自動化，整體結構緊湊、集成度較高，生產效率較高，貼膜牢固，膜與鋼環之間無明顯氣泡，生產過程智能和數據化，全自動生產，操作簡單。

A Precision Film Patching Machine

The invention discloses a precise film mounting machine, which comprises a machine platform and a steel ring feeding mechanism, a wafer feeding mechanism, a white film raw material shaft, a white film waste material collecting shaft, a white film feeding tightening component, a down-pressing clipper assembly and a steel ring feeding mechanism. The steel ring feeding mechanism and the wafer feeding mechanism are respectively arranged at the front end of the machine platform and are located on the same horizontal line. On the top, the down-pressing fitting cutter assembly is arranged in the middle position of the machine platform and is vertical to the steel ring feeding mechanism and the wafer feeding mechanism. The white film feeding tension assembly is arranged below the down-pressing fitting cutter assembly and is located between the white film raw material axis and the white film waste collecting axis. Through the above-mentioned method, the invention fully realizes the automatic labeling of film-sticking patches, with compact overall structure, high integration, high production efficiency, firm film-sticking, no obvious bubble between film and steel ring, intelligent and data-based production process, automatic production and simple operation.

【技術實現步驟摘要】
一種精密貼膜貼片機
本專利技術涉及貼片機的領域，尤其涉及一種精密貼膜貼片機。
技術介紹
目前貼片機的貼膜方式主要有人工貼膜或者采貼片機進行貼膜，但是現有技術中的貼片機均為半自動貼片機，操作比較復雜，還是存在手工作業繁瑣的問題。同時對晶圓貼膜時，貼膜不牢固，貼合面之間有明顯氣泡，造成貼合之間固定效果不理想的問題，工作質量低，生產效率也造成了很大的影響。
技術實現思路
本專利技術主要解決的技術問題是提供一種精密貼膜貼片機，全面實現貼膜貼片貼標自動化，增加了半自動貼片機無法滿足的需求模塊，大大簡化了之前手工作業的繁瑣流程，整體結構緊湊、集成度較高，采用晶圓雙上、料夾雙下，晶圓上料和料夾下料時不影響設備運行，生產效率較高，貼膜牢固，膜與鋼環之間無明顯氣泡，生產過程智能和數據化，全自動生產，操作簡單。為解決上述技術問題，本專利技術采用的一個技術方案是：提供了一種精密貼膜貼片機，包括機臺以及設置在機臺上的鋼環上料機構、晶圓上料機構、白膜原料軸、白膜廢料收料軸、白膜送料繃緊組件、下壓貼合切刀組件以及鋼環收料機構，所述鋼環上料機構和晶圓上料機構分別設置在機臺的前端并位于同一水平線上，所述鋼環收料機構設置在機臺的后端，所述下壓貼合切刀組件設置在機臺的中間位置并與鋼環上料機構和晶圓上料機構垂直設置，所述的白膜原料軸和白膜廢料收料軸分別設置在下壓貼合切刀組件的左右兩側邊，所述白膜送料繃緊組件設置在下壓貼合切刀組件的下方并位于白膜原料軸和白膜廢料收料軸之間。在本專利技術一個較佳實施例中，所述機臺采用凸輪分割器結構。在本專利技術一個較佳實施例中，所述鋼環上料機構內設置有鋼環緩存區，所述鋼環緩存區內疊加放置有鋼環，最多放置200片鋼環，其中，所述鋼環為6寸。在本專利技術一個較佳實施例中，所述鋼環收料機構上設置有兩個下料料夾，每個下料料夾內最多疊加放置100片鋼環。在本專利技術一個較佳實施例中，所述晶圓上料機構的晶圓上料方式為脆盤疊放上料，其中，所述脆盤的數量為2個，所述脆盤疊加內放置有晶圓。在本專利技術一個較佳實施例中，所述晶圓采用2或4寸的藍寶石晶圓。在本專利技術一個較佳實施例中，所述精密貼膜貼片機還包括人機界面，所述的人機界面設置在機臺的一側邊。本專利技術的有益效果是：本專利技術的精密貼膜貼片機，全面實現貼膜貼片貼標自動化，增加了半自動貼片機無法滿足的需求模塊，大大簡化了之前手工作業的繁瑣流程，整體結構緊湊、集成度較高，采用晶圓雙上、料夾雙下，晶圓上料和料夾下料時不影響設備運行，生產效率較高，貼膜牢固，膜與鋼環之間無明顯氣泡，生產過程智能和數據化，全自動生產，操作簡單。附圖說明為了更清楚地說明本專利技術實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本專利技術的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖，其中：圖1是本專利技術精密貼膜貼片機的一較佳實施例的俯視圖；圖2是圖1的立體圖；附圖中的標記為：1、機臺，2、鋼環上料機構，3、晶圓上料機構，4、白膜原料軸，5、白膜廢料收料軸，6、白膜送料繃緊組件，7、下壓貼合切刀組件，8、鋼環收料機構，9、人機界面，10、鋼環緩存區，11、鋼環，12、下料料夾，13、脆盤，14、鋼片晶圓上料搬運軸，15、晶圓上料搬運軸。具體實施方式下面將對本專利技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本專利技術的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本專利技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本專利技術保護的范圍。如圖1所示，本專利技術實施例包括：一種精密貼膜貼片機，包括機臺1以及設置在機臺1上的鋼環上料機構2、晶圓上料機構3、白膜原料軸4、白膜廢料收料軸5、白膜送料繃緊組件6、下壓貼合切刀組件7以及鋼環收料機構8，所述鋼環上料機構2和晶圓上料機構3分別設置在機臺1的前端并位于同一水平線上，所述鋼環收料機構8設置在機臺1的后端，所述下壓貼合切刀組件7設置在機臺1的中間位置并與鋼環上料機構2和晶圓上料機構3垂直設置，所述的白膜原料軸4和白膜廢料收料軸5分別設置在下壓貼合切刀組件7的左右兩側邊，所述白膜送料繃緊組件6設置在下壓貼合切刀組件7的下方并位于白膜原料軸4和白膜廢料收料軸5之間。本實施例中，所述精密貼膜貼片機還包括人機界面9，所述的人機界面9設置在機臺1的一側邊，使貼片機采用智能系統進行數據統計、顯示及保存，使生產過程智能和數據化。上述中，所述鋼環上料機構2內設置有鋼環緩存區10，所述鋼環緩存區10疊加放置有鋼環11，最多放置200片鋼環，其中，所述鋼環11為6寸（注：圓環外形圓弧直徑228mm，直邊尺寸212mm）。所述鋼環收料機構8上設置有兩個下料料夾12，每個下料料夾12內最多疊加放置100片鋼環11。所述晶圓上料機構3的晶圓上料方式為脆盤疊放上料，所述脆盤13的數量為2個，所述脆盤13內疊加放置有晶圓（圖未視），所述晶圓采用2或4寸的藍寶石晶圓。進一步的，所述機臺1采用凸輪分割器結構，分為4個獨立工位和1個翻轉下料工位，具體包括：鋼環上料工位、晶圓上料工位、貼膜工位、貼標工位以及下料翻轉模組。鋼環上料工位、晶圓上料工位、貼膜工位、下料翻轉模組分別對應于鋼環上料機構2、晶圓上料機構3、下壓貼合切刀組件7和鋼環收料機構8的位置進行設置。各個模塊功能介紹：鋼環上料工位：鋼環上料機構將鋼環緩存區內的鋼環搬運至鋼環上料工位，放入工位卡槽中；晶圓上料工位：凸輪分割器旋轉至晶圓上料工位，四軸模組將晶圓片從脆盤中取出，視覺系統進行方向修正，然后通過晶圓上料機構搬運至晶圓上料工位正中心貼合；貼膜工位：凸輪分割器旋轉至貼膜工位，進行貼膜，貼膜平臺自帶加熱，張緊度調節功能；貼標工位：凸輪分割器旋轉至貼標工位，自動在線打印排序好的條碼并貼合在白膜上，掃碼模塊進行掃碼確認；下料翻轉模組：通過機械手將晶圓片滾壓后，搬運并翻轉后推入成品緩存區的Cassette中。鋼環上料機構2和晶圓上料機構3上還設置有鋼片晶圓上料搬運軸14和晶圓上料搬運軸15。其中，鋼片晶圓上料搬運軸14的行程為680mm，驅動由伺服+滾柱絲桿組成，分辨率為1um；晶圓上料搬運軸15的行程為350mm，驅動由自鎖伺服+滾珠絲桿，取料組件采用真空硅膠吸盤，吸力比較小，保證了晶圓的完整性，不易損壞晶圓。本專利技術的精密貼膜貼片機相比于現有技術具有如下優點：1、設備整體結構緊湊、集成度較高；2、設備集成多個安全傳感器，防撞擊、開門報警暫停等保障生產過程安全且穩定性較高；3、設備采用晶圓雙上、料夾雙下，晶圓上料、料夾下料時不影響設備運行，生產效率較高高；4、貼膜牢固，膜與鋼環之間無明顯氣泡；5、全自動生產，操作簡單；6、智能系統進行數據統計、顯示及保存，使生產過程智能，數據化。本專利技術的精密貼膜貼片機輸入電源：單相AC220V，最大使用電流10A，最大瞬時功率為2.4KW；輸入氣壓：壓力范圍為0.6-0.8MPa，使用流量為50L/min（ANR）；供給負壓：壓力范圍為低于-50KPa；環境溫度：25℃±5℃；環境濕度：RH60±5%。使用精密貼膜貼片機的產能：6寸鋼環5片/分鐘；設備每天運作20小時，每月25天，月產能：150,000片/本文檔來自技高網...

【技術保護點】
1.一種精密貼膜貼片機，其特征在于，包括機臺以及設置在機臺上的鋼環上料機構、晶圓上料機構、白膜原料軸、白膜廢料收料軸、白膜送料繃緊組件、下壓貼合切刀組件以及鋼環收料機構，所述鋼環上料機構和晶圓上料機構分別設置在機臺的前端并位于同一水平線上，所述鋼環收料機構設置在機臺的后端，所述下壓貼合切刀組件設置在機臺的中間位置并與鋼環上料機構和晶圓上料機構垂直設置，所述的白膜原料軸和白膜廢料收料軸分別設置在下壓貼合切刀組件的左右兩側邊，所述白膜送料繃緊組件設置在下壓貼合切刀組件的下方并位于白膜原料軸和白膜廢料收料軸之間。

【技術特征摘要】
1.一種精密貼膜貼片機，其特征在于，包括機臺以及設置在機臺上的鋼環上料機構、晶圓上料機構、白膜原料軸、白膜廢料收料軸、白膜送料繃緊組件、下壓貼合切刀組件以及鋼環收料機構，所述鋼環上料機構和晶圓上料機構分別設置在機臺的前端并位于同一水平線上，所述鋼環收料機構設置在機臺的后端，所述下壓貼合切刀組件設置在機臺的中間位置并與鋼環上料機構和晶圓上料機構垂直設置，所述的白膜原料軸和白膜廢料收料軸分別設置在下壓貼合切刀組件的左右兩側邊，所述白膜送料繃緊組件設置在下壓貼合切刀組件的下方并位于白膜原料軸和白膜廢料收料軸之間。2.根據權利要求1所述的精密貼膜貼片機，其特征在于，所述機臺采用凸輪分割器結構。3.根據權利要求1所述的精密貼...

【專利技術屬性】
技術研發人員：顧江勇，
申請(專利權)人：張家港市勇峰精密機械有限公司，
類型：發明
國別省市：江蘇,32