一種分離設備及分離方法技術

本發明專利技術提供一種分離設備及分離方法，該分離設備用于待分離器件的分離，所述待分離器件包括剛性承載基板、設置在所述剛性承載基板上的柔性器件以及覆蓋于所述柔性器件上的保護膜，所述保護膜的未覆蓋所述柔性器件的四個邊緣與所述剛性承載基板貼合，該分離設備包括：基臺，用于放置所述待分離器件；氣刀；氣刀控制部件，用于控制所述氣刀向所述保護膜的至少一個邊緣與所述剛性承載基板的貼合面的交界處吹氣，以使得所述保護膜與所述剛性承載基板分離。采用本發明專利技術的分離設備進行剛性承載基板和柔性器件分離時，能夠減少分離時間，且不會對剛性承載基板和柔性器件造成損傷。

Separation device and separation method

The present invention provides a method of separating equipment, the separation equipment for separating device to be separated, the separation device comprises a rigid bearing plate, protective film is arranged on the rigid bearing flexible devices on a substrate and covered on the flexible device, four edges not covered by the flexible device the protective film and the substrate bonding rigid bearing, the separating device comprises a base, used for placing the device to be separated; the air knife; the control unit for controlling the air knife, air knife to at least one edge of the protective film and the rigid bearing joint surface substrate junction blowing, so that the protective film and the rigid substrate separation. When the rigid carrier substrate and the flexible device are separated by the separation device of the present invention, the separation time can be reduced without damage to the rigid load-bearing substrate and the flexible device.

【技術實現步驟摘要】
一種分離設備及分離方法
本專利技術涉及柔性器件制作工藝領域，尤其涉及一種分離設備及分離方法。
技術介紹
在進行柔性OLED(有機發光二極管)器件的制作過程中，通常是先提供一剛性承載基板，然后在剛性承載基板上形成柔性器件，柔性器件通常包括柔性基板和設置在柔性基板上的OLED器件。當柔性器件制作完成后，需要將柔性器件從剛性承載基板上剝離。現有技術中，通常是采用激光照射的方式將柔性器件和剛性承載基板分離，在進行激光照射分離時，需要將柔性器件面向基臺放置，為了避免柔性器件與基臺直接接觸，可以在柔性器件上覆蓋一保護膜，保護膜的尺寸大于柔性器件的尺寸，保護膜的未覆蓋柔性器件的四個邊緣與所述剛性承載基板貼合。當用激光照射的方式將柔性器件和剛性承載基板分離后，還需要將保護膜與剛性承載基板分離，現有技術中，通常是使用刀片插入到保護膜與剛性承載基板的貼合面之間，然后移動刀片使得保護膜與剛性承載基板分離。上述將保護膜與剛性承載基板分離的方法，首先需要進行對位，以使得刀片的運動軌跡與剛性承載基板和保護膜的貼合面平行，避免對剛性承載基板和柔性器件造成損傷。由于分離前需要對位步驟，導致耗時較長，同時不可避免會出現對位失敗的情況，從而影響生產效率和產品良率。
技術實現思路
有鑒于此，本專利技術提供一種分離設備及分離方法，能夠減少剛性承載基板和柔性器件分離的時間，且不會對剛性承載基板和柔性器件造成損傷。為解決上述技術問題，本專利技術提供一種分離設備，用于待分離器件的分離，所述待分離器件包括剛性承載基板、設置在所述剛性承載基板上的柔性器件以及覆蓋于所述柔性器件上的保護膜，所述保護膜的未覆蓋所述柔性器件的四個邊緣與所述剛性承載基板貼合，包括：基臺，用于放置所述待分離器件；氣刀；氣刀控制部件，用于控制所述氣刀向所述保護膜的至少一個邊緣與所述剛性承載基板的貼合面的交界處吹氣，以使得所述保護膜的至少一個邊緣與所述剛性承載基板分離。優選地，所述待分離器件放置到所述基臺上時，所述保護膜面向所述基臺；所述分離設備還包括：固定部件，設置在所述基臺的至少一個側邊區域上，用于固定從所述剛性承載基板上分離的所述保護膜的邊緣。優選地，所述基臺的設置所述固定部件的側邊區域的高度低于所述基臺的中部區域的高度。優選地，所述基臺的設置所述固定部件的側邊區域呈斜坡狀。優選地，所述固定部件包括開設在所述基臺的側邊區域上的吸附孔。優選地，所述氣刀具有條形的吹風口，所述吹風口的長度方向與所述待分離器件所在的平面平行，所述吹風口的長度大于或等于所述保護膜在對應方向上的長度。優選地，所述氣刀具有吹風口，所述吹風口的長度小于所述保護膜在對應方向上的長度，所述氣刀向與所述保護膜的邊緣與所述剛性承載基板的貼合面的交界處吹氣時，所述吹風口的吹風方向與所述基臺的對應側邊之間所呈夾角能夠調節。優選地，所述基臺在兩個方向上的寬度均大于或等于所述保護膜在相同方向上的寬度。本專利技術還提供一種分離方法，用于待分離器件的分離，所述待分離器件包括剛性承載基板、設置在所述剛性承載基板上的柔性器件以及覆蓋于所述柔性器件上的保護膜，所述保護膜的未覆蓋所述柔性器件的四個邊緣與所述剛性承載基板貼合，包括：提供一基臺；將所述待分離器件放置于所述基臺上；提供氣刀；控制所述氣刀向所述保護膜的至少一個邊緣與所述剛性承載基板的貼合面的交界處吹氣，以使得所述保護膜的至少一個邊緣與所述剛性承載基板分離。優選地，所述基臺的至少一個側邊區域上設置有固定部件，將所述待分離器件放置到所述基臺上時，所述保護膜面向所述基臺；所述分離方法還包括：通過所述固定部件固定從所述剛性承載基板上分離的所述保護膜的邊緣。上述技術方案的有益效果如下：本專利技術實施例中，采用氣刀將保護膜與剛性承載基板分離，分離前不需要進行對位，從而簡化了設備機構，并減少了分離耗時，提高了成產效率，同時，也可以避免因對位失敗刀片對柔性器件和剛性襯底基板的損傷，提高了產品良率。附圖說明圖1為本專利技術實施例中的保護膜的邊緣與剛性承載基板分離之前的示意圖；圖2為本專利技術實施例中的保護膜的邊緣與剛性承載基板分離之后的示意圖；圖3為本專利技術一實施例的分離方法的示意圖；圖4為本專利技術另一實施例的分離方法的示意圖。具體實施方式為使本專利技術實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本專利技術實施例的附圖，對本專利技術實施例的技術方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例是本專利技術的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于所描述的本專利技術的實施例，本領域普通技術人員所獲得的所有其他實施例，都屬于本專利技術保護的范圍。為解決現有技術中對剛性承載基板和保護膜進行分離時需要對位步驟，導致邊緣分離耗時長，且對位失敗容易對剛性承載基板和柔性器件造成損傷的問題，請參考圖1和圖2，本專利技術的一實施例提供一種分離設備，用于待分離器件的分離，所述待分離器件包括剛性承載基板11、設置在所述剛性承載基板11上的柔性器件12以及覆蓋于所述柔性器件12上的保護膜13，所述保護膜13的未覆蓋所述柔性器件12的四個邊緣與所述剛性承載基板11貼合，該分離設備包括：基臺21，用于放置所述待分離器件；氣刀22；氣刀控制部件(圖未示出)，用于控制所述氣刀22向所述保護膜13的至少一個邊緣與所述剛性承載基板11的貼合面的交界處吹氣，以使得所述保護膜13的至少一個邊緣與所述剛性承載基板11分離。圖1為本專利技術實施例中的保護膜的邊緣與剛性承載基板分離之前的示意圖，圖2為本專利技術實施例中的保護膜的邊緣與剛性承載基板分離之后的示意圖。本專利技術實施例中，采用氣刀22將保護膜13與剛性承載基板11分離，分離前不需要進行對位，從而簡化了設備機構，并減少了分離耗時，提高了成產效率，同時，也可以避免因對位失敗刀片對柔性器件12和剛性襯底基板11的損傷，提高了產品良率。本專利技術實施例中，通常情況下，在將保護膜與剛性承載基板分離之前，已采用激光照射工藝將剛性承載基板和柔性器件分離，當然，在本專利技術的其他一些實施例中，也不排除先將保護膜與剛性承載基板分離，然后再采用激光照射工藝將剛性承載基板和柔性器件分離。本專利技術實施例中，可以通過上述分離設備將保護膜13的四個邊緣均與剛性承載基板11分離，當然，也可以只將保護膜13的個別邊緣，例如相對的兩個邊緣與剛性承載基板11分離。本專利技術實施例中，優選地，在將保護膜13的一未覆蓋柔性器件12的邊緣與剛性承載基板11分離時，是將該邊緣全部與剛性承載基板11分離(請參考圖2)，當然，在本專利技術的其他一些實施例中，也不排除，將該邊緣的一部分與剛性承載基板11分離，即在通過上述分離設備將保護膜的一邊緣與剛性承載基板分離后，該邊緣還有部分區域與剛性承載基板11存在粘連。本專利技術實施例中，在將保護膜13與剛性承載基板11分離之后，還需要將剛性承載基板11和柔性器件12完全分離，即本專利技術實施例的分離設備還可以包括：分離機構(圖未示出)，用于將已經進行邊緣分離的剛性承載基板11和所述柔性器件12完全分離。所述分離機構可以包括一吸附部件，所述分離機構可以設置在剛性承載基板11的遠離基臺21的一側，吸附部件吸附住剛性承載基板11，向遠離基臺21的一側搬離所述剛性承載基板11，將已經進行邊緣分離的剛性承載基板11和柔性器件12完全分離。在本專利技術的一實施例中，如果只是將保護膜13的本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種分離設備，用于待分離器件的分離，所述待分離器件包括剛性承載基板、設置在所述剛性承載基板上的柔性器件以及覆蓋于所述柔性器件上的保護膜，所述保護膜的未覆蓋所述柔性器件的四個邊緣與所述剛性承載基板貼合，其特征在于，包括：基臺，用于放置所述待分離器件；氣刀；氣刀控制部件，用于控制所述氣刀向所述保護膜的至少一個邊緣與所述剛性承載基板的貼合面的交界處吹氣，以使得所述保護膜的至少一個邊緣與所述剛性承載基板分離。

【技術特征摘要】
1.一種分離設備，用于待分離器件的分離，所述待分離器件包括剛性承載基板、設置在所述剛性承載基板上的柔性器件以及覆蓋于所述柔性器件上的保護膜，所述保護膜的未覆蓋所述柔性器件的四個邊緣與所述剛性承載基板貼合，其特征在于，包括：基臺，用于放置所述待分離器件；氣刀；氣刀控制部件，用于控制所述氣刀向所述保護膜的至少一個邊緣與所述剛性承載基板的貼合面的交界處吹氣，以使得所述保護膜的至少一個邊緣與所述剛性承載基板分離。2.根據權利要求1所述的分離設備，其特征在于，所述待分離器件放置到所述基臺上時，所述保護膜面向所述基臺；所述分離設備還包括：固定部件，設置在所述基臺的至少一個側邊區域上，用于固定從所述剛性承載基板上分離的所述保護膜的邊緣。3.根據權利要求2所述的分離設備，其特征在于，所述基臺的設置所述固定部件的側邊區域的高度低于所述基臺的中部區域的高度。4.根據權利要求3所述的分離設備，其特征在于，所述基臺的設置所述固定部件的側邊區域呈斜坡狀。5.根據權利要求2所述的分離設備，其特征在于，所述固定部件包括開設在所述基臺的側邊區域上的吸附孔。6.根據權利要求1所述的分離設備，其特征在于，所述氣刀具有條形的吹風口，所述吹風口的長度方向與所述待分離器件所在的平面平行，...

【專利技術屬性】
技術研發人員：王偉，孫中元，倪靜凱，羅程遠，
申請(專利權)人：京東方科技集團股份有限公司，
類型：發明
國別省市：北京,11