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    下載一種分離設備及分離方法的技術資料

    文檔序號:15705846

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    本發明提供一種分離設備及分離方法,該分離設備用于待分離器件的分離,所述待分離器件包括剛性承載基板、設置在所述剛性承載基板上的柔性器件以及覆蓋于所述柔性器件上的保護膜,所述保護膜的未覆蓋所述柔性器件的四個邊緣與所述剛性承載基板貼合,該分離設備...
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