鍍膜機膜厚分布修正結構制造技術

鍍膜機膜厚分布修正結構，包括修正板，所述修正板連接橫桿，該橫桿通過連接塊連接立柱，橫桿與立柱垂直設置，立柱安裝在鍍膜箱體的底部，調整位置使得修正板位于鍍膜坩堝的上方；所述鍍膜箱體的頂部設有掛具板，掛具板通過連桿連接滾輪，滾輪連接行星盤，行星盤上夾固反光鏡；該鍍膜機膜厚分布修正結構采用修正板置于蒸發源和被鍍光學元件之間，以改變工作室中膜厚分布，使工件盤各個位置上的膜厚達到均勻的要求，解決鍍膜工作室中膜厚分布不均勻的技術問題，解決三元或多元行星盤上的反光鏡片不能有很好的膜層均勻性的問題，具有工藝簡單、方便可靠等優點，值得大力推廣。

Film thickness distribution correction structure of coating machine

Membrane thickness distribution of modified structure, including fixed plate, the fixed plate is connected with the bar, the bar through a connecting column connecting block, bar and column vertical column settings, installed in the coating at the bottom of the box body, adjust the position of the fixed plate is located above the top of the crucible coating; coating box is provided with a hanger plate, hanging plate connected with the roller wheels are connected through the connecting rod, the planetary disc, the planetary disc clamping mirror; the membrane thickness distribution of modified structure correction plate is arranged on the evaporation source and plated between optical elements, in order to change the film thickness distribution in the studio, the disc positions of film thickness to achieve uniform requirements, solve coating the studio of membrane technology in the thick of uneven distribution, settlement of three yuan or multiple reflections on the planetary disc lens cannot have good film uniformity, has simple process Simple, convenient and reliable advantages, it is worth promoting.

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及鍍膜加工設備領域，尤其是一種鍍膜機膜厚分布修正結構。
技術介紹
鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種，主要思路是分成蒸發和濺射兩種。現有的鍍膜機工作室中存在著膜厚分布不均勻這一關鍵性的技術問題，對于要求很高的光學薄膜元件，常因膜厚均勻性不佳而不能使用，大大降低了光學薄膜元件的質量和成品率，特別是三元或多元行星盤上的反光鏡片不能有很好的膜層均勻性，在膜厚沒有修正的情況下，鏡片左右兩邊的膜厚是不均勻的，這樣的反光鏡使用的話照射出來的光就會是五顏六色的，這樣的產品根本是不能使用的。
技術實現思路
本技術旨在提供一種采用修正板置于蒸發源和被鍍光學元件之間，以改變工作室中膜厚分布，使工件盤各個位置上的膜厚達到均勻的要求的鍍膜機膜厚分布修正結構。為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：鍍膜機膜厚分布修正結構，包括修正板，所述修正板連接橫桿，該橫桿通過連接塊連接立柱，橫桿與立柱垂直設置，立柱安裝在鍍膜箱體的底部，修正板位于鍍膜坩堝的上方。作為本技術的進一步方案：所述修正板整體呈弧形。作為本技術的進一步方案：所述修正板的材料為不銹鋼板。作為本技術的進一步方案：所述鍍膜箱體的頂部設有掛具板，掛具板通過連桿連接滾輪，滾輪連接行星盤，行星盤上夾固反光鏡。與現有技術相比，本技術的有益效果是：該鍍膜機膜厚分布修正結構采用修正板置于蒸發源和被鍍光學元件之間，以改變工作室中膜厚分布，使工件盤各個位置上的膜厚達到均勻的要求，解決鍍膜工作室中膜厚分布不均勻的技術問題，解決三元或多元行星盤上的反光鏡片不能有很好的膜層均勻性的問題，具有工藝簡單、方便可靠等優點，值得大力推廣。附圖說明圖1為本技術的整體示意圖；圖2為本技術的正視圖；圖3為本技術的側視圖。具體實施方式下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。請參閱圖1-3，本技術實施例中，鍍膜機膜厚分布修正結構，包括修正板1，所述修正板1連接橫桿2，該橫桿2通過連接塊3連接立柱4，橫桿2與立柱4垂直設置，立柱4安裝在鍍膜箱體5的底部，調整位置使得修正板1位于鍍膜坩堝6的上方；所述鍍膜箱體5的頂部設有掛具板21，掛具板21通過連桿連接滾輪22，滾輪22連接行星盤23，行星盤23上夾固反光鏡24。修正板1的制作：在制作修正板1的過程中，是一個不斷修剪的過程：剛開始剪一個初始的長方形板，把板彎成和軌道一樣的弧度，然后鍍制一個中心波長550NM的7層膜，測試鏡片兩邊的波長是在550NM的前面還是后面，如果波長向前了，就是把靠近修正板1的邊剪去5mm，反之，則在修正板1上加5mm的薄鋁片，然后再同樣鍍膜這樣的一爐，再測鏡片兩邊的波長，再修剪修正板1，直到鏡片兩邊的波長都在550NM，這時把修正板1取下來，用一張新的不銹鋼板剪成反復修剪的后的修正板1，這樣的修正板1就能夠正常使用了，不同的產品可能會用到不同的修正板1，每次用這個方法找到正確的修正板1后，作好標記，就可以在鍍什么產品時用相對應的修正板1了，減去繁復的工作。修正板1的作用就是去解決鍍膜工作室中膜厚分布不均勻這一關鍵性的技術問題，我們采用截流蒸氣云靜止擋板技術，來消除膜厚分布的不均勻性，該項技術就是采用特定形狀的靜止擋板，置于蒸發源和被鍍光學元件之間，以改變工作室中膜厚分布，使工件盤各個位置上的膜厚達到均勻的要求，該技術具有工藝簡單、方便可靠等優點。對于本領域技術人員而言，顯然本技術不限于上述示范性實施例的細節，而且在不背離本技術的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現本技術。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技術的范圍由所附權利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和范圍內的所有變化囊括在本技術內。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。此外，應當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領域技術人員應當將說明書作為一個整體，各實施例中的技術方案也可以經適當組合，形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
鍍膜機膜厚分布修正結構，包括修正板（1），其特征在于，所述修正板（1）連接橫桿（2），該橫桿（2）通過連接塊（3）連接立柱（4），橫桿（2）與立柱（4）垂直設置，立柱（4）安裝在鍍膜箱體（5）的底部，修正板（1）位于鍍膜坩堝（6）的上方。

【技術特征摘要】
1.鍍膜機膜厚分布修正結構，包括修正板（1），其特征在于，所述修正板（1）連接橫桿（2），該橫桿（2）通過連接塊（3）連接立柱（4），橫桿（2）與立柱（4）垂直設置，立柱（4）安裝在鍍膜箱體（5）的底部，修正板（1）位于鍍膜坩堝（6）的上方。2.根據權利要求1所述的鍍膜機膜厚分布修正結構，其特征在于，所述修正板（1）...

【專利技術屬性】
技術研發人員：朱文斌，
申請(專利權)人：蘇州靈菱照明鍍膜科技有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32