一種真空管路系統技術方案

本發明專利技術涉及顯示技術領域，尤其涉及一種真空管路系統。該真空管路系統包括：干泵和真空干燥腔室，所述干泵通過真空管路與所述真空干燥腔室連接；所述真空管路上設有第一閥門和第二閥門，在所述真空管路上且位于第一閥門和第二閥門之間設有大氣開放系統，所述大氣開放系統用于向所述真空管路內輸入氣體，從而減少了有機物在真空管路及主閥門中附著的概率，延長主閥門的壽命，降低成本。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及顯示
，尤其涉及一種真空管路系統。
技術介紹
目前，VO)(英文名稱為Vacuum Chamber Dry，中文名稱為真空干燥腔室）真空管 路系統如圖1所示，干泵1通過真空管路3與真空干燥腔室2連接，在真空管路3上設有第 一閥門4(主閥）和第二閥門5(蝶閥）；抽真空完成后，對真空管路系統中的A、B、C三個點 進行拍照后發現存在大量有機物附著，包括第一附著區域A、第二附著區域B及第三附著區 域C。這三個區域均為有機物附著較嚴重的區域，而當此有機物附著于真空管路時則會導致 主閥門內的〇型密封圈腐蝕漏氣，從而會影響VCD抽真空的效果，延長VCD的處理時間，進 而導致產線節拍時間延長，同時還會有品質異常風險等問題。 至于這三個區域為何容易產生有機物附著，分析如下：V⑶的主要功能是通過真 空干抽的方式，用于將VCD腔室內基板表面涂布的光刻膠中的70%以上的有機揮發物抽 走，以方便后續處理。但是，無論是在抽真空過程中還是在抽真空結束時，真空管路中均會 充斥較多的有機物氣體。此外，由于設備動作時序是一旦VCD抽真空完成，其主閥和蝶閥均 會同時關閉，這樣主閥與蝶閥之間的封閉管路中勢必會存在一定濃度的有機物氣體。工廠 經驗證明：這些滯留的有機物氣體會附著到管路中以及主閥門內，并且會造成主閥內0-形 密封圈腐蝕、漏氣現象。因此，為解決此問題，必須對主閥門進行換新，每個主閥門的價格約 3萬人民幣左右，較為昂貴。
技術實現思路
(一）要解決的技術問題 本專利技術要解決的技術問題是提供了一種真空管路系統，使得能夠減少有機物在真 空管路及主閥門中附著的概率，延長主閥門的壽命，降低成本。 (二）技術方案 為了解決上述技術問題，本專利技術提供一種真空管路系統，其包括：干泵和真空干燥 腔室，所述干泵通過真空管路與所述真空干燥腔室連接；所述真空管路上設有第一閥門和 第二閥門，在所述真空管路上且位于第一閥門和第二閥門之間設有大氣開放系統，所述大 氣開放系統用于向所述真空管路內輸入氣體。 其中，所述大氣開放系統包括供氣管路、第三閥門和控制單元；所述供氣管路的輸 出端與所述真空管路連接，且其輸出端位于第一閥門與第二閥門之間；所述第三閥門設置 于供氣管路上；所述控制單元用于控制第三閥門的啟閉。 其中，所述供氣管路的輸入端與氣源連接，所述氣源用于產生惰性氣體。 其中，所述供氣管路的輸入端與大氣連通。 其中，所述第三閥門為氣動閥；所述控制單元包括PLC控制器、電磁閥及動力源， 在所述動力源與第三閥門之間設有輸氣管路，所述動力源向輸氣管路內輸入壓縮空氣；所 述電磁閥設置于輸氣管路上；所述PLC控制器與所述電磁閥電連接。 其中，在所述供氣管路上且位于其輸出端與第三閥門之間設有過濾器。 其中，所述真空干燥腔室上設有第一通氣單元和第二通氣單元；所述第一通氣單 元用于向真空干燥腔室通入空氣；所述第二通氣單元用于向真空干燥腔室通入壓縮空氣。 其中，所述第一閥門包括殼體、驅動開關和密封件；所述殼體上設有上游閥口和下 游閥口，所述上游閥口與真空干燥腔室連通，所述下游閥口與干泵連通；所述驅動開關設置 于殼體內，用于使所述上游閥口與下游閥口之間接通或斷開；所述密封件設置于驅動開關 與殼體之間。 其中，所述第二閥門為蝶閥，且位于所述真空干燥腔室與第一閥門之間。 (三）有益效果 本專利技術的上述技術方案具有以下有益效果：本專利技術提供一種真空管路系統，在真 空管路上增加大氣開放系統，通過大氣開放系統向真空管路輸入氣體，減少有機物在真空 管路及主閥門中附著的概率，延長主閥門的壽命，降低成本。【附圖說明】 圖1為現有真空管路系統的結構不意圖； 圖2為本專利技術實施例真空管路系統的結構示意圖； 圖3為本專利技術實施例第一閥門的結構示意圖； 圖4為本專利技術實施例真空管路系統的時序圖。 其中，1 :干泵；2 :真空干燥腔室；3 :真空管路；4 :第一閥門；5 :第二閥門；6 :供氣 管路；7 :第三閥門；8 :控制單元；9 :PLC控制器；10 :電磁閥；11 :動力源；12 :過濾器；13 : 基板；A :第一附著區域；B :第二附著區域；C :第三附著區域；21 :第一通氣單元；22第二通 氣單元；41 :殼體；42 :上游閥口；43 :下游閥口；44 :驅動開關；45 :密封件。【具體實施方式】 下面結合附圖和實施例對本專利技術的實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于 說明本專利技術，但不能用來限制本專利技術的范圍。 在本專利技術的描述中，需要說明的是，除非另有說明，"多個"的含義是兩個或兩個以 上；術語"上"、"下"、"左"、"右"、"內"、"外"、"前端"、"后端"、"頭部"、"尾部"等指示的方位 或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本專利技術和簡化描述，而 不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此 不能理解為對本專利技術的限制。此外，術語"第一"、"第二"、"第三"等僅用于描述目的，而不 能理解為指示或暗示相對重要性。 在本專利技術的描述中，還需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語"安裝"、 "相連"、"連接"應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連 接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連。 對于本領域的普通技術人員而言，可視具體情況理解上述術語在本專利技術中的具體含義。 如圖2所示，本實施例提供的真空管路系統，其包括干泵1和真空干燥腔室2,干泵 1通過真空管路3與真空干燥腔室2連接；在真空管路3上設有第一閥門4和第二閥門5， 在真空管路3上且位于第一閥門4和第二閥門5之間設有大氣開放系統，大氣開放系統用 于向真空管路3內輸入氣體，從而減少有機物在真空管路3中及第一閥門4 (主閥門）附著 的概率，延長主閥門的壽命，降低成本。 具體的，大氣開放系統包括供氣管路6、第三閥門7和控制單元8 ;供氣管路6的輸 出端與真空管路3連接，且其輸出端位于第一閥門4與第二閥門5之間，通過供氣管路6實 現輸入氣體；第三閥門7設置于供氣管路6上；控制單元8與第三閥門7連接，可根據需要 自動控制第三閥門7的啟閉，實現自動化設置。 進一步的，在供氣管路6上且位于其輸出端與第三閥門7之間設有過濾器12。通 過過濾器12對供氣管路6中的氣體進行過濾，對于過濾器12而言其可采用簡單當前第1頁1 2 本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種真空管路系統，其特征在于，包括：干泵和真空干燥腔室，所述干泵通過真空管路與所述真空干燥腔室連接；所述真空管路上設有第一閥門和第二閥門，在所述真空管路上且位于第一閥門和第二閥門之間設有大氣開放系統，所述大氣開放系統用于向所述真空管路內輸入氣體。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：王建峰，陳鵬，由振琪，祝磊，吳凱民，王曉亮，
申請(專利權)人：京東方科技集團股份有限公司，北京京東方顯示技術有限公司，
類型：發明
國別省市：北京;11