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    硫化鎘微納結構制備裝置制造方法及圖紙

    技術編號:10663932 閱讀:146 留言:0更新日期:2014-11-20 10:16
    本發明專利技術給出了一種硫化鎘微納結構制備裝置,包括水平管式爐、兩個陶瓷舟、加熱機構、以及氣體供應機構和氣體凈化機構,所述水平管式爐中設置有反應腔,所述加熱機構設置在水平管式爐內,反應腔之外;所述氣體供應機構的氣體輸出管穿過所述水平管式爐的一端,連接于所述反應腔的氣體輸入口;所述氣體凈化機構的氣體收集管穿過所述水平管式爐的另一端,連接于所述反應腔的氣體輸出口。本發明專利技術的硫化鎘微納結構制備裝置,能夠將硫化鎘在中心溫區加熱,并將蒸發起來的硫化鎘吹到下氣流,使得硫化鎘沉積在硅片上,形成微納結構。

    【技術實現步驟摘要】

    【技術保護點】
    一種硫化鎘微納結構制備裝置,其特征在于,所述裝置包括水平管式爐、兩個陶瓷舟、加熱機構、以及氣體供應機構和氣體凈化機構,所述水平管式爐中設置有反應腔,所述加熱機構設置在水平管式爐內,反應腔之外;所述氣體供應機構的氣體輸出管穿過所述水平管式爐的一端,連接于所述反應腔的氣體輸入口;所述氣體凈化機構的氣體收集管穿過所述水平管式爐的另一端,連接于所述反應腔的氣體輸出口;所述兩個陶瓷舟中的一個陶瓷舟裝載有硫化鎘,并設置在反應腔內的對應加熱機構的位置處;另一個陶瓷舟裝載有鍍金的硅片。

    【技術特征摘要】

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:卓朝旦
    申請(專利權)人:奉化市宇創產品設計有限公司
    類型:發明
    國別省市:浙江;33

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