一種低熱彈性阻尼扭轉(zhuǎn)式微機(jī)電諧振器件制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種低熱彈性阻尼扭轉(zhuǎn)式微機(jī)電諧振器件，包括基底、設(shè)置在基底上的低熱彈性阻尼結(jié)構(gòu)、驅(qū)動電極和感應(yīng)電極，以及由低熱彈性阻尼結(jié)構(gòu)支撐的扭轉(zhuǎn)平板，低熱彈性阻尼結(jié)構(gòu)包括位于同一軸線上的、具有矩形截面的第一扭轉(zhuǎn)支撐梁和第二扭轉(zhuǎn)支撐梁，扭轉(zhuǎn)平板能夠繞第一扭轉(zhuǎn)支撐梁和第二扭轉(zhuǎn)支撐梁所在的軸線旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動電極和感應(yīng)電極對稱設(shè)置在低熱彈性阻尼結(jié)構(gòu)的軸線兩側(cè)，第一扭轉(zhuǎn)支撐梁和第二扭轉(zhuǎn)支撐梁的矩形截面的長邊垂直于基底。本實(shí)用新型專利技術(shù)中扭轉(zhuǎn)支撐梁橫截面的長邊保持垂直于基底平面，此時產(chǎn)生的熱彈性阻尼是小于長邊水平放置，尤其是高頻時，熱彈性阻尼明顯下降。（*該技術(shù)在2024年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種低熱彈性阻尼扭轉(zhuǎn)式微機(jī)電諧振器件，其特征在于，該器件包括基底（4）、設(shè)置在所述基底（4）上的低熱彈性阻尼結(jié)構(gòu)、驅(qū)動電極（5）和感應(yīng)電極（6），以及由所述低熱彈性阻尼結(jié)構(gòu)支撐的扭轉(zhuǎn)平板（1），所述低熱彈性阻尼結(jié)構(gòu)包括位于同一軸線上的、具有矩形截面的第一扭轉(zhuǎn)支撐梁（2）和第二扭轉(zhuǎn)支撐梁（3），扭轉(zhuǎn)平板（1）能夠繞第一扭轉(zhuǎn)支撐梁（2）和第二扭轉(zhuǎn)支撐梁（3）所在的軸線旋轉(zhuǎn)，所述驅(qū)動電極（5）和感應(yīng)電極（6）對稱設(shè)置在低熱彈性阻尼結(jié)構(gòu)的軸線兩側(cè)，所述第一扭轉(zhuǎn)支撐梁（2）和第二扭轉(zhuǎn)支撐梁（3）的矩形截面的長邊垂直于基底（4）。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李普，方玉明，臺永鵬，
申請(專利權(quán))人：東南大學(xué)，
類型：新型
國別省市：江蘇;32