用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構制造技術

本實用新型專利技術公開了一種用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，包括X軸傳送單元和Y軸傳送單元，所述X軸傳送單元沿垂直方向設置，所述Y軸傳送單元沿水平方向設置，其中，所述X軸傳送單元上安裝有Z軸傳送單元；所述X軸傳送單元包括第一伺服電機、第一絲杠、第一直線導軌、X軸板和第一防護罩；所述Y軸傳送單元包括第二伺服電機、第二絲杠、第二直線導軌、Y軸板和第二防護罩；所述Z軸傳送單元包括第三伺服電機、第三絲杠、第三直線導軌和Z軸板；所述Z軸板安裝在X軸板上，所述Y軸板安裝在真空平臺的下方。本實用新型專利技術提供的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，能夠大大降低制作成本，易于維護維修，而且保證設備的響應速度及精度。（*該技術在2023年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】
【專利摘要】本技術公開了一種用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，包括X軸傳送單元和Y軸傳送單元，所述X軸傳送單元沿垂直方向設置，所述Y軸傳送單元沿水平方向設置，其中，所述X軸傳送單元上安裝有Z軸傳送單元；所述X軸傳送單元包括第一伺服電機、第一絲杠、第一直線導軌、X軸板和第一防護罩；所述Y軸傳送單元包括第二伺服電機、第二絲杠、第二直線導軌、Y軸板和第二防護罩；所述Z軸傳送單元包括第三伺服電機、第三絲杠、第三直線導軌和Z軸板；所述Z軸板安裝在X軸板上，所述Y軸板安裝在真空平臺的下方。本技術提供的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，能夠大大降低制作成本，易于維護維修，而且保證設備的響應速度及精度?！緦＠f明】 用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構
本技術涉及一種適用于脈沖激光刻蝕的運動平臺，尤其涉及一種用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構。
技術介紹
現有的脈沖激光刻蝕ITO設備中的PET薄膜導電膜層加工裝置的X-Y-Z運動平臺，XY兩軸均采用直線電機，這樣運動平臺相應速度快，精度也比較高，但制作成本卻十分昂貴。另外，直線電機維護維修也比較繁瑣。因此，有必要提供一種更加經濟并適用于脈沖激光刻蝕HO PET薄膜上導電膜層裝備的X-Y-Z運動平臺，從而大幅降低了設備的生產成本。
技術實現思路
本技術所要解決的技術問題是提供一種用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，能夠大大降低制作成本，易于維護維修，而且設備的響應速度及精度均滿足生產使用要求。本技術為解決上述技術問題而采用的技術方案是提供一種用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，包括X軸傳送單元和Y軸傳送單元，所述X軸傳送單元沿垂直方向設置，所述Y軸傳送單元沿水平方向設置，其中，所述X軸傳送單元上安裝有Z軸傳送單元。上述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，其中，所述X軸傳送單元包括第一伺服電機、第一絲杠、第一直線導軌、X軸板和第一防護罩；所述Y軸傳送單兀包括第二伺服電機、第二絲杠、第二直線導軌、Y軸板和第二防護罩；所述Z軸傳送單元包括第三伺服電機、第三絲杠、第三直線導軌和Z軸板；所述Z軸板安裝在X軸板上，所述Y軸板安裝在真空平臺的下方。上述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，其中，所述X軸板上設有第一光柵尺和第一光電限位開關。上述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，其中，所述Y軸板上設有第二光柵尺和第二光電限位開關。上述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，其中，所述Z軸板上設有第三光電限位開關。上述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，其中，所述光柵尺的分辨率為lum。本技術對比現有技術有如下的有益效果:本技術提供的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，采用伺服電機并配合絲杠來替代直線電機，并且伺服電機及絲杠的裝配比直線電機更加方便快捷，由此產生的制作成本較原來降低了約一半多，并且伺服電機維護維修較直線電機也是更加容易、方便?！緦＠綀D】【附圖說明】圖1為本技術用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構結構示意圖。圖中:I第一伺服電機2第一絲杠3第一直線導軌4X軸板5第一防護罩6第二伺服電機7第二絲杠8第二直線導軌9 Y軸板10第二防護罩11第三伺服電機12第三絲杠13第三直線導軌14Z軸板15第一光柵尺16第一光電限位開關17第二光柵尺18第二光電限位開關19第三光電限位開關【具體實施方式】下面結合附圖和實施案例對本技術作進一步的描述。圖1為本技術用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構結構示意圖。請參見圖1，本技術提供的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構包括X軸傳送單元和Y軸傳送單元，所述X軸傳送單元沿垂直方向設置，所述Y軸傳送單元沿水平方向設置，其中，所述X軸 傳送單元上安裝有Z軸傳送單元。本技術提供的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，所述X軸傳送單元包括第一伺服電機1、第一絲杠2、第一直線導軌3、X軸板4和第一防護罩5 ;所述Y軸傳送單元包括第二伺服電機6、第二絲杠7、第二直線導軌8、Y軸板9和第二防護罩10 ;所述Z軸傳送單元包括第三伺服電機11、第三絲杠12、第三直線導軌13和Z軸板14 ;所述Z軸板14安裝在X軸板4上，所述Y軸板9安裝在真空平臺(圖未示)的下方。本技術提供的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，所X軸傳送單元和Y軸傳送單元可安裝在大理石上，由于Z軸板14安裝與X軸板4上，Z軸可進行上下往復運行，而X軸則可帶動Z軸進行左右往復運行，Y軸則進行前后往復運行。運動精確定位可通過光柵尺和光電限位開關實現。具體可設置如下:所述X軸板上設有第一光柵尺15和第一光電限位開關16 ;所述Y軸板上設有第二光柵尺17和第二光電限位開關18 ;所述Z軸板上設有第三光電限位開關19 ;所述光柵尺的分辨率優選為lum，這就保證了 XY軸的精確定位。雖然本技術已以較佳實施案例揭示如上，然其并非用以限定本技術，任何本領域技術人員，在不脫離本技術的精神和范圍內，當可作些許的修改和完善，因此本技術的保護范圍當以權利要求書所界定的為準?！緳嗬蟆?.一種用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，包括X軸傳送單元和Y軸傳送單元，所述X軸傳送單元沿垂直方向設置，所述Y軸傳送單元沿水平方向設置，其特征在于，所述X軸傳送單元上安裝有Z軸傳送單元。2.如權利要求1所述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，其特征在于，所述X軸傳送單元包括第一伺服電機、第一絲杠、第一直線導軌、X軸板和第一防護罩；所述Y軸傳送單元包括第二伺服電機、第二絲杠、第二直線導軌、Y軸板和第二防護罩；所述Z軸傳送單元包括第三伺服電機、第三絲杠、第三直線導軌和Z軸板；所述Z軸板安裝在X軸板上，所述Y軸板安裝在真空平臺的下方。3.如權利要求2所述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，其特征在于，所述X軸板上設有第一光柵尺和第一光電限位開關。4.如權利要求2所述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，其特征在于，所述Y軸板上設有第二光柵尺和第二光電限位開關。5.如權利要求2所述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，其特征在于，所述Z軸板上設有第三光電限位開關。6.如權利要求3或4所述的用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，其特征在于，所述光柵尺的分辨率為lum。【文檔編號】B23K26/362GK203599719SQ201320825097【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年12月3日 優先權日:2013年12月3日 【專利技術者】龔楷峰, 劉俊輝, 施心星 申請人:蘇州鐳明激光科技有限公司本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于脈沖激光刻蝕的三軸聯動機構，包括X軸傳送單元和Y軸傳送單元，所述X軸傳送單元沿垂直方向設置，所述Y軸傳送單元沿水平方向設置，其特征在于，所述X軸傳送單元上安裝有Z軸傳送單元。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：龔楷峰，劉俊輝，施心星，
申請(專利權)人：蘇州鐳明激光科技有限公司，
類型：實用新型
國別省市：